一种用于直写光刻的led光源
【技术领域】
1.本技术涉及光刻技术领域，尤其涉及一种用于直写光刻的led光源。
背景技术：2.光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征构图的技术，这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片，经常使用的基片为半导体晶片或玻璃基片；在光刻过程中，基片放置在基片台上，通过处在光刻设备内的曝光装置，将特征构图投射到基片表面。而光源是光刻技术中必不可少的部件，光刻机是半导体产业中最关键的设备，它决定着芯片的性能、大小等最核心的地方。而光刻机最重要的部件之一曝光光源影响着光刻机的整体性能。光刻机一般选用半导体激光器作为曝光光源，但其因为成本高、寿命短、波段单一等原因无法大批量应用于数字光刻机上，特别是防焊数字光刻机，因此，现有技术中常常使用led光源来取代半导体激光器。
3.在led光源长时间的使用后，会在光刻机内产生大量的热量，从而影响光刻机的整体性能，而现有对光刻机散热的做法通常都是在led灯板端面连接一水冷的散热腔体，通过水的流动从而带动灯板内热量的散发。但由于led灯的发散性，led灯在光刻机内产生的热量并非集中在一点，而通过水冷装置连接led灯板的设置只能带动led灯板局部区域热量的流动，然后由led灯发出的热量大部分遗留在光刻机内，从而造成散热不彻底的问题。
技术实现要素：4.有鉴于此，有必要提供一种散热彻底的led光源，以解决上述问题。
5.本技术的实施例提供一种用于直写光刻的led光源，包括：
6.散热件，开设有用于收容冷却流体的冷却腔，所述散热件具有散热面，所述散热面上设有多个凹伸至所述冷却腔内的容置部，其中，所述容置部凹伸至所述冷却腔内的面为弧形面；
7.多个发光件，分别设于多个所述容置部内；
8.多个导热件，每一所述导热件分别罩设于一个所述发光件上，且所述导热件朝向所述发光件的端部伸入所述容置部内，并连接所述弧形面；
9.其中，每一所述导热件凸伸出所述散热件的部分全覆盖有一层荧光粉层，以将所述发光件在所述荧光粉层产生的热量经所述导热件传递至所述弧形面。
10.在本技术的至少一个实施例中，所述散热件还包括与所述冷却腔连通的第一管和第二管；
11.所述散热件还具有设于外侧并与所述散热面背对设置的承载面；
12.所述第一管和所述第二管设于所述承载面上，用于向所述冷却腔内输入和输出冷却流体。
13.在本技术的至少一个实施例中，所述散热件还具有设于所述冷却腔内并与所述承
载面背对设置的导流面；
14.其中，沿所述第一管至所述第二管的方向，所述导流面到所述承载面的距离逐渐减小。
15.在本技术的至少一个实施例中，所述led光源还包括可拆卸设置的第一壳体和第二壳体；
16.所述第一壳体开设有第一孔和第二孔；
17.所述第一管伸出所述第一孔设置，所述第二管伸出所述第二孔设置。
18.在本技术的至少一个实施例中，所述散热件还包括弹性密封件；
19.所述弹性密封件环绕设于所述第一管和所述第二管外壁；
20.其中，所述弹性密封件的直径大于所述第一孔和所述第二孔的直径，以在所述第一管伸出所述第一孔及所述第二管伸出所述第二孔时，所述弹性密封件封堵于所述第一孔和所述第二孔位置处。
21.在本技术的至少一个实施例中，所述弹性密封件具有面向所述第一壳体的第一面和环绕于所述弹性密封件圆周的第二面；
22.所述第一面和所述第二面上涂覆有胶凝层，以在所述第一管和/或所述第二管外壁渗水时，所述胶凝层凝固以封堵所述第一孔和所述第二孔。
23.在本技术的至少一个实施例中，所述led光源还包括环绕设置于所述弹性密封件外壁的定位件，所述第一壳体朝向所述定位件的内壁开设有定位槽；
24.所述定位件可卡设于所述定位槽内，且在所述定位件卡设于所述定位槽内时，所述弹性密封件的轴心与所述第一孔或所述第二孔的轴心重合。
