1.本发明涉及储物技术领域，具体而言，涉及一种微压设备保护用安全阀和微压设备。
背景技术：2.真空手套箱、惰性气体保护箱等微压气体设备或系统中，通常需要将设备内空气抽出并充入惰性气体，惰性气体充入压力一般略高于大气压力，设备或系统的最大工作压力通常≤800pa。在充入惰性气体过程中，如操作不当可能会导致充入气体压力超过设备的最大工作压力，为保护设备正常工作，通常需要在设备上安装安全阀，使超压气体能准确自动排放。为避免超压气体排放后，设备中正常压力的惰性气体不外泄，需要该安全阀在较低的启闭范围内能实现严密密封。目前，现有技术的安全阀因结构限制，不能满足1kpa以下微压气体超压安全排放。一般情况下，该类设备上使用单呼阀来进行超压排放，而单呼阀采用调整自身阀瓣重量来设定呼出压力，密封性差，或者需要很大范围的启闭压差才能实现较好密封，设备中充入的惰性气体容易外泄，不利于设备正常工作。
技术实现要素：3.本发明的目的在于提供一种微压设备保护用安全阀和微压设备，其能够在满足微压设备内部压力在1kpa以下的前提下实现微压气体超压安全排放，并且能在≥90％整定压力范围内严密密封。
4.本发明的实施例是这样实现的：
5.第一方面，本发明提供一种微压设备保护用安全阀，包括：
6.阀体、阀芯、驱动组件和复位组件；
7.所述阀体设有泄压孔以及第一密封部；所述阀芯设有第二密封部以及用于连通所述微压设备的内腔的通气孔，所述阀芯与所述阀体活动连接，用于在第一位置和第二位置之间切换，处于所述第一位置时，所述第一密封部和所述第二密封部贴合以关闭所述泄压孔，处于所述第二位置时，所述第一密封部与所述第二密封部分离以打开所述泄压孔；
8.所述驱动组件包括壳体、膜片和传动件，所述壳体与所述阀体连接，所述膜片的有效表面积大于所述第一密封部的有效表面积，所述膜片设于所述壳体内且将所述壳体分隔形成相互独立的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室连通所述通气孔；所述传动件同时连接所述膜片和所述阀芯；
9.所述复位组件与所述壳体连接，所述复位组件用于使所述阀芯具有从所述第二位置向所述第一位置运动的趋势。
10.在可选的实施方式中，所述膜片的有效表面积与所述第一密封部的有效表面的比值设置在10-20之间。
11.在可选的实施方式中，所述阀体包括主体和阀座，所述主体设置有进气通道和出气通道，所述进气通道与所述通气孔连通；处于所述第一位置时，所述进气通道与所述出气
通道阻断；处于所述第二位置时，所述进气通道通过所述泄压孔连通所述出气通道；所述泄压孔设于所述阀座上，所述泄压孔具有第一端口和第二端口，所述第一密封部设于所述第一端口所在端面上。
12.在可选的实施方式中，所述第一密封部设置为围绕所述泄压孔的端口设置的环形凸部，所述环形凸部的横截面面积在从所述第一端口向所述第二端口的方向上逐渐增大。
13.在可选的实施方式中，所述环形凸部背离所述第一端口的侧面设置为用于与所述第二密封部贴合的弧形面。
14.在可选的实施方式中，所述阀芯包括芯体和密封垫，所述密封垫与所述芯体连接，所述第二密封部设于所述密封垫上；所述第一端口所在端面设置有第一限位部，所述芯体上设置有第二限位部，所述第一限位部用于与所述第二限位部抵持，以限制所述密封垫在沿靠近所述环形凸部的方向上运动的距离。
15.在可选的实施方式中，所述壳体包括第一半壳和第二半壳，所述第一半壳和所述第二半壳可拆卸地连接；所述第一半壳与所述膜片共同限定出所述第一腔室，所述第二半壳与所述膜片共同限定出所述第二腔室；所述复位组件与所述第二半壳连接；所述传动件贯穿所述第一半壳并与所述阀芯连接。
16.在可选的实施方式中，所述复位组件包括基体以及弹性件，所述基体与所述壳体连接，所述弹性件同时抵接于所述基体和所述膜片，用于使膜片具有从所述第二位置向所述第一位置运动的趋势。
