1.本实用新型涉及微型运动平台技术领域，具体而言，涉及一种运动模组及具有其的运动装置。
背景技术：2.目前，电子信息技术的高速发展带动和催生相关产业链的发展和革新，其中，制约芯片发展的重要因素是制造芯片的设备不完善，以高精度的微动运动平台为例，高精度的微动运动平台可以保证芯片制造过程中的精度要求，提高芯片的质量。
3.现有的微动运动平台大多依靠直线电机作为动力源，电机运动过程中，线圈会产生大量的热量，长时间会降低线圈的工作性能，线圈本身及线圈接线处的绝缘性和稳定性也会直接影响电机的质量；此外，运动平台自身的重力也会对加工精度造成影响，进而会导致降低芯片的加工精度。
技术实现要素：4.本实用新型的主要目的在于提供一种运动模组及具有其的运动装置，以解决现有技术中的运动模组的动力源不稳定，加工精度较低的问题。
5.为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种运动模组，包括：第一移动组件，包括第一定子部和第一动子部，第一动子部与所第一定子部滑动连接，第一动子部可相对于第一定子部沿水平方向移动；第二移动组件，包括第一磁力部件和第二磁力部件，第一磁力部件固定连接至第一动子部，第二磁力部件与第一磁力部件相对设置，且第二磁力部件沿竖直方向可移动地连接至第一动子部上。
6.进一步地，第一动子部包括水平移动板，水平移动板沿水平方向可移动地设置，第一磁力部件设置在水平移动板上；第二移动组件还包括竖向移动板，竖向移动板滑动连接至水平移动板，第二磁力部件设置在竖向移动板上，第二磁力部件带动竖向移动板沿竖直方向移动。
7.进一步地，第一磁力部件包括：第二电路板；第二线圈组，设置在第二电路板的电路连接端面上，并与第二电路板电连接；第二绝缘层，盖设在第二线圈上并与第二电路板连接；第二磁力部件为第二磁钢组。
8.进一步地，第一磁力部件还包括第二背板，第二电路板设置在第二背板上，第二背板固定连接至水平移动板上；第二移动组件还包括第二滑轨，第二滑轨设置在水平移动板上，第二滑轨沿竖直方向延伸，竖向移动板连接至第二滑轨上；第一磁力部件设置在第二滑轨的侧方。
9.进一步地，第一动子部还包括：第一磁钢组，设置在水平移动板上并位于第一磁力部件的上方；第一定子部包括第一线圈组件和固定板；第一线圈组件设置在固定板上，第一线圈组件与第一磁钢组相对设置，以使第一磁钢组在第一线圈组件的磁力作用下带动水平移动板相对固定板沿水平方向移动。
10.进一步地，第一移动组件还包括：第一滑轨，设置在固定板上，第一滑轨沿水平方向延伸；第一滑轨为两个，两个第一滑轨沿在水平方向上相对间隔设置，水平移动板连接至两个第一滑轨上；第一线圈组件设置在两个第一滑轨之间。
11.进一步地，运动模组还包括：重力补偿组件，与第二移动组件连接，重力补偿组件对第二移动组件施加与重力方向相反的作用力，以抵消第二移动组件的部分重力。
12.进一步地，重力补偿组件包括固定部件和运动部件：固定部件包括第三磁钢组，第三磁钢组固定至水平移动板上，且第三磁钢组沿竖直方向延伸；运动部件包括第四磁钢组，第四磁钢组套设在第三磁钢组上并与竖向移动板连接，第四磁钢组的磁场方向与第三磁钢组的磁场方向相互垂直。
13.进一步地，固定部件还包括：安装筒，安装筒固定连接至水平移动板上，第三磁钢组设置在安装筒内；运动部件还包括安装套，安装套套设在安装筒上，第四磁钢组设置在安装套内，且第四磁钢组与安装筒之间设有间隙。
14.根据本实用新型的另一方面，提供了一种运动装置，包括运动模组和负载部件，负载部件安装在运动模组上，通过运动模组驱动负载部件移动，运动模组为上述的运动模组。
15.应用本实用新型的技术方案，根据本实用新型提供的运动模组，包括第一移动组件和第二移动组件，第一移动组件包括第一定子部和第一动子部；第一动子部与所第一定子部滑动连接，第一动子部可相对于第一定子部沿水平方向移动；第二移动组件包括第一磁力部件和第二磁力部件，第一磁力部件固定连接至第一动子部，第二磁力部件与第一磁力部件相对设置，且第二磁力部件沿竖直方向可移动地连接至第一动子部上。这样通过第一磁力部件和第二磁力部件的相互作用力，使第二磁力部件沿竖直方向移动，在实际应用中，将负载部件安装在第二磁力部件上，通过第二磁力部件驱动负载部件移动，能够实现负载部件的微量移动，提高对工件的加工精度。