25.在本技术的至少一个实施例中，所述led光源还包括承载件和多个第一透镜组，其中，所述第一透镜组包括至少两个第一透镜组装而成；
26.所述承载件上开设有多个连接孔，每一所述第一透镜组设于一个所述连接孔内。
27.在本技术的至少一个实施例中，所述承载件在所述连接孔端部设置有垂直于所述连接孔内壁的第三面和平行于所述连接孔内壁的第四面；
28.所述第一透镜承载于所述第三面上，且所述第一透镜的圆周面与所述第四面接触。
29.在本技术的至少一个实施例中，所述led光源还包括多个压力传感器和多个发声件；
30.每一所述第四面及每一所述第一透镜圆周壁上设有一所述压力传感器，且位于同一连接孔内的所述压力传感器和所述发声件电连接，以在所述第一透镜晃动时，位于同一所述连接孔内的发声件发声。
31.本技术至少具有以下有益效果：
32.1、通过在散热面上设置多个凹伸至冷却腔内的容置部，将凹伸至冷却腔内的面设置为弧面，并通过将多个发光件设置于容置部内，将导热件罩设于发光件上，并在导热件上全覆盖一层荧光粉层。以在发光件向四周发出白光时，白光中的蓝色在经荧光粉层折射后在荧光粉层出产生热量，导热件将热量传递至弧面上，并通过向冷却腔内通入冷却流体带走弧面上的热量，从而实现led光源的全面散热。且弧面的设置增大了冷却腔内的散热面积，提高了散热效率。
33.2、通过设置与冷却腔连通的第一管和第二管，以通过第一管向冷却腔内注入冷却流体，并经第二管流出，从而通过冷却流体的流动带走冷却腔内的热量，从而实现散热的目的。进一步地，通过沿第一管向第二管方向，使得导流面到承载面的距离逐渐减小，以在冷却腔内形成一斜坡，以增加冷却流体流动的速度，从而增加散热的效率，并避免由于冷却腔内为平面而出现的残余冷却流体无法流出的问题，防止残余的高温流体滞留在冷却腔内而出现的影响光刻机散热的问题。
34.3、通过在第一管和第二管的外壁处环绕设置弹性密封件，并使弹性密封件的直径大于第一孔和第二孔的直径，以在第一管伸出第一孔或第二管伸出第二孔时，弹性密封件受到第一孔和第二孔的压力而变形以堵塞在第一管与第一孔和第二管与第二孔之间的缝隙处，从而将第一管与第一孔密封，将第二管与第二孔密封，从而防止冷却流体经第一管和/或第二管外壁渗入led光源内部而影响发光件的正常使用的问题。进一步地，在弹性密封件的第一面及第二面上涂覆胶凝层，以在冷却流体经第一管和/或第二管外壁流入弹性密封件时，冷却流体先与胶凝层接触，胶凝层在接触冷却流体后变硬以封堵在第一管和第二孔之间的缝隙和/或封堵在第二管与第二孔之间的缝隙内，从而防止冷却流体经弹性密封件的空隙处渗入led光源内的问题，更好的起到密封效果。
35.4、通过在第一管和第二管外壁处设置定位件，并在第一壳体朝向定位件的内壁开设定位槽，通过将定位件卡设于定位槽内，从而使得弹性密封件的轴心与第一孔或第二孔的轴心重合，从而保证了第一管、第二管的连接精度。进一步地，定位件环绕弹性密封件外壁设置，以包裹住弹性密封件上的胶凝层，以在胶凝层接触冷却流体变硬时，胶凝层能直接贴附于定位件上，从而进一步地保证了led光源的密封性。
36.5、通过在连接孔上设置分别与连接孔内壁垂直的第三面及与连接孔内壁平行的第四面，以使第一透镜在安装于连接孔内时能承载于第三面上，且第一透镜的圆周壁能抵持于第四面上，从而保证了第一透镜安装的精度，并防止由于晃动而出现的第一透镜位置偏移而影响光源聚焦的问题。进一步地，通过在每一连接孔的第四面及每一透镜的周壁上设置压力传感器，并在每一连接孔内设置与上述压力传感器电连接的发声件，以在一个第一透镜因晃动而偏移，并对第四面上的压力传感器产生挤压并超过压力传感器的阈值时，压力传感器控制相应的发声件发出声音，从而便于操作人员发现并准确判断具体的第一透镜的损坏情况，提高维修效率，降低单一透镜检修的维修时间，提高了led光源的使用寿命。
【附图说明】
37.图1为本技术一实施例中led光源的立体结构示意图。
38.图2为图1所示的led光源的分解图。