17.在可选的实施方式中，所述弹性件的弹力可调。
18.第二方面，本发明提供一种微压设备，所述微压设备包括：
19.设备本体和前述实施方式中任一项所述的微压设备保护用安全阀，所述阀体与所述设备本体连接，所述通气孔与所述设备本体的内腔连通；处于所述第一位置时，所述内腔与所述泄压孔阻断，处于所述第二位置时，所述内腔与所述泄压孔连通。
20.本发明实施例的有益效果是：
21.综上所述，本实施例提供的微压设备保护用安全阀，与设备本体配合使用，将阀体装配至设备本体上且使设备本体的内腔与通气孔连通，如此，设备本体的内腔通过通气孔连通第一腔室，设备本体的内腔压力与第一腔室内压力相等。
22.先调整复位组件以设定安全阀整定压力值(也即安全阀的开启压力值)。当设备本体压力低于安全阀整定压力值时，流体介质作用于膜片向上的力低于复位组件作用于膜片向下的力，也即膜片处于第一腔室一侧受到的外力小于膜片处于第二腔室一侧受到的外力，此时，阀芯处于第一位置，第一密封部和第二密封部共同配合关闭泄压孔，设备本体内的流体介质不会从泄压孔排出。
23.当设备本体压力达到安全阀整定压力值时，流体介质作用于膜片向上的力大于复位组件作用于膜片向下的力，膜片上移带动阀芯上移，第一密封部远离第二密封部从而解除对泄压孔的密封，泄压孔开启排放设备本体中超压气体。超压气体排出后，设备本体内腔压力逐渐降低，当设备本体内压力降低至低于安全阀整定压力值时，阀芯在复位组件的作用下复位，第一密封部与第二密封部再次配合密封泄压孔，并在≥90％整定压力范围内达到严密密封。
24.由于设备本体内是小于1kpa的微压气体，该安全阀的阀芯只具备开启和关闭泄压
孔的作用，驱动阀芯运动的部件为膜片，并且，膜片有效表面积大于第一密封部的有效表面积，如此，膜片能将微压气体的力放大，使复位组件能实现安全阀整定压力值的灵活调整，并且将阀芯的密封力放大，达到≥90％整定压力范围严密密封。
附图说明
25.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
26.图1为本发明实施例的微压设备保护用安全阀的结构示意图；
27.图2为图1中的局部放大结构示意图；
28.图3为图2中的局部放大结构示意图；
29.图4为本发明实施例的阀芯的部分结构示意图。
30.图标：
31.100-阀体；110-主体；111-进气通道；112-出气通道；120-阀座；121-泄压孔；122-第一端口；1221-第一限位部；123-第二端口；130-密封件；140-第一密封部；200-阀芯；210-导套；220-芯体；221-限位板部；222-滑动筒部；2221-第二限位部；223-第一通气孔；230-密封垫；240-压板；250-第二密封部；300-驱动组件；310-壳体；311-第一半壳；3111-第二通气孔；3112-滑动孔；312-第二半壳；313-第一腔室；314-第二腔室；320-膜片；330-传力杆；340-第一托盘；350-第二托盘；360-螺母；400-复位组件；410-基体；420-底座；430-调节座；431-第三通气孔；432-限位槽；440-弹性件；450-调节杆；451-球形头；460-端盖；461-螺纹孔；462-第四通气孔；470-防护罩；471-第五通气孔；480-通气罩；481-第六通气孔。
具体实施方式
32.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
33.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
34.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
35.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理
解为指示或暗示相对重要性。