附图说明
16.构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
17.图1示出了根据本实用新型具体实施例的一种运动模组的结构示意图；
18.图2示出了根据本实用新型具体实施例的一种运动模组的爆炸图；
19.图3示出了根据本实用新型具体实施例的一种运动模组的第二线圈组的爆炸图；
20.图4示出了根据本实用新型具体实施例的一种运动模组的重力补偿组件的结构示意图；
21.图5示出了根据本实用新型具体实施例的一种运动模组的重力补偿组件的充磁方向示意图；
22.图6示出了根据本实用新型具体实施例的一种运动模组的重力补偿组件的爆炸图；
23.图7示出了根据本实用新型具体实施例的运动装置的结构示意图。
24.其中，上述附图包括以下附图标记：
25.1、第一移动组件；1001、第一定子部；1002、第一动子部；10、水平移动板；101、连接
部；102、第一板体；103、第二板体；11、第一磁钢组；12、第一线圈组件；13、线槽；14、第一光栅尺；15、第一读头；
26.2、第二移动组件；2001、第二定子部；2002、第二动子部；20、第一磁力部件；201、第二电路板；202、第二线圈组；203、第二绝缘层；204、第二背板；21、竖向移动板；22、第二磁力部件；23、第二滑轨；24、第二光栅尺；25、第二读头；
27.3、重力补偿组件；30、第三磁钢组；301、第三磁钢；31、第四磁钢组；310、第四磁钢；32、安装筒；33、安装套；330、夹层空间；331、连接凸起；34、连接块；35、定子背铁；
28.4、缓冲部件；41、限位板；42、缓冲块；
29.5、固定板；
30.100、运动模组；200、支撑架；300、负载部件；400、待加工工件。
具体实施方式
31.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
34.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
35.本实施例提供了一种运动模组，请参考图1至图6，运动模组包括：第一移动组件1，包括第一定子部1001和第一动子部1002；第一动子部1002与所第一定子部1001滑动连接，第一动子部1002可相对于第一定子部1001沿水平方向移动；第二移动组件2，包括第一磁力部件20和第二磁力部件22，第一磁力部件20固定连接至第一动子部1002，第二磁力部件22与第一磁力部件20相对设置，且第二磁力部件22沿竖直方向可移动地连接至第一动子部1002上。
36.根据本实施例提供的运动模组，包括第一移动组件1和第二移动组件2，第一移动
组件1包括第一定子部1001和第一动子部1002；第一动子部1002与所第一定子部1001滑动连接，第一动子部1002可相对于第一定子部1001沿水平方向移动；第二移动组件2包括第一磁力部件20和第二磁力部件22，第一磁力部件20固定连接至第一动子部1002，第二磁力部件22与第一磁力部件20相对设置，且第二磁力部件22沿竖直方向可移动地连接至第一动子部1002上。这样通过第一磁力部件20和第二磁力部件22的相互作用力，使第二磁力部件22沿竖直方向移动，在实际应用中，将负载部件安装在第二磁力部件22上，通过第二磁力部件22驱动负载部件移动，能够实现负载部件的微量移动，提高对工件的加工精度。
37.在具体实施的过程中，第二移动组件2包括第二定子部2001和第二动子部2002；第二定子部2001包括第一磁力部件20，第二动子部2002包括第二磁力部件22，如图2所示，第一动子部1002包括水平移动板10，水平移动板10沿水平方向可移动地设置，第一磁力部件20设置在水平移动板10上；第二移动组件2还包括竖向移动板21，竖向移动板21滑动连接至水平移动板10，第二磁力部件22设置在竖向移动板21上，第二磁力部件22带动竖向移动板21沿竖直方向移动；第二磁力部件22为第二磁钢组。以第一磁力部件20和第二磁力部件22之间相互配合作为动力源带动竖向移动板21移动，使竖向移动板21能够实现微量移动，满足对加工精度要求较高的零部件的加工需求。