39.图3为图2所示的散热件和发光件的立体结构示意图。
40.图4为图2所示的散热件的立体结构示意图。
41.图5为图1所示的第一壳体、散热件、发光线及导热件沿a-a方向的剖视分解图。
42.图6为图5中b处的放大视图。
43.图7为图2所示的第一透镜组的立体分解图。
44.【主要元件符号说明】
45.100、led光源；10、散热件；10a、冷却腔；10b、散热面；10c、承载面；10d、导流面；11、
容置部；11a、弧形面；12、第一管；13、第二管；14、弹性密封件；14a、第一面；14b、第二面；141、胶凝层；15、定位件；20、发光件；21、灯板；21a、安装槽；30、导热件；31、荧光粉层；40、第一壳体；40a、第一孔；40b、第二孔；40c、定位槽；50、第二壳体；60、第一透镜组；61、承载件；61a、连接孔；611a、第三面；611b、第四面；62、第一透镜；70、压力传感器；80、第二透镜。
【具体实施方式】
46.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例进行描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
47.需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“顶”、“底”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、以及类似的表述只是为了说明的目的。
48.本技术的实施例提供一种用于直写光刻的led光源，包括：
49.散热件，开设有用于收容冷却流体的冷却腔，所述散热件具有散热面，所述散热面上设有多个凹伸至所述冷却腔内的容置部，其中，所述容置部凹伸至所述冷却腔内的面为弧形面；
50.多个发光件，分别设于多个所述容置部内；
51.多个导热件，每一所述导热件分别罩设于一个所述发光件上，且所述导热件朝向所述发光件的端部伸入所述容置部内，并连接所述弧形面；
52.其中，每一所述导热件凸伸出所述散热件的部分全覆盖有一层荧光粉层，以将所述发光件在所述荧光粉层产生的热量经所述导热件传递至所述弧形面。
53.本技术通过在散热面上设置多个凹伸至冷却腔内的容置部，将凹伸至冷却腔内的面设置为弧面，并通过将多个发光件设置于容置部内，将导热件罩设于发光件上，并在导热件上全覆盖一层荧光粉层。以在发光件向四周发出白光时，白光中的蓝色在经荧光粉层折射后在荧光粉层出产生热量，导热件将热量传递至弧面上，并通过向冷却腔内通入冷却流体带走弧面上的热量，从而实现led光源的全面散热。且弧面的设置增大了冷却腔内的散热面积，提高了散热效率。
54.下面结合附图，对本技术的一些实施例作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
55.请参阅图1和图2，本技术的一实施例提供一种用于直写光刻的led光源100，包括散热件10、设于散热件10上的多个发光件20和分别罩设于多个发光件20上的多个导热件30，以通过导热件30将发光件20产生的热量传递至散热件10上，以实现热量的散发。
56.在一实施例中，发光件20包括但不限于led灯珠。
57.在一实施例中，导热件30由透明的导热高分子材料制成。
58.进一步地，请结合图2、图5和图6，散热件10开设有用于收容冷却流体的冷却腔10a，优选的，冷却流体为冷却水。散热件10具有散热面10b，散热面10b上设有多个凹伸至冷却腔10a内的容置部11，且容置部11凹伸至冷却腔10a内的面为弧形面11a。多个发光件20分别设于多个容置部11内。每一导热件30分别罩设在一个发光件20上，且导热件30朝向发光件20的端部伸入容置腔内，并连接弧形面11a，以将发光件20产生的热量传递至弧形面11a
上，以实现发光件20的散热。
