1.本发明涉及气相沉积设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积设备的导管清洗装置。
背景技术：2.气相沉积设备是利用气相中发生的物理、化学过程，改变工件表面成分，在表面形成具有特殊性的金属或化合物涂层的新技术，气相沉积设备在使用之后需要使用清洗装置清洗设备的导管。针对现有技术存在以下问题：
3.1、现有的清洗装置在清洗导管时，不具备循环用水的功能，通常是将清洗之后的污水直接排放出去，导致造成大量水资源浪费的问题；
4.2、现有的清洗装置在清洗导管时，难以对导管的内腔进行清洗，使得对导管清洗的不够干净，导致清洗装置的工作效率较差的问题。
技术实现要素：5.本发明提供一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其中一种目的是为了具备循环利用水资源的特点，解决现有的清洗装置在清洗导管时，不具备循环用水的功能，通常是将清洗之后的污水直接排放出去，导致造成大量水资源浪费的问题；其中另一种目的是为了解决现有的清洗装置在清洗导管时，难以对导管的内腔进行清洗，使得对导管清洗的不够干净，导致清洗装置的工作效率较差的问题，以达到便于快速清理导管的内腔，提高导管清洗的清洁度，同时提高装置的工作效率。
6.为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：
7.一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，包括清洗装置本体、水箱、弹性排水管、一号水泵和清洗槽，所述清洗装置本体的顶部固定连接有水箱，所述水箱的内腔固定套接有弹性排水管，所述弹性排水管的外壁固定连接有一号水泵，所述清洗装置本体的顶部开设有清洗槽，所述清洗装置本体的底部设置有水循环机构，所述清洗槽内腔的底部设置有清理机构，所述清洗槽内腔的两侧设置有夹持机构。
8.所述水循环机构包括有储水池，所述储水池的正面活动套接有过滤板，所述过滤板的外壁开设有过滤孔，所述过滤板的正面固定连接有把手。
9.所述清理机构包括有清理棉，所述清理棉的一侧固定连接有软毛刷。
10.所述夹持机构包括有活动槽，所述活动槽的内腔活动套接有卡块，所述卡块的外壁开设有通孔。
11.本发明技术方案的进一步改进在于：所述过滤孔的内腔固定套接有净水漏斗，所述净水漏斗的内腔固定套接有过滤棉，所述过滤棉的底部固定设置有碳纤维过滤层，所述碳纤维过滤层的底部设置有支撑网，所述支撑网的外壁固定套接在净水漏斗的内腔。
12.采用上述技术方案，该方案中的过滤孔、净水漏斗、过滤棉、碳纤维过滤层和支撑网的配合，快速对污水进行过滤。
13.本发明技术方案的进一步改进在于：所述储水池的底部固定连接有吸水管，所述吸水管的一端延伸至水箱的内腔，所述吸水管的外壁固定连接有二号水泵。
14.采用上述技术方案，该方案中的储水池、水箱、吸水管和二号水泵的配合，将过滤之后的水吸入水箱，使得循环用水。
15.本发明技术方案的进一步改进在于：所述储水池的顶部固定连接有导污管，所述导污管的一端固定连接在清洗槽的底部。
16.采用上述技术方案，该方案中的储水池、导污管和清洗槽的配合，快速将清洗槽流入蓄水池，便于后续对污水进行过滤。
17.本发明技术方案的进一步改进在于：所述清洗槽内腔的底部固定连接有一号液压杆，所述一号液压杆的一端固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有支撑杆。
18.采用上述技术方案，该方案中的清洗槽、支撑杆、电机和一号液压杆的配合，便于清理导管的内腔。
19.本发明技术方案的进一步改进在于：所述清理棉的一侧固定连接有缓冲软球，所述缓冲软球的一侧固定连接有缓冲板，所述缓冲板的一侧固定连接有小型汽缸，所述小型汽缸的一端固定连接在支撑杆的外壁。
20.采用上述技术方案，该方案中的支撑杆、小型汽缸、缓冲板、缓冲软球和清理棉的配合，带动软毛刷向两侧扩张，使得软毛刷贴在导管的内壁，便于后续清洗导管的内腔。
21.本发明技术方案的进一步改进在于：所述缓冲板的一侧的两端活动连接有伸缩杆，所述伸缩杆的一端活动连接在支撑杆的外壁。
22.采用上述技术方案，该方案中的支撑杆、伸缩杆和缓冲板的配合，提高清理棉和软毛刷的稳定性。
23.本发明技术方案的进一步改进在于：所述卡块的一侧固定连接有凸块，所述凸块的一侧固定连接有防滑板，所述防滑板的一侧开设有防滑纹。