38.具体地，如图3所示，第一磁力部件20包括：第二电路板201；第二线圈组202，设置在第二电路板201的电路连接端面上，并与第二电路板201电连接；第二绝缘层203，盖设在第二线圈组202上并与第二电路板201连接。通过将第二线圈组202直接设置在第二电路板201的电路连接端面上，第二线圈组202的内部线路可直接与第二电路板201上的接线点焊接，之后通过第二电路板201外接电源，这样通过第二电路板201内部电路相连减少了外接线缆数量，避免了连接接头脱落电路不稳定的问题。其中，第二电路板201的本体由绝缘材质制成，第二线圈组202在与第二电路板201上的电路连接时，避免了第二线圈组202接触到第二电路板201的本体产生短路的现象。在实际应用过程中，将第二线圈组202与第二电路板201接线完成后，通过对应的灌胶工装对第二线圈组202进行灌胶形成第二绝缘层203，并固化后取出打磨形成第二绝缘层203，以将第二线圈组202与第二电路板201合为整体。
39.为了方便将第一磁力部件20安装到水平移动板10上，第一磁力部件20还包括第二背板204，第二电路板201设置在第二背板204上，第二背板204固定连接至水平移动板10上；第二移动组件2还包括：第二滑轨23，设置在水平移动板10上，第二滑轨23沿竖直方向延伸，竖向移动板21连接至第二滑轨23上；第一磁力部件20设置在第二滑轨23的侧方。通过第二滑轨23减小了竖向移动板21与水平移动板10之间的摩擦力，使竖向移动板21顺畅地移动。
40.优选地，为了使竖向移动板21在移动过程中保持平稳，第二滑轨23为两个，两个第二滑轨23在竖直方向上(即图2中沿水平移动板10的宽度方向)相对间隔设置，竖向移动板21的两侧分别与两个第二滑轨23连接；第一磁力部件20设置在两个第二滑轨23之间。其中，一个第二滑轨23上设置有至少两个滑块，至少两个滑块均与竖向移动板21连接。
41.第二移动组件2还包括竖直位移检测装置，用于检测竖向移动板21的位移。具体地，该竖直位移检测装置包括：第二光栅尺24，设置在竖向移动板21上，第二光栅尺24沿竖直方向设置；第二读头25，设置在水平移动板10上，通过第二读头25读取第二光栅尺24上的刻度信息，以反馈竖向移动板21的运动位置。这样设置方便对竖向移动板21的位置进行实时检测，以便于控制竖向移动板21的移动行程。在本实施例中，第二光栅尺24设置在竖向移
动板21面向第一磁力部件20的一侧，第二读头25设置在水平移动板10上，且位置对应第二光栅尺24。可以理解的是，在一些可选的实施方式中，第二光栅尺24和第二读头25也可以采用其他的设置方式，例如将第二光栅尺24设置在竖向移动板21背向第一磁力部件20的一侧。
42.在本实施例提供的实施例中，第一动子部1002还包括：第一磁钢组11，设置在水平移动板10上并位于第一磁力部件20的上方；第一定子部1001包括第一线圈组件12和固定板5；第一线圈组件12设置在固定板5上，第一线圈组件12与第一磁钢组11相对设置，以使第一磁钢组11在第一线圈组件12的磁力作用下带动水平移动板10相对固定板5沿水平方向移动。这样通过第一线圈组件12与第一磁钢组11之间产生的安培力，驱动第一动子部1002实现微量移动，与第二动子部相互配合，更适用于对加工精度较高的零部件加工。具体地，第一线圈组件12包括第一线圈组和第一电路板，第一线圈组的内部线路直接与第一电路板上的接线点焊接，之后通过第一电路板外接电源，固定板5上设置有线槽13，与第一电路板连接的线缆卡在线槽13内，以对线缆进行固定，通过第一电路板的内部电路相连减少了外界线缆数量，避免了连接接头脱落造成电路不稳定的问题，其中，第一电路板的本体由绝缘材质制成，第一电路板与第一线圈组件12上覆盖有第一绝缘层，第一线圈组在与第一电路板上的电路连接时，能够避免第一线圈组接触到第一电路板的本体产生断路的现象。
43.具体地，第一移动组件1还包括：第一滑轨(图中未示出)，设置在固定板5上，第一滑轨沿水平方向延伸；第一滑轨为两个，两个第一滑轨在水平方向上相对间隔设置，水平移动板10连接至两个第一滑轨上；第一线圈组件12设置在两个第一滑轨之间。通过设置两个第一滑轨，使水平移动板10在水平方向上移动的更加顺畅，同时将第一线圈组件12设置在两个第一滑轨之间，布局更加合理，使第一线圈组件12与第一磁钢组11之间的相互作用力达到最优效果。其中，两个第一滑轨在水平方向上相对间隔设置即两个第一滑轨在固定板5的宽度方向相对间隔设置。
