1.本实用新型涉及一种提纯装置,具体为一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,属于电子级氢氟酸加工技术领域。
背景技术:2.氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,是清澈、无色、发烟的腐蚀性液体,有剧烈刺激性气味,由于氢氟酸溶解氧化物的能力,它在铝和铀的提纯中起着重要作用,氢氟酸也用来蚀刻玻璃,可以雕刻图案、标注刻度和文字,半导体工业使用它来除去硅表面的氧化物,在电子级氢氟酸广泛应用于电子领域,其纯度要求非常高。
3.大部分企业在提纯电子级氢氟酸的过程中,都会加入强氧化剂将三价态砷氧化变为不挥发的五价砷,结合蒸馏和冷凝加工,可使其在精馏过程中富集于塔釜中而被除去。
4.电子级氢氟酸在提纯过程之中,需要在蒸馏塔和冷凝塔之间进行移动,尤其是电子级氢氟酸从蒸馏塔的管道进入冷凝塔内部时,由于管道还要起到散热作用,导致管道内外温差较大,会使管道外侧出现很多水珠,这些水珠与空气中杂质混合后,不但使管道外表被弄脏,还会使对管道进行腐蚀锈蚀,严重的缩短了管道的使用寿命,一定程度上来说增加了电子级氢氟酸加工的成本。
技术实现要素:5.(一)解决的技术问题
6.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,以解决现有技术中管道内外温差较大,会使管道外侧出现很多水珠,这些水珠与空气中杂质混合后,不但使管道外表被弄脏,还会使对管道进行腐蚀锈蚀,严重的缩短了管道的使用寿命的问题。
7.(二)技术方案
8.为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,包括氢氟酸蒸馏设备主体、出料阀、控制阀和导流管,所述导流管外侧套设有弹性套,所述弹性套外侧两端均固定连接套设有套环,两个所述套环之间固定连接有吸水海绵,所述吸水海绵套设于弹性套外侧,所述吸水海绵底部设置有收集箱,所述收集箱底部设置有废水箱,所述收集箱与废水箱之间固定连接有竖管,所述废水箱顶部设置有电动推杆。
9.优选地,所述出料阀固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体一侧,所述控制阀设置于出料阀一侧,所述导流管固定连接于出料阀与控制阀之间,所述吸水海绵和导流管均设置于出料阀和控制阀之间,一个所述套环与出料阀固定连接,在导流管外侧套设有吸水海绵,对导流管外侧形成的水珠进行吸收,避免水珠与空气中杂质混合,保证导流管的使用寿命。
10.优选地,所述收集箱顶部靠近氢氟酸蒸馏设备主体的两侧均固定连接有弧形板,所述弧形板顶部两侧均固定连接后有挡板,所述挡板一端延伸到收集箱顶部,所述挡板和
弧形板截面形状均设置为弧形,所述收集箱固定连接于出料阀和控制阀底部,在收集箱靠近氢氟酸蒸馏设备主体的一侧安装有弧形板,对吸水海绵因为重力滴落的水珠进行收集,避免水珠落到收集箱外侧。
11.优选地,所述竖管顶部和底部分别延伸入收集箱和废水箱内部,所述竖管与废水箱固定连接,所述废水箱固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体一侧,所述废水箱一侧设置有出水阀,在收集箱与废水箱之间安装有安装板,将收集箱内部的水流引导到废水箱内部,保证水流收集的效率。
12.优选地,所述废水箱顶部靠近氢氟酸蒸馏设备主体的一侧固定连接有安装板,所述电动推杆一端贯穿安装板并与安装板固定连接,所述电动推杆一端与远离氢氟酸蒸馏设备主体的套环之间固定连接有连接杆,所述连接杆截面形状设置为l形,在废水箱顶部固定连接有安装板,通过安装板对电动推杆进行安装,保证电动推杆工作的稳定。
13.优选地,所述废水箱内腔顶部设置有移动板,所述移动板外侧与废水箱内腔侧壁相接触,所述移动板底部固定连接有多个支撑弹簧,所述支撑弹簧固定连接于废水箱内部,在废水箱内腔顶部设置有移动板,在移动板底部固定连接有支撑弹簧,使移动板被顶部积累的水流压动在废水箱内部移动,保证电动推杆工作的灵活。