24.采用上述技术方案，该方案中的卡块、凸块和防滑板的配合，增加防滑板与导管之间的摩擦力和稳定性，使得快速且安全的对导管进行固定。
25.本发明技术方案的进一步改进在于：所述卡块的另一侧固定连接有乳胶板，所述乳胶板的一侧固定连接有弹簧，所述弹簧的一端固定连接在活动槽内腔的一侧。
26.采用上述技术方案，该方案中的卡块、乳胶板、弹簧和活动槽的配合，增加卡块的韧性，防止卡块夹持的力度过大，损坏导管。
27.本发明技术方案的进一步改进在于：所述清洗槽内腔的两侧固定连接有二号液压杆，所述二号液压杆的一端固定连接在活动槽的一侧。
28.采用上述技术方案，该方案中的清洗槽、活动槽和二号液压杆的配合，快速对导管进行固定，提高导管清洗时的便捷性。
29.由于采用了上述技术方案，本发明相对现有技术来说，取得的技术进步是：
30.1、本发明提供一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，通过采用储水池、导污管、吸水管、二号水泵、过滤板、把手、过滤孔、净水漏斗、过滤棉、碳纤维过滤层和支撑网的配合，通过碳纤维过滤层、过滤棉吸收污水里的杂质并对污水进行过滤，再通过吸水管和二号水泵的配合，将过滤之后的水吸入水箱，使得循环用水，避免了现有的清洗装置在清洗导管时，不具备循环用水的功能，通常是将清洗之后的污水直接排放出去，导致造成大量水资源
浪费的问题，使得循环利用水资源，提高装置的环保性。
31.2、本发明提供一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，通过采用支撑杆、电机、一号液压杆、小型汽缸、伸缩杆、缓冲板、缓冲软球、清理棉和软毛刷的配合，通过一号液压杆、支撑杆和小型汽缸的配合，带动清理棉和软毛刷移动到导管的内壁，同时通过缓冲板和缓冲软球的配合，增加清理棉的柔韧性，再通过电机带动清理棉和软毛刷清理导管的内腔，避免了现有的清洗装置在清洗导管时，难以对导管的内腔进行清洗，使得对导管清洗的不够干净，导致清洗装置的工作效率较差的问题，以达到便于快速清理导管的内腔，提高导管清洗的清洁度，同时提高装置的工作效率。
32.3、本发明提供一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，通过采用活动槽、二号液压杆、卡块、乳胶板、弹簧、凸块和防滑板的配合，通过二号液压杆和活动槽的配合，带动卡块卡在导管的外壁，对导管进行固定，同时通过乳胶板和弹簧的配合，增加卡块的韧性，防止卡块夹持的力度过大，损坏导管，同时通过防滑板外壁的防滑纹，增加防滑板与导管之间的摩擦力和稳定性，使得快速且安全的对导管进行固定，提高导管清洗时的便捷性。
附图说明
33.图1为本发明的结构示意图；
34.图2为本发明储水池的结构示意图；
35.图3为本发明储水池的结构剖视图；
36.图4为本发明过滤孔的结构剖视图；
37.图5为本发明净水漏斗的结构剖视图；
38.图6为本发明清洗槽的结构剖视图；
39.图7为本发明支撑杆的结构俯视图；
40.图8为本发明卡块的结构示意图；
41.图9为本发明凸块的结构示意图。
42.图中：1、清洗装置本体；2、水箱；3、弹性排水管；4、一号水泵；5、清洗槽；6、水循环机构；7、清理机构；8、夹持机构；
43.61、储水池；62、导污管；63、吸水管；64、二号水泵；611、过滤板；612、把手；613、过滤孔；614、净水漏斗；615、过滤棉；616、碳纤维过滤层；617、支撑网；
44.71、支撑杆；72、电机；73、一号液压杆；711、小型汽缸；712、伸缩杆；713、缓冲板；714、缓冲软球；715、清理棉；716、软毛刷；
45.81、活动槽；82、二号液压杆；83、卡块；831、乳胶板；832、弹簧；833、凸块；834、防滑板。
具体实施方式
46.下面结合实施例对本发明做进一步详细说明：
47.实施例1
48.如图1-9所示，本发明提供了一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，包括清洗装置本体1、水箱2、弹性排水管3、一号水泵4和清洗槽5，清洗装置本体1的顶部固定连接有水箱2，水箱2的内腔固定套接有弹性排水管3，弹性排水管3的外壁固定连接有一号水泵4，清