59.更进一步地，由于led灯发出的光为分散光，为了便于收集分散光在散热件10四处产生的热量，并为了保证从led灯发出所需要色段及频率的色光，每一导热件30凸伸出散热件10的部分全覆盖有一层荧光粉层31，以使led灯发出的光在经过荧光粉层31折射时，在荧光粉层31出产生热量，由于荧光粉层31直接粘附在导热件30上，导热件30将荧光粉层31处产生的热量传递至弧形面11a上，并经冷却腔10a内冷却流体的流动从而带动弧形面11a上热量的转移，从而起到散热作用。
60.需要说明的是，led光源100发射出的白光是在led蓝光芯片上涂覆yag(钇铝石榴石)荧光粉，蓝光芯片发出的蓝光激发荧光粉后可产生典型的500-560nm的黄绿光，黄绿光再与蓝色光合成以形成白光。而白光中的蓝色光在经过荧光粉折射时，会在荧光粉处产生大量热量。
61.在一实施例中，散热面10b为平面，以便于多个发光件20的设置。容置部11为沿散热面10b向内凹伸的槽，其中，弧形面11a向冷却腔10a内凹伸的部分直接伸入至冷却腔10a内与冷却流体接触，由于弧形面11a的设置，增加了与冷却腔10a体的散热面10b积，从而增加了多个发光件20的散热效率。
62.可以理解的是，上述方案是直接将多个发光件20设置在容置部11内，并通过导热件30将多个发光件20的热量传递至弧形面11a上以实现散热，但多个发光件20的设置方式并不限于此。
63.如在另一实施例中，led光源100还包括灯板21，灯板21上开设有多个安装槽21a，多个发光件20设置于灯板21上的安装槽21a内。优选的，灯板21由导热性能好的材料制成，如铜等，以便于导热件30将荧光粉上的热量传递至弧形面11a或灯板21上，并由于其导热性，使的冷却流体在冷却腔10a内流经弧形面11a及灯板21端面时，流动的冷却流体便于将弧形面11a及灯板21上的热量带走，从而增加多个导热件30的散热效率。
64.优选的，上述发光件20可呈蜂窝状、直线形、矩形、圆形或其他形状和密度排布，以满足不同的聚光需求。
65.上述方案通过在散热面10b上设置多个凹伸至冷却腔10a内的容置部11，将凹伸至冷却腔10a内的面设置为弧面，并通过将多个发光件20设置于容置部11内，将导热件30罩设于发光件20上，并在导热件30上全覆盖一层荧光粉层31。以在发光件20向四周发出白光时，白光中的蓝色在经荧光粉层31折射后在荧光粉层31出产生热量，导热件30将热量传递至弧面上，并通过向冷却腔10a内通入冷却流体带走弧面上的热量，从而实现led光源100的全面散热。且弧面的设置增大了冷却腔10a内的散热面10b积，提高了散热效率。
66.请结合图2、图3和图4，为了便于向冷却腔10a内输入和输出冷却流体，散热件10还包括与冷却腔10a连通的第一管12和第二管13。以通过第一管12向冷却腔10a内注入冷却流体，并经第二管13流出，从而通过冷却流体的流动带走冷却腔10a内的热量，从而实现散热的目的。
67.进一步地，散热件10还具有设于外侧并与散热面10b背对设置的承载面10c，其中，第一管12和第二管13设于承载面10c上，以使从第一管12或第二管13中注入冷却腔10a内的冷却流体在进入冷却腔10a时，能直接冲击在散热面10b上，从而激烈的震动以将扫热面上的热量带出。
68.再进一步地，散热件10还具有设于冷却腔10a内并与承载面10c背对设置的导流面10d，冷却流体在经第一管12输入冷却腔10a后，沿导流面10d流动并经第二管13流出。
69.具体地，沿第一管12至第二管13的方向，导流面10d到承载面10c的距离逐渐减小，以在冷却腔10a内形成一斜坡，以增加冷却流体流动的速度，从而增加散热的效率，并避免由于冷却腔10a内为平面而出现的残余冷却流体无法流出的问题，防止残余的高温流体滞留在冷却腔10a内而出现的影响光刻机散热的问题。