44.在具体实施时，水平移动板10包括：相互连接的第一板体102和第二板体103，第一板体102与第二板体103连接形成l形结构的水平移动板10；第一磁钢组11设置在沿水平方向延伸的第一板体102上，第一磁力部件20设置在沿竖直方向延伸的第二板体103上。这样设置的结构更加简单，水平移动板10即能够带动竖向移动板21沿水平方向移动，同时水平移动板10还为第一磁力部件20提供了安装，使整个装置的整体结构更加紧凑。
45.运动模组还包括：缓冲部件4，设置在水平移动板10上，并与竖向移动板21相对设置，缓冲部件4具有阻挡端面，竖向移动板21的至少部分与阻挡端面接触，以通过缓冲部件4对竖向移动板21进行阻挡。这样能够限制竖向移动板21的移动行程，避免竖向移动板21在移动过程中与固定板5发生干涉。
46.在具体实施时，缓冲部件4设置有两个，两个缓冲部件4沿竖直方向间隔设置在第二板体103上，第一磁力部件20和竖向移动板21设置在该两个缓冲部件4之间，两个缓冲部件4可以对竖向移动板21的运动行程进行限位和缓冲，防止竖向移动板21运动至预设行程以外。
47.同时，两个缓冲部件4还可以对第一磁力部件20进行进一步固定，防止第一磁力部件20脱落。具体地，如图2所示，缓冲部件4包括限位板41和缓冲块42，缓冲块42设置在限位板41朝向第一磁力部件20和竖向移动板21的面上，限位板41固定至第二板体103上，其中，
缓冲块42采用泡沫等具有良好缓冲效果的材料，第二背板204和第二板体103上均设置有螺纹孔，通过连接螺钉将第二背板204与第二板体103固定连接，缓冲块42将固定后的第二背板204压持在第二板体103上，可以避免连接螺钉松动后第二背板204掉落，同时可以在第二背板204的安装过程中起到预定位的作用。
48.第一移动组件1还包括水平位移检测装置，用于检测第一动子部1002(水平移动板10)的位移。具体地，如图2所示，该水平位移检测装置包括：第一光栅尺14，安装在水平移动板10的端部，第一光栅尺14沿水平方向设置；第一读头15，安装在固定板5上，通过第一读头15读取第一光栅尺14上的刻度信息，以反馈水平移动板10的运动位置。这样设置方便对水平移动板10的移动位置进行实时监测，以便于控制水平移动板10的移动行程。
49.结合图4至图6所示，在具体实施的过程中，运动模组还包括：重力补偿组件3，与第二移动组件2连接，重力补偿组件3对第二移动组件2施加与重力方向相反的作用力，以抵消第二移动组件2的部分重力。这样提高了第二移动组件2的移动精度，进而提高了对工件的加工精度。
50.重力补偿组件3包括固定部件和运动部件，其中，固定部件包括第三磁钢组30，第三磁钢组30固定至水平移动板10上，且第三磁钢组30沿竖直方向延伸；运动部件包括第四磁钢组31，第四磁钢组31套设在第三磁钢组30上并与竖向移动板21连接，第四磁钢组31的磁场方向与第三磁钢组30的磁场方向相互垂直，以通过第四磁钢组31向竖向移动板21施加与重力方向相反的作用力。这样设置利用磁浮力原理，两个相互垂直的磁场之间产生的磁浮力，即第三磁钢组30的磁场力与第四磁钢组31的磁场力相垂直，通过第四磁钢组31对竖向移动板21施加与重力方向相反的作用力，减小了竖向移动板21自身重力对加工精度所带来的影响。
51.具体地，第四磁钢组31包括一个或多个环形的第四磁钢310，第三磁钢组30包括多个柱状的第三磁钢301，多个第三磁钢301分为两组，两组第三磁钢301沿竖直方向间隔设置，且该两组第三磁钢301之间设置有定子背铁35，定子背铁35具有导磁作用，供两组第三磁钢301的磁场通过，两组第三磁钢301产生的磁场与第四磁钢310的磁场相互垂直，以产生磁浮力。如图5所示，两组第三磁钢301的充磁方向相反，其中，定子背铁35上方的一组第三磁钢301的充磁方向为竖直向上，定子背铁35下方的一组第三磁钢301的充磁方向为竖直向下，多个第四磁钢310的充磁方向均为竖直向下。具体地，两组第三磁钢301相对于定子背铁35呈对称设置，每组第三磁钢301包括一个或多个第三磁钢301。