14.优选地,所述废水箱一侧开设有多个圆槽,所述圆槽一侧设置有侧管,所述侧管固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体外侧,所述侧管内部靠近废水箱的一侧固定连接有弹性布,所述侧管内部远离废水箱的一侧固定连接有按钮,所述按钮与电动推杆电性连接,在废水箱一侧设置有多个按钮,通过按钮与移动板配合,使电动推杆每隔一段时间工作一次,保证吸水海绵吸收水分的高效。
15.本实用新型提供了一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,其具备的有益效果如下:
16.1、该超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,在导流管外侧套设弹性套,减少导流管散发出的热量所冷凝出的水珠与导流管的接触,并且通过吸水海绵将水珠吸收,避免导流管外侧附着有与空气中杂质混合了的水,减缓导流管腐蚀锈蚀损坏的速度,保证导流管工作寿命,减少氢氟酸蒸馏设备主体加工提纯电子级氢氟酸的成本投入,减少污水对氢氟酸蒸馏设备主体、导流管和环境的污染。
17.2、该超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,通过多个圆槽、多个支撑弹簧、多个弹性布、多个侧管、多个按钮、移动板和支撑弹簧的配合,使套环每隔一段时间挤压吸水海绵一侧,将吸水海绵内部的水分挤压出,使吸水海绵将内部水分排出,保证吸水海绵对水分吸附的效率,减少水分附着到导流管外侧的可能,保证导流管的使用寿命。
附图说明
18.图1为本实用新型的整体结构示意图;
19.图2为本实用新型导流管的局部结构示意图;
20.图3为本实用新型废水箱的局部结构示意图;
21.图4为本实用新型图1的a部结构示意图。
22.图中:1、氢氟酸蒸馏设备主体;2、出料阀;3、控制阀;4、导流管;5、弹性套;6、吸水海绵;7、套环;8、收集箱;9、弧形板;10、挡板;11、竖管;12、废水箱;13、电动推杆;14、连接
杆;15、安装板;16、移动板;17、圆槽;18、支撑弹簧;19、弹性布;20、侧管;21、按钮。
具体实施方式
23.本实用新型实施例提供一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置。
24.该技术方案中所述氢氟酸蒸馏设备主体1、出料阀2、控制阀3、吸水海绵6、电动推杆13和按钮21均为市场现有成熟产品,因此该技术方案中所述氢氟酸蒸馏设备主体1、出料阀2、控制阀3、吸水海绵6、电动推杆13和按钮21在此不进行具体型号、工作原理、控制方式、材料等基本构成的限定,根据氢氟酸蒸馏设备主体1的具体使用情况进行选定。
25.请参阅图1、图2、图3和图4,包括氢氟酸蒸馏设备主体1、出料阀2、控制阀3和导流管4,导流管4外侧套设有弹性套5,出料阀2固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体1一侧,控制阀3设置于出料阀2一侧,导流管4固定连接于出料阀2与控制阀3之间,吸水海绵6和导流管4均设置于出料阀2和控制阀3之间,一个套环7与出料阀2固定连接,弹性套5外侧两端均固定连接套设有套环7,两个套环7之间固定连接有吸水海绵6,吸水海绵6套设于弹性套5外侧,吸水海绵6底部设置有收集箱8,收集箱8顶部靠近氢氟酸蒸馏设备主体1的两侧均固定连接有弧形板9,弧形板9顶部两侧均固定连接后有挡板10,挡板10一端延伸到收集箱8顶部,挡板10和弧形板9截面形状均设置为弧形,收集箱8固定连接于出料阀2和控制阀3底部,收集箱8底部设置有废水箱12,收集箱8与废水箱12之间固定连接有竖管11,废水箱12顶部设置有电动推杆13,竖管11顶部和底部分别延伸入收集箱8和废水箱12内部,竖管11与废水箱12固定连接,废水箱12固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体1一侧,废水箱12一侧设置有出水阀。