70.请结合图1、图2、图5和图6，led光源100还包括可拆卸设置的第一壳体40和第二壳体50，上述散热件10、发光件20和导热件30设于第一壳体40和第二壳体50内。进一步地，第一壳体40开设有第一孔40a和第二孔40b。其中，第一管12伸出第一孔40a设置，第二管13伸出第二孔40b设置，以使第一管12和第二管13伸出第一壳体40和第二壳体50，并通过外设的流体输入装置对设置在第一壳体40和第二壳体50内的散热件10进行注入以及散热操作。
71.请参阅图4和图5，散热件10还包括弹性密封件14。弹性密封件14环绕设于第一管12和第二管13外壁，以在第一管12伸入第一孔40a及第二管13伸入第二孔40b时，弹性密封件14封堵住第一孔40a与第一管12之间的缝隙，以及封堵住第二管13与第二孔40b之间的间隙，从而防止冷却流体经第一管12和/或第二管13外壁渗透至第一壳体40内从而出现影响内置电器元器件的正常使用的问题。
72.进一步地，弹性密封件14的直径大于第一孔40a和第二孔40b的直径，以在第一管12伸出第一孔40a或第二管13伸出第二孔40b时，弹性密封件14受到第一孔40a和第二孔40b的压力而变形以堵塞在第一管12与第一孔40a和第二管13与第二孔40b之间的缝隙处，从而将第一管12与第一孔40a密封，将第二管13与第二孔40b密封，从而防止冷却流体经第一管12和/或第二管13外壁渗入led光源100内部而影响发光件20的正常使用的问题。
73.再进一步地，弹性密封件14具有面向第一壳体40的第一面14a和环绕于弹性密封件14圆周的第二面14b。其中，第一面14a和第二面14b上涂覆有胶凝层141，以在冷却流体经第一管12和/或第二管13外壁流入弹性密封件14时，冷却流体先与胶凝层141接触，胶凝层141在接触冷却流体后变硬以封堵在第一管12和第二孔40b之间的缝隙和/或封堵在第二管13与第二孔40b之间的缝隙内，从而防止冷却流体经弹性密封件14的空隙处渗入led光源100内的问题，更好的起到密封效果。
74.在一实施例中，弹性密封件14包括但不限于泡棉等。胶凝层141包括但不限于生石灰层、水泥层等。
75.请参阅图4、图5和图6，led光源100还包括环绕于弹性密封件14外壁的定位件15，第一壳体40朝向定位件15的内壁开设有定位槽40c，定位件15可卡设于定位槽40c以使第一管12和第二管13精准的固定于第一壳体40的指定位置。
76.进一步地，定位件15卡设于定位槽40c内时，弹性密封件14的轴心与第一孔40a或第二孔40b的轴心重合，从而使得弹性密封件14凸伸出第一管12或第二管13的部分均匀的填充至第一管12与第一孔40a之间的缝隙，或均匀的填充至第二管13与第二孔40b之间的间隙，从而防止局部密封不严的问题，更好的保证了第一孔40a和第二孔40b的密封性。
77.再进一步地，定位件15环绕弹性密封件14外壁设置，以包裹住弹性密封件14上的胶凝层141，以在胶凝层141接触冷却流体变硬时，胶凝层141能直接贴附于定位件15上，从而进一步地保证了led光源100的密封性。在一实施例中，定位件15大致为圆柱体结构，且定
位件15靠近第一壳体40端部与第一管12或第二管13之间设置有间隙，定位槽40c为与定位件15端部形状一致的环形槽，以使定位件15端部插设至定位槽40c内时，能保证定位件15、第一管12和第二管13达到一精准的位置。
78.可以理解的是，定位槽40c及定位件15的设置位置需要根据第一管12和第二管13的具体设置位置而定。
79.需要说明的是，在光刻机的光源中，对光线的聚焦位置要求极高，为了保证光刻机的正常使用，需要保证散热件10及多个发光件20位置的精度，从而保证整体光线聚焦的精度。上述方案通过使用定位件15及定位槽40c的插设，以保证定位件15的相对位置精度，并防止光刻机在晃动时出现第一管12和第二管13偏移而导致的发光件20位置晃动而影响光刻机精度的问题。