52.其中，固定部件还包括：安装筒32，安装筒32固定连接至水平移动板10上，第三磁钢组30和定子背铁35设置在安装筒32内；运动部件还包括安装套33，安装套33套设在安装筒32上，第四磁钢组31设置在安装套33内，且第四磁钢组31与安装筒32之间设有间隙。这样利用安装筒32方便固定安装第三磁钢组30，同时通过设置安装套33，方便安装第四磁钢组31。优选地，安装套33的套体上设置有夹层空间330，夹层空间330沿竖直方向延伸，第四磁钢组31设置在夹层空间330内。
53.具体地，如图4所示，安装套33上设置有连接凸起331，连接凸起331相对于安装套33的外壁面凸出，连接凸起331与竖向移动板21连接。通过设置连接凸起331，便于安装套33与竖向移动板21连接，以将第四磁钢组31所受到的力传递至竖向移动板21上，实现对竖向移动板21的重力补偿。
54.水平移动板10的一侧设置有连接部101，连接部101由水平移动板10上朝向远离水平移动板10的方向延伸，连接部101为两个，两个连接部101沿竖直方向间隔设置；固定部件还包括：两个连接块34，两个连接块34分别设置在安装筒32的两端，两个连接块34分别固定连接至连接部101上。通过设置两个连接部101及两个连接块34，以分别对安装筒32的两端进行固定，以保持安装筒32的安装稳定性。
55.如图7所示，本实施例还提供了一种运动装置，包括运动模组100和负载部件300，负载部件300安装在运动模组100上，通过运动模组100驱动负载部件300移动，运动模组100为上述实施例的运动模组。
56.在实际应用过程中，运动模组100安装在支撑架200上，负载部件300安装在运动模组100中的第二磁力部件22上，通过运动模组100驱动负载部件300沿水平方向或竖直方向移动，负载部件300为对工件进行加工的刀具等部件，将待加工工件400放置在第二磁力部件22的下方，以对待加工工件400进行加工。可以根据需求，对多个支撑架200和多个运动模组100进行组合安装，方便同时对多个待加工工件400进行加工，满足不同的生产效率需求。
57.从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果：
58.根据本实施例提供的运动模组，包括第一移动组件1和第二移动组件2，第一移动组件1包括第一定子部1001和第一动子部1002；第一动子部1002与所第一定子部1001滑动连接，第一动子部1002可相对于第一定子部1001沿水平方向移动；第二移动组件2包括第一磁力部件20和第二磁力部件22，第一磁力部件20固定连接至第一动子部1002，第二磁力部件22与第一磁力部件20相对设置，且第二磁力部件22沿竖直方向可移动地连接至第一动子部1002上。这样通过第一磁力部件20和第二磁力部件22的相互作用力，使第二磁力部件22沿竖直方向移动，在实际应用中，将负载部件安装在第二磁力部件22上，通过第二磁力部件22驱动负载部件移动，能够实现负载部件的微量移动，提高对工件的加工精度。
59.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
技术特征：1.一种运动模组，其特征在于，包括：第一移动组件(1)，包括第一定子部(1001)和第一动子部(1002)，所述第一动子部(1002)与所第一定子部(1001)滑动连接，所述第一动子部(1002)可相对于所述第一定子部(1001)沿水平方向移动；第二移动组件(2)，包括第一磁力部件(20)和第二磁力部件(22)，所述第一磁力部件(20)固定连接至所述第一动子部(1002)，所述第二磁力部件(22)与所述第一磁力部件(20)相对设置，且所述第二磁力部件(22)沿竖直方向可移动地连接至所述第一动子部(1002)上。2.根据权利要求1所述的运动模组，其特征在于，所述第一动子部(1002)包括水平移动板(10)，所述水平移动板(10)沿水平方向可移动地设置，所述第一磁力部件(20)设置在所述水平移动板(10)上；所述第二移动组件(2)还包括竖向移动板(21)，所述竖向移动板(21)滑动连接至所述水平移动板(10)，所述第二磁力部件(22)设置在所述竖向移动板(21)上，所述第二磁力部件(22)带动所述竖向移动板(21)沿竖直方向移动。