36.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
37.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
38.现有技术中，已有的安全阀一般是介质向上的力和弹簧向下的力直接作用在阀芯200上，利用阀芯200受力大小开启和关闭。而在微压设备保护中，介质压力小于1kpa，这种微压作用在阀芯200上的力甚至小于了阀芯200及连接于阀芯200上的其余部件的重量，安全阀整定压力值无法设置，即使尽量减轻零件重量使安全阀整定压力值可以调节，安全阀在关闭后，需要设备内介质压力降低很多才能达到密封要求或者根本无法达到严密密封。
39.鉴于此，设计者设计了一种微压设备保护用安全阀，安全阀的阀芯200上开设通气孔，阀芯200只作为启闭部件。安全阀开闭动作的驱动力作用在膜片320上，膜片320的面积经计算后放大，继而能将安全阀排放和关闭的密封力均放大，既能实现灵敏工作，也能在≥90％安全阀整定压力范围内严密密封。
40.请参阅图1-图4，本实施例中，微压设备保护用安全阀包括阀体100、阀芯200、驱动组件300和复位组件400。阀体100设有泄压孔121以及第一密封部140；阀芯200设有第二密封部250以及用于连通微压设备的内腔的通气孔，阀芯200与阀体100活动连接，用于在第一位置和第二位置之间切换，处于第一位置时，第一密封部140和第二密封部250贴合以关闭泄压孔121，处于第二位置时，第一密封部140与第二密封部250分离以打开泄压孔121。驱动组件300包括壳体310、膜片320和传动件，壳体310与阀体100连接，膜片320的有效表面积大于第一密封部140的有效表面积，膜片320设于壳体310内且将壳体310分隔形成相互独立的第一腔室313和第二腔室314，第一腔室313与通气孔连通；传动件同时连接膜片320和阀芯200。复位组件400与壳体310连接，复位组件400用于使阀芯200具有从第二位置向第一位置运动的趋势。
41.其中，需要说明的是，第一密封部140的有效表面积是指第一密封部140和第二密封部250处于关闭泄压孔121的位置时，第一密封部140和第二密封部250贴合部分的表面积。膜片320的有效表面积是指膜片320位于第一腔室313一侧的与流体介质接触的表面的面积。
42.本实施例提供的微压设备保护用安全阀的工作原理如下：
43.将安全阀利用其阀体100固定在设备本体上，且使设备本体的内腔与通气孔连通，如此，设备本体的内腔通过通气孔连通第一腔室313，设备本体的内腔压力与第一腔室313内压力相等。在对设备本体进行惰性气体等充气前，先调整复位组件400以设定安全阀整定压力值，也即通过调整复位组件400以设定安全阀的开启压力值。
44.对设备本体进行充气时，当设备本体压力低于安全阀整定压力值时，流体介质作用于膜片320向上的力低于复位组件400作用于膜片320向下的力，也即膜片320处于第一腔
室313一侧受到的外力小于膜片320处于第二腔室314一侧受到的外力，此时，阀芯200处于第一位置，第一密封部140和第二密封部250共同配合关闭泄压孔121，设备本体内的流体介质不会从泄压孔121排出。当设备本体压力达到安全阀整定压力值时，流体介质作用于膜片320向上的力大于复位组件400作用于膜片320向下的力，膜片320上移带动阀芯200上移，第一密封部140远离第二密封部250从而解除对泄压孔121的密封，泄压孔121开启排放设备本体中超压气体。超压气体排出后，设备本体内腔压力逐渐降低，当设备本体内压力降低至低于安全阀整定压力值时，阀芯200在复位组件400的作用下复位，第一密封部140与第二密封部250再次配合密封泄压孔121，并在≥90％整定压力范围内达到严密密封。