80.请结合图2和图7，led光源100还包括承载件61和多个第一透镜组60。在一实施例中，承载件61设于第一壳体40和第二壳体50之间，并位于多个发光件20靠近第二壳体50一侧，多个第一透镜组60设于承载件61上，以用于将多个发光件20发出的光线折射以形成平行光。
81.在一实施例中，第一透镜组60包括在至少两个第一透镜组60装而成。优选的，第一透镜62的数量为三个，可通过凹透镜或凸透镜的组合形成。
82.进一步地，承载件61开设有多个连接孔61a，每一第一透镜组60设于一个连接孔61a内，且多个发光件20正对多个连接孔61a设置，以使每一发光件20发出的光进入一连接孔61a内，并经第一透镜组60折射后形成平行光线。
83.再进一步地，承载件61在连接孔61a端部设置有垂直于连接孔61a内壁的第三面611a和平行于连接孔61a内壁的第四面611b，第一透镜62承载于第三面611a上，且第一透镜62的圆周面与第四面611b接触，以使第一透镜62在安装于连接孔61a内时能承载于第三面611a上，且第一透镜62的圆周壁能抵持于第四面611b上，从而保证了第一透镜62安装的精度，并防止由于晃动而出现的第一透镜62位置偏移而影响光源聚焦的问题。
84.更进一步地，led光源100还包括多个压力传感器70和多个发声件。每一第四面611b及每一第一透镜62圆周壁上设有一压力传感器70，且位于同一连接孔61a内的压力传感器70和发声件(图未示)电连接，以在一个第一透镜62因晃动而偏移，并对第四面611b上的压力传感器70产生挤压并超过压力传感器70的阈值时，压力传感器70控制相应连接孔61a内的发声件发出声音，从而便于操作人员发现并准确判断具体的第一透镜62的损坏情况，提高维修效率，降低单一透镜检修的维修时间，提高了led光源100的使用寿命。
85.需要说明的是，压力传感器70的阈值需要根据实际情况设置，如在一实施例中，led光源100竖直使用，即，每一第一透镜62承载于第三面611a上，第三面611a上受到的力为一个第一透镜62的重力，此时，第一透镜62虽抵靠在第四面611b上，但由于第一透镜62对第四面611b无压力作用，压力传感器70受到的压迫力为0。当位于第一透镜62一侧的压力传感器70受到持续的压力时，位于第一透镜62另一侧的压力传感器70受到的压力持续为0时，即显示第一透镜62向一边偏移，此时，压力传感器70控制相应的发声件发出声音以提醒操作人员维修。优选的，压力传感器70的阈值为第一透镜62重力的一半。
86.在一实施例中，承载件61大致为一平板结构。
87.在一实施例中，发声件包括但不限于蜂鸣器。
88.进一步地，led光源100还包括第二透镜80，第二透镜80设于第一透镜组60件靠近第二壳体50的一侧，以将由第一透镜组60件折射而出的平行光聚焦为高密度的光线。优选的，第二透镜80为凸透镜。
89.上述方案通过在散热面10b上设置多个凹伸至冷却腔10a内的容置部11，将凹伸至冷却腔10a内的面设置为弧面，并通过将多个发光件20设置于容置部11内，将导热件30罩设于发光件20上，并在导热件30上全覆盖一层荧光粉层31。以在发光件20向四周发出白光时，白光中的蓝色在经荧光粉层31折射后在荧光粉层31出产生热量，导热件30将热量传递至弧面上，并通过向冷却腔10a内通入冷却流体带走弧面上的热量，从而实现led光源100的全面散热。且弧面的设置增大了冷却腔10a内的散热面10b积，提高了散热效率。
90.以上所述的仅是本技术的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本技术的保护范围。