3.根据权利要求2所述的运动模组，其特征在于，所述第一磁力部件(20)包括：第二电路板(201)；第二线圈组(202)，设置在所述第二电路板(201)的电路连接端面上，并与所述第二电路板(201)电连接；第二绝缘层(203)，盖设在所述第二线圈组(202)上并与所述第二电路板(201)连接；所述第二磁力部件(22)为第二磁钢组。4.根据权利要求3所述的运动模组，其特征在于，所述第一磁力部件(20)还包括第二背板(204)，所述第二电路板(201)设置在所述第二背板(204)上，所述第二背板(204)固定连接至所述水平移动板(10)上；所述第二移动组件(2)还包括第二滑轨(23)，所述第二滑轨(23)设置在所述水平移动板(10)上，所述第二滑轨(23)沿竖直方向延伸，所述竖向移动板(21)连接至所述第二滑轨(23)上；所述第一磁力部件(20)设置在所述第二滑轨(23)的侧方。5.根据权利要求3所述的运动模组，其特征在于，所述第一动子部(1002)还包括第一磁钢组(11)，设置在所述水平移动板(10)上并位于所述第一磁力部件(20)的上方；所述第一定子部(1001)包括第一线圈组件(12)和固定板(5)，所述第一线圈组件(12)设置在所述固定板(5)上，所述第一线圈组件(12)与所述第一磁钢组(11)相对设置，以使所述第一磁钢组(11)在所述第一线圈组件(12)的磁力作用下带动所述水平移动板(10)相对所述固定板(5)沿水平方向移动。6.根据权利要求5所述的运动模组，其特征在于，所述第一移动组件(1)还包括：第一滑轨，设置在所述固定板(5)上，所述第一滑轨沿水平方向延伸，所述第一滑轨为两个，两个所述第一滑轨在水平方向上相对间隔设置，所述水平移动板(10)连接至两个所述第一滑轨上；所述第一线圈组件(12)设置在两个所述第一滑轨之间。7.根据权利要求2至6中任一项所述的运动模组，其特征在于，所述运动模组还包括：
重力补偿组件(3)，与所述第二移动组件(2)连接，所述重力补偿组件(3)对所述第二移动组件(2)施加与重力方向相反的作用力，以抵消所述第二移动组件(2)的部分重力。8.根据权利要求7所述的运动模组，其特征在于，所述重力补偿组件(3)包括固定部件和运动部件：所述固定部件包括第三磁钢组(30)，所述第三磁钢组(30)固定至所述水平移动板(10)上，且所述第三磁钢组(30)沿竖直方向延伸；所述运动部件包括第四磁钢组(31)，所述第四磁钢组(31)套设在所述第三磁钢组(30)上并与所述竖向移动板(21)连接，所述第四磁钢组(31)的磁场方向与所述第三磁钢组(30)的磁场方向相互垂直。9.根据权利要求8所述的运动模组，其特征在于，所述固定部件还包括安装筒(32)，所述安装筒(32)固定连接至所述水平移动板(10)上，所述第三磁钢组(30)设置在所述安装筒(32)内；所述运动部件还包括安装套(33)，所述安装套(33)套设在所述安装筒(32)上，所述第四磁钢组(31)设置在所述安装套(33)内，且所述第四磁钢组(31)与所述安装筒(32)之间设有间隙。10.一种运动装置，包括运动模组(100)和负载部件(300)，所述负载部件(300)安装在所述运动模组(100)上，通过所述运动模组(100)驱动所述负载部件(300)移动，其特征在于，所述运动模组(100)为权利要求1至9中任一项所述的运动模组。
技术总结本实用新型提供了一种运动模组及具有其的运动装置，运动模组，包括：第一移动组件，包括第一定子部和第一动子部；第一动子部与所第一定子部滑动连接，第一动子部可相对于第一定子部沿水平方向移动；第二移动组件，包括第一磁力部件和第二磁力部件，第一磁力部件固定连接至第一动子部，第二磁力部件与第一磁力部件相对设置，且第二磁力部件沿竖直方向可移动地连接至第一动子部上。本实用新型解决现有技术中的运动模组的动力源不稳定，加工精度较低的问题。问题。问题。
技术研发人员：殷小博 胡兵 彭仁强
受保护的技术使用者：上海隐冠半导体技术有限公司
技术研发日：2021.12.02
技术公布日：2022/7/5