45.由于设备本体内是小于1kpa的微压气体，该安全阀的阀芯200只具备开启和关闭泄压孔121的作用，驱动阀芯200运动的部件为膜片320，并且，膜片320有效表面积大于第一密封部140的有效表面积，如此，膜片320能将微压气体的力放大，使复位组件400能实现安全阀整定压力值的灵活调整，并且将阀芯200的密封力放大，达到≥90％整定压力范围严密密封。
46.本实施例中，可选的，膜片320的有效表面积与第一密封部140的有效表面积的比值设置在10-20之间，进一步的，膜片320的有效表面积与第一密封部140的有效表面的比值设置在15-18之间。在一个具体实施方式中，膜片320的有效表面积与第一密封部140的有效表面的比值可以设置为10、15、16或18等，本实施例中不进行一一列举。膜片320的有效表面积与第一密封部140的有效表面积的比值可以通过计算获取。例如，可以先确定第一密封部140的有效表面积，然后再根据相应的比值获取膜片320的有效表面积，反之亦然。
47.请结合图1和图2，本实施例中，可选的，阀体100包括主体110、阀座120和密封件130。主体110设置有进气通道111和出气通道112，进气通道111和出气通道112的延伸方向垂直，例如，本实施例中，进气通道111沿第一轴线延伸，出气通道112沿第二轴线延伸，进一步请参考图1，以该图中的视角作为参考，第一轴线为竖向延伸，第二轴线为水平延伸。进气通道111的端部设置有法兰结构，用于与设备本体连接。出气通道112的端部设置有法兰结构，用于与气体收集处理设备连接，或者出气通道112的端部直接暴露在环境中。阀座120设置为中空结构，阀座120的内腔即为泄压孔121。阀座120具有在其长度方向延伸的第一端口122和第二端口123，阀座120固定在主体110内部，阀座120的第二端口123与进气通道111靠近出气通道112的端部对接。并且，阀座120和主体110之间设置有密封件130，密封件130密封进气通道111和第二端口123的连接位置，阀座120阻断进气通道111和出气通道112，并且能通过泄压孔121连通进气通道111和出气通道112。同时，阀座120的第一端口122所在端面设置有围绕第一端口122的环形凸部，环形凸部即为第一密封部140。进一步的，环形凸部设置为变径结构，也即，环形凸部的横截面面积在从第一端口122向第二端口123的方向上逐渐增大，其中，横截面为垂直于第一轴线的平面。例如，本实施例中，环形凸部的外周面设置为圆锥面，内周面设置为圆柱面，如此，环形凸部背离第一端口122的侧面的宽度小，环形凸部背离第一端口122的侧面用于与第二密封部250密封配合，二者的接触面积小，压强大，密封更加严密。进一步的，环形凸起背离第一端口122的侧面设置为弧形面，弧形面的端面形状可以为圆形，换句话说，环形凸部背离第一端口122的侧面设置为倒圆角。可选的，倒圆角的半径设置在0.05mm-0.15mm之间，如此，弧形面的宽度可以控制在0.1mm-0.3mm之间，该宽度是指弧形面在垂直于第一轴线的方向上的截面轮廓的内边缘与外边缘的最大距离，该最
大距离控制在0.1mm-0.3mm之间。
48.请结合图2和图3，进一步的，第一端口122所在端面的部分设置为第一限位部1221，第一限位部1221可以是围绕环形凸部的环形平面，该第一限位部1221用于与阀芯200抵持，能够限制阀芯200的运动距离。