技术特征：1.一种用于直写光刻的led光源，其特征在于，包括：散热件，开设有用于收容冷却流体的冷却腔，所述散热件具有散热面，所述散热面上设有多个凹伸至所述冷却腔内的容置部，其中，所述容置部凹伸至所述冷却腔内的面为弧形面；多个发光件，分别设于多个所述容置部内；多个导热件，每一所述导热件分别罩设于一个所述发光件上，且所述导热件朝向所述发光件的端部伸入所述容置部内，并连接所述弧形面；其中，每一所述导热件凸伸出所述散热件的部分全覆盖有一层荧光粉层，以将所述发光件在所述荧光粉层产生的热量经所述导热件传递至所述弧形面。2.根据权利要求1所述的用于直写光刻的led光源，其特征在于，所述散热件还包括与所述冷却腔连通的第一管和第二管；所述散热件还具有设于外侧并与所述散热面背对设置的承载面；所述第一管和所述第二管设于所述承载面上，用于向所述冷却腔内输入和输出冷却流体。3.根据权利要求2所述的用于直写光刻的led光源，其特征在于，所述散热件还具有设于所述冷却腔内并与所述承载面背对设置的导流面；其中，沿所述第一管至所述第二管的方向，所述导流面到所述承载面的距离逐渐减小。4.根据权利要求2所述的用于直写光刻的led光源，其特征在于，所述led光源还包括可拆卸设置的第一壳体和第二壳体；所述第一壳体开设有第一孔和第二孔；所述第一管伸出所述第一孔设置，所述第二管伸出所述第二孔设置。5.根据权利要求4所述的用于直写光刻的led光源，其特征在于，所述散热件还包括弹性密封件；所述弹性密封件环绕设于所述第一管和所述第二管外壁；其中，所述弹性密封件的直径大于所述第一孔和所述第二孔的直径，以在所述第一管伸出所述第一孔及所述第二管伸出所述第二孔时，所述弹性密封件封堵于所述第一孔和所述第二孔位置处。6.根据权利要求5所述的用于直写光刻的led光源，其特征在于，所述弹性密封件具有面向所述第一壳体的第一面和环绕于所述弹性密封件圆周的第二面；所述第一面和所述第二面上涂覆有胶凝层，以在所述第一管和/或所述第二管外壁渗水时，所述胶凝层凝固以封堵所述第一孔和所述第二孔。7.根据权利要求5所述的用于直写光刻的led光源，其特征在于，所述led光源还包括环绕设置于所述弹性密封件外壁的定位件，所述第一壳体朝向所述定位件的内壁开设有定位槽；所述定位件可卡设于所述定位槽内，且在所述定位件卡设于所述定位槽内时，所述弹性密封件的轴心与所述第一孔或所述第二孔的轴心重合。8.根据权利要求1所述的用于直写光刻的led光源，其特征在于，所述led光源还包括承载件和多个第一透镜组，其中，所述第一透镜组包括至少两个第一透镜组装而成；所述承载件上开设有多个连接孔，每一所述第一透镜组设于一个所述连接孔内。
9.根据权利要求8所述的用于直写光刻的led光源，其特征在于，所述承载件在所述连接孔端部设置有垂直于所述连接孔内壁的第三面和平行于所述连接孔内壁的第四面；所述第一透镜承载于所述第三面上，且所述第一透镜的圆周面与所述第四面接触。10.根据权利要求9所述的用于直写光刻的led光源，其特征在于，所述led光源还包括多个压力传感器和多个发声件；每一所述第四面及每一所述第一透镜圆周壁上设有一所述压力传感器，且位于同一连接孔内的所述压力传感器和所述发声件电连接，以在所述第一透镜晃动时，位于同一所述连接孔内的发声件发声。
技术总结本申请提供了一种用于直写光刻的LED光源，包括：散热件，开设有用于收容冷却流体的冷却腔，散热件具有散热面，散热面上设有多个凹伸至冷却腔内的容置部，其中，容置部凹伸至冷却腔内的面为弧形面；多个发光件，分别设于多个容置部内；多个导热件，每一导热件分别罩设于一个发光件上，且导热件朝向发光件的端部伸入所述容置部内，并连接所述弧形面；其中，每一导热件凸伸出散热件的部分全覆盖有一层荧光粉层，以将发光件在所述荧光粉层产生的热量经所述导热件传递至所述弧形面。本申请通过导热件将发光件在荧光粉层产生的热量传递至弧面上，并通过向冷却腔内通入冷却流体带走弧面上的热量，从而实现LED光源的全面散热。从而实现LED光源的全面散热。从而实现LED光源的全面散热。
技术研发人员：王华 陈志特 吴中海
受保护的技术使用者：东莞锐视光电科技有限公司
技术研发日：2022.05.14
技术公布日：2022/7/5