26.具体的,当导流管4引导运输氢氟酸蒸馏设备主体1加工出的原料时,在导流管4外侧套设有弹性套5,并且弹性套5外侧套设有吸水海绵6,而且吸水海绵6底部设置有收集箱8,通过在导流管4外侧套设弹性套5,减少导流管4散发出的热量所冷凝出的水珠与导流管4的接触,并且通过吸水海绵6将水珠吸收,避免导流管4外侧附着有与空气中杂质混合了的水,减缓导流管4腐蚀锈蚀损坏的速度,保证导流管4工作寿命,减少氢氟酸蒸馏设备主体1加工提纯电子级氢氟酸的成本投入,减少污水对氢氟酸蒸馏设备主体1、导流管4和环境的污染;
27.并且在收集箱8底部通过竖管11固定连接有废水箱12,通过收集箱8和竖管11配合,将吸水海绵6因为重力滴落的水珠集中收集到废水箱12内部。
28.请再次参阅图1、图2、图3和图4,废水箱12顶部靠近氢氟酸蒸馏设备主体1的一侧固定连接有安装板15,电动推杆13一端贯穿安装板15并与安装板15固定连接,废水箱12一侧开设有多个圆槽17,圆槽17一侧设置有侧管20,侧管20固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体1外侧,侧管20内部靠近废水箱12的一侧固定连接有弹性布19,侧管20内部远离废水箱12的一侧固定连接有按钮21,按钮21与电动推杆13电性连接,电动推杆13一端与远离氢氟酸蒸馏设备主体1的套环7之间固定连接有连接杆14,连接杆14截面形状设置为l形,废水箱12内腔顶部设置有移动板16,移动板16外侧与废水箱12内腔侧壁相接触,移动板16底部固定连接有多个支撑弹簧18,支撑弹簧18固定连接于废水箱12内部。
29.具体的,在吸水海绵6两端均固定套设有套环7,并且远离氢氟酸蒸馏设备主体1的套环7一侧固定连接有连接杆14,而且连接杆14一端与废水箱12顶部设置的电动推杆13固定连接,因此当电动推杆13工作时,会通过连接杆14带动套环7移动,移动的套环7对两个套
环7之间固定的吸水海绵6进行挤压,将吸水海绵6内部的水分挤压出,使吸水海绵6将内部水分排出,保证吸水海绵6对水分吸附的效率,减少水分附着到导流管4外侧的可能,保证导流管4的使用寿命;
30.并且在废水箱12内腔顶部设置有移动板16,而且移动板16与废水箱12内腔底部之间固定连接有多个支撑弹簧18,随着废水箱12内部的水量增加,会使移动板16向废水箱12内腔底部移动,并且在废水箱12一侧开设的多个圆槽17一侧均设置有侧管20,并且侧管20内部靠近废水箱12的一侧固定连接有弹性布19,因此当移动板16移动使圆槽17将废水箱12内部水流引导入侧管20内部后,水流会挤压弹性布19使弹性布19变形,变形的弹性布19会按压侧管20内部一侧固定的按钮21,使与按钮21电性连接的电动推杆13进行一次伸缩工作,使电动推杆13工作通过连接杆14带动套环7挤压吸水海绵6一次,通过多个圆槽17、多个支撑弹簧18、多个弹性布19、多个侧管20、多个按钮21、移动板16和支撑弹簧18的配合,使套环7每隔一段时间挤压吸水海绵6一侧,将吸水海绵6内部的水分挤压出。
31.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
技术特征:1.一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,包括氢氟酸蒸馏设备主体(1)、出料阀(2)、控制阀(3)和导流管(4),其特征在于:所述导流管(4)外侧套设有弹性套(5),所述弹性套(5)外侧两端均固定连接套设有套环(7),两个所述套环(7)之间固定连接有吸水海绵(6),所述吸水海绵(6)套设于弹性套(5)外侧,所述吸水海绵(6)底部设置有收集箱(8),所述收集箱(8)底部设置有废水箱(12),所述收集箱(8)与废水箱(12)之间固定连接有竖管(11),所述废水箱(12)顶部设置有电动推杆(13)。2.