49.请结合图1-图4，本实施例中，可选的，阀芯200包括导套210、芯体220、密封垫230和压板240。导套210固定在主体110上且贯穿主体110，导套210基本与泄压孔121同轴设置。导套210与阀座120的第一端口122具有间距。例如，导套210可以为圆柱形管，导套210焊接在主体110上。芯体220包括相连的限位板部221和滑动筒部222，滑动筒部222插接在导套210中且二者在第一轴线的延伸方向上可滑动地连接，导套210和滑动筒部222之间设置有密封圈。应当理解，导套210和滑动筒部222可滑动的连接，为了减小摩擦力，可以提高导套210内壁和滑动筒部222外壁的光滑度。同时，限位板部221设于滑动筒部222内，也即滑动筒部222靠近第一端口122的一端与限位板部221之间限定出凹槽，并且，滑动筒部222靠近第一端口122的一端面设置有第二限位部2221，第二限位部2221可以设置为环形平面。限位板部221上设置有第一通气孔223，第一通气孔223的数量按需设置。压板240与限位板部221固定连接，密封垫230为环形件，密封垫230嵌设于凹槽中且被压板240与限位板部221共同限位，密封垫230不能够在第一轴线的延伸方向上相对于限位板部221和压板240移动。第二密封部250位于密封垫230上或者说第二密封部250即为密封垫230，密封垫230远离限位板部221的侧面高于凹槽的槽口。压板240上设置有与第一通气孔223对应的孔，从而将进气通道111、第一通气孔223、第一腔室313连通。
50.进一步的，在阀芯200处于第一位置时，第一限位部1221和第二限位部2221之间的距离d设置为0.4mm-0.6mm，如此，在复位组件400通过膜片320为阀芯200提供密封力时，由于第一密封部140和第二密封部250的接触面积小，压强大，运行过程中存在第一密封部140将第二密封部250损坏的隐患，因此，先通过将第一密封部140与第二密封部250接触的面设置为弧形面，能够减小第二密封部250应力集中的情况，降低第二密封部250被第一密封部140损坏的概率，同时，通过第一限位部1221和第二限位部2221的结构设置，第二密封部250在与第一密封部140处于密封接触的前提下进一步靠近第一密封部140运动时，第一限位部1221和第二限位部2221能够抵持，从而限制了第二密封部250靠近第一密封部140运动的距离，避免第一密封部140刺破第二密封部250造成第二密封部250损坏和密封失效的现象，使用安全性高。
51.应当理解，在阀芯200处于第一位置时，第一限位部1221和第二限位部2221之间的距离可以设置为0.4mm、0.5mm或0.6mm等。
52.此外，芯体220相对于导套210在第一位置和第二位置之间运动时，芯体220与导套210之间始终通过密封圈实现密封连接，避免第一腔室313通过出气通道112与外界连通。
53.本实施例中，可选的，壳体310包括第一半壳311和第二半壳312，第一半壳311和第二半壳312可拆卸地连接，如此可以便于膜片320的更换和调整。第一半壳311与膜片320共同限定出第一腔室313，第二半壳312与膜片320共同限定出第二腔室314。第一半壳311与阀体100固定连接，第一半壳311上设置有第二通气孔3111和滑动孔3112，第二通气孔3111的数量按需设置，第二通气孔3111将导套210和第一腔室313连通。当第二通气孔3111的数量为多个时，多个第二通气孔3111围绕滑动孔3112排布。
54.请结合图1，进一步的，驱动组件300还包括第一托盘340和第二托盘350，第一托盘340和第二托盘350均固定在传力杆330上，膜片320套接在传力杆330外且被夹持与第一托盘340和第二托盘350之间。膜片320的边缘被夹持在第一半壳311和第二半壳312之间。传力杆330穿设于滑动孔3112中并且与滑动孔3112在第一轴线的延伸方向上可滑动地连接。传力杆330贯穿限位板部221和压板240，传力杆330设置为阶梯杆，传力杆330直径较大的杆段穿设于滑动孔3112中，传力杆330的直径较小的杆段上设置有螺母360，限位板部221和压板240被夹持在直径较大杆段与直径较小杆段连接处形成的抵接面和螺母360之间，如此，限位板部221和压板240在第一轴线延伸方向上相对于传力杆330的运动被限制，限位板部221和压板240也即阀芯200能够在传力杆330的带动下在第一轴线的延伸方向上往复运动，从而在第一位置和第二位置之间切换。
55.请结合图1，本实施例中，可选的，复位组件400包括基体410、底座420、调节座430、弹性件440、调节杆450、端盖460、防护罩470和通气罩480。其中，基体410设置为筒结构，基体410的一端贯穿第二半壳312并且与第二腔室314连通，例如，基体410可以与第二半壳312焊接，结构牢固，密封性好。底座420套接在传力杆330外且二者固定连接。调节座430在第一轴线的延伸方向上可滑动地设置在基体410内部，调节座430上设置有第三通气孔431。弹性件440设置为弹簧、弹片或橡胶件等，弹性件440被夹持在底座420和调节座430之间，弹性件440用于使阀芯200具有朝密封泄压孔121的方向运动的趋势。端盖460固定在基体410上且与基体410密封连接，端盖460上设置有螺纹孔461和第四通气孔462。调节杆450螺接在螺纹孔461中并且其端部与调节座430抵持，通过旋转调节杆450，能够改变调节杆450与螺纹孔461的相对位置，从而改变调节杆450伸入基体410中的长度，进而改变弹性件440的弹力，最终实现安全阀整定压力值的调整。端盖460可以与基体410螺纹连接，拆装方便。防护罩470与端盖460可拆卸地连接，调节杆450的部分位于防护罩470和端盖460共同限定出的空间内。防护罩470远离端盖460的一端设置有第五通气孔471。通气罩480套接在防护罩470远离端盖460的一端，通气罩480的周壁上设置有第六通气孔481，第六通气孔481的高度低于第五通气孔471远离端盖460的孔口的高度，避免露天安装雨水进入。
56.应当理解，防护罩470和端盖460之间可以设置密封圈。
57.此外，可以在调节座430背离端盖460的端面上设置限位槽432，限位槽432可以为球形槽，调节杆450具有球形头451，球形头451与限位槽432接触，调节杆450相对于端盖460转动来调整驱动调节座430运动时，球形头451与调节座430的摩擦力小，不易磨损，使用寿命长。
58.本实施例提供的微压设备保护用安全阀，使用前，将主体110与设备本体连接，使进气通道111的端部与设备本体的内腔连通。然后，根据需求旋转调节杆450，从而调整弹性件440的弹力，以实现安全阀整定压力值的调整。调整完毕后，可以进行充气作业。当设备本体压力低于安全阀整定压力值时，流体介质作用于膜片320向上的力低于弹性件440作用于膜片320向下的力，也即膜片320处于第一腔室313一侧受到的外力小于膜片320处于第二腔室314一侧受到的外力，此时，阀芯200处于第一位置，第一密封部140和第二密封部250共同配合关闭泄压孔121，设备本体内的流体介质不会从经泄压孔121从出气通道112排出。当设备本体压力达到安全阀整定压力值时，流体介质作用于膜片320向上的力大于弹性件440作用于膜片320向下的力，膜片320上移带动阀芯200上移，第一密封部140远离第二密封部250
从而解除对泄压孔121的密封，泄压孔121开启排放设备本体中超压气体。超压气体排出后，设备本体内腔压力逐渐降低，当设备本体内压力降低至低于安全阀整定压力值时，阀芯200在复位组件400的作用下复位，第一密封部140与第二密封部250再次配合密封泄压孔121，并在≥90％整定压力范围内达到严密密封。
59.以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