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,其特征在于:所述出料阀(2)固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体(1)一侧,所述控制阀(3)设置于出料阀(2)一侧,所述导流管(4)固定连接于出料阀(2)与控制阀(3)之间,所述吸水海绵(6)和导流管(4)均设置于出料阀(2)和控制阀(3)之间,一个所述套环(7)与出料阀(2)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,其特征在于:所述收集箱(8)顶部靠近氢氟酸蒸馏设备主体(1)的两侧均固定连接有弧形板(9),所述弧形板(9)顶部两侧均固定连接后有挡板(10),所述挡板(10)一端延伸到收集箱(8)顶部,所述挡板(10)和弧形板(9)截面形状均设置为弧形,所述收集箱(8)固定连接于出料阀(2)和控制阀(3)底部。4.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,其特征在于:所述竖管(11)顶部和底部分别延伸入收集箱(8)和废水箱(12)内部,所述竖管(11)与废水箱(12)固定连接,所述废水箱(12)固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体(1)一侧,所述废水箱(12)一侧设置有出水阀。5.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,其特征在于:所述废水箱(12)顶部靠近氢氟酸蒸馏设备主体(1)的一侧固定连接有安装板(15),所述电动推杆(13)一端贯穿安装板(15)并与安装板(15)固定连接,所述电动推杆(13)一端与远离氢氟酸蒸馏设备主体(1)的套环(7)之间固定连接有连接杆(14),所述连接杆(14)截面形状设置为l形。6.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,其特征在于:所述废水箱(12)内腔顶部设置有移动板(16),所述移动板(16)外侧与废水箱(12)内腔侧壁相接触,所述移动板(16)底部固定连接有多个支撑弹簧(18),所述支撑弹簧(18)固定连接于废水箱(12)内部。7.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,其特征在于:所述废水箱(12)一侧开设有多个圆槽(17),所述圆槽(17)一侧设置有侧管(20),所述侧管(20)固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体(1)外侧,所述侧管(20)内部靠近废水箱(12)的一侧固定连接有弹性布(19),所述侧管(20)内部远离废水箱(12)的一侧固定连接有按钮(21),所述按钮(21)与电动推杆(13)电性连接。
技术总结本实用新型提供一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,涉及电子级氢氟酸加工领域。该超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,包括氢氟酸蒸馏设备主体、出料阀、控制阀和导流管,所述导流管外侧套设有弹性套,所述弹性套外侧两端均固定连接套设有套环,两个所述套环之间固定连接有吸水海绵。该超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置,减少导流管散发出的热量所冷凝出的水珠与导流管的接触,并且通过吸水海绵将水珠吸收,避免导流管外侧附着有与空气中杂质混合了的水,减缓导流管腐蚀锈蚀损坏的速度,保证导流管工作寿命,减少氢氟酸蒸馏设备主体加工提纯电子级氢氟酸的成本投入,减少污水对氢氟酸蒸馏设备主体、导流管和环境的污染。导流管和环境的污染。导流管和环境的污染。
技术研发人员:刘庆华 范厚林
受保护的技术使用者:云南氟磷电子科技有限公司
技术研发日:2021.12.03
技术公布日:2022/7/5