技术特征：1.一种微压设备保护用安全阀，其特征在于，包括：阀体、阀芯、驱动组件和复位组件；所述阀体设有泄压孔以及第一密封部；所述阀芯设有第二密封部以及用于连通所述微压设备的内腔的通气孔，所述阀芯与所述阀体活动连接，用于在第一位置和第二位置之间切换，处于所述第一位置时，所述第一密封部和所述第二密封部贴合以关闭所述泄压孔，处于所述第二位置时，所述第一密封部与所述第二密封部分离以打开所述泄压孔；所述驱动组件包括壳体、膜片和传动件，所述壳体与所述阀体连接，所述膜片的有效表面积大于所述第一密封部的有效表面积，所述膜片设于所述壳体内且将所述壳体分隔形成相互独立的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室连通所述通气孔；所述传动件同时连接所述膜片和所述阀芯；所述复位组件与所述壳体连接，所述复位组件用于使所述阀芯具有从所述第二位置向所述第一位置运动的趋势。2.根据权利要求1所述的微压设备保护用安全阀，其特征在于：所述膜片的有效表面积与所述第一密封部的有效表面的比值设置在10-20之间。3.根据权利要求1所述的微压设备保护用安全阀，其特征在于：所述阀体包括主体和阀座，所述主体设置有进气通道和出气通道，所述进气通道与所述通气孔连通；处于所述第一位置时，所述进气通道与所述出气通道阻断；处于所述第二位置时，所述进气通道通过所述泄压孔连通所述出气通道；所述泄压孔设于所述阀座上，所述泄压孔具有第一端口和第二端口，所述第一密封部设于所述第一端口所在端面上。4.根据权利要求3所述的微压设备保护用安全阀，其特征在于：所述第一密封部设置为围绕所述泄压孔的端口设置的环形凸部，所述环形凸部的横截面面积在从所述第一端口向所述第二端口的方向上逐渐增大。5.根据权利要求4所述的微压设备保护用安全阀，其特征在于：所述环形凸部背离所述第一端口的侧面设置为用于与所述第二密封部贴合的弧形面。6.根据权利要求5所述的微压设备保护用安全阀，其特征在于：所述阀芯包括芯体和密封垫，所述密封垫与所述芯体连接，所述第二密封部设于所述密封垫上；所述第一端口所在端面设置有第一限位部，所述芯体上设置有第二限位部，所述第一限位部用于与所述第二限位部抵持，以限制所述密封垫在沿靠近所述环形凸部的方向上运动的距离。7.根据权利要求1所述的微压设备保护用安全阀，其特征在于：所述壳体包括第一半壳和第二半壳，所述第一半壳和所述第二半壳可拆卸地连接；所述第一半壳与所述膜片共同限定出所述第一腔室，所述第二半壳与所述膜片共同限定出所述第二腔室；所述复位组件与所述第二半壳连接；所述传动件贯穿所述第一半壳并与所述阀芯连接。8.根据权利要求1所述的微压设备保护用安全阀，其特征在于：所述复位组件包括基体以及弹性件，所述基体与所述壳体连接，所述弹性件同时抵接于所述基体和所述膜片，用于使膜片具有从所述第二位置向所述第一位置运动的趋势。9.根据权利要求8所述的微压设备保护用安全阀，其特征在于：所述弹性件的弹力可调。
10.一种微压设备，其特征在于，所述微压设备包括：设备本体和权利要求1-9中任一项所述的微压设备保护用安全阀，所述阀体与所述设备本体连接，所述通气孔与所述设备本体的内腔连通；处于所述第一位置时，所述内腔与所述泄压孔阻断，处于所述第二位置时，所述内腔与所述泄压孔连通。
技术总结本申请提供一种微压设备保护用安全阀和微压设备，涉及储物技术领域，安全阀包括阀体、阀芯、驱动组件和复位组件。阀体设有泄压孔和第一密封部；阀芯设有第二密封部和通气孔，阀芯用于在第一位置和第二位置之间切换，在第一位置时第一密封部和第二密封部贴合以关闭泄压孔，在第二位置时第一密封部与第二密封部分离以打开泄压孔。驱动组件包括壳体、膜片和传动件，壳体与阀体连接，膜片的有效表面积大于第一密封部的有效表面积，膜片设于壳体内且将壳体分隔形成相互独立的第一腔室和第二腔室，第一腔室与通气孔连通；传动件同时连接膜片和阀芯。复位组件与壳体连接，复位组件用于使阀芯具有从第二位置向第一位置运动的趋势。灵敏度高，密封性好。密封性好。密封性好。
技术研发人员：胡志鹏 董治平 王春桃 杨刚林 沈爱武
受保护的技术使用者：中国核工业二三建设有限公司
技术研发日：2022.05.10
技术公布日：2022/7/5