洗装置本体1的顶部开设有清洗槽5，清洗装置本体1的底部设置有水循环机构6，水循环机构6包括有储水池61，储水池61的正面活动套接有过滤板611，过滤板611的外壁开设有过滤孔613，过滤板611的正面固定连接有把手612，过滤孔613的内腔固定套接有净水漏斗614，净水漏斗614的内腔固定套接有过滤棉615，过滤棉615的底部固定设置有碳纤维过滤层616，碳纤维过滤层616的底部设置有支撑网617，支撑网617的外壁固定套接在净水漏斗614的内腔，储水池61的底部固定连接有吸水管63，吸水管63的一端延伸至水箱2的内腔，吸水管63的外壁固定连接有二号水泵64，储水池61的顶部固定连接有导污管62，导污管62的一端固定连接在清洗槽5的底部。
49.在本实施例中，清洗导管之后的污水通过导污管62流入储水池61，同时通过过滤板611上的过滤孔613流入净水漏斗614，使得过滤棉615和碳纤维过滤层616对污水进行过滤和净化，再将过滤之后的水排入储水池61内腔的底部，同时启动二号水泵64，将过滤之后的水通过吸水管63吸入水箱2，使得循环用水，节约水资源，提高装置的环保性，通过把手612将过滤板611从储水池61的内腔抽出，便于对过滤板611进行清理或者更换。
50.实施例2
51.如图1-9所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，清洗槽5内腔的两侧设置有夹持机构8，夹持机构8包括有活动槽81，活动槽81的内腔活动套接有卡块83，卡块83的外壁开设有通孔，卡块83的一侧固定连接有凸块833，凸块833的一侧固定连接有防滑板834，防滑板834的一侧开设有防滑纹，卡块83的另一侧固定连接有乳胶板831，乳胶板831的一侧固定连接有弹簧832，弹簧832的一端固定连接在活动槽81内腔的一侧，清洗槽5内腔的两侧固定连接有二号液压杆82，二号液压杆82的一端固定连接在活动槽81的一侧。
52.在本实施例中，通过二号液压杆82带动活动槽81和卡块83移动，使得卡块83卡在导管的外壁，对导管进行固定，同时卡块83向活动槽81的内腔挤压乳胶板831和弹簧832，使得弹簧832向一端收缩并利用自身的弹性，增加卡块83的韧性，同时通过防滑板834外壁的防滑纹，增加防滑板834与导管之间的摩擦力和稳定性，使得快速且稳定的对导管进行固定，提高导管清洗时的便捷性。
53.实施例3
54.如图1-9所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，清洗槽5内腔的底部设置有清理机构7，清理机构7包括有清理棉715，清理棉715的一侧固定连接有软毛刷716，清洗槽5内腔的底部固定连接有一号液压杆73，一号液压杆73的一端固定连接有电机72，电机72的输出端固定连接有支撑杆71，清理棉715的一侧固定连接有缓冲软球714，缓冲软球714的一侧固定连接有缓冲板713，缓冲板713的一侧固定连接有小型汽缸711，小型汽缸711的一端固定连接在支撑杆71的外壁，缓冲板713的一侧的两端活动连接有伸缩杆712，伸缩杆712的一端活动连接在支撑杆71的外壁。
55.在本实施例中，通过一号液压杆73带动清理棉715向上移动到导管的内腔，再通过小型汽缸711带动清理棉715和软毛刷716向两侧扩张，使得软毛刷716贴在导管的内壁，再通过电机72带动清理棉715和软毛刷716旋转，使得软毛刷716清理导管的内腔，同时通过缓冲软球714，增加清理棉715的柔韧性，使得便于快速清理导管的内腔，提高导管清洗的清洁度，同时提高装置的工作效率。
56.下面具体说一下该化学气相沉积设备的导管清洗装置的工作原理。
57.如图1-9所示，使用时，通过二号液压杆82带动卡块83卡在导管的外壁，对导管进行固定，再启动一号水泵4，通过弹性排水管3抽出水箱2内腔的清水，对导管进行清洗，同时通过一号液压杆73带动清理棉715移动到导管的内腔，再通过小型汽缸711带动清理棉715和软毛刷716向两侧扩张并移动到导管的内壁，再通过电机72带动清理棉715和软毛刷716旋转清理导管的内腔，同时污水通过导污管62流入储水池61，再通过过滤棉615和碳纤维过滤层616对污水进行过滤，再将过滤之后的水排入储水池61内腔的底部，再通过二号水泵64将过滤之后的水吸入水箱2，使得循环用水。
58.上文一般性的对本发明做了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本发明思想精神的修改或改进，均在本发明的保护范围之内。
技术特征：1.一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，包括清洗装置本体(1)、水箱(2)、弹性排水管(3)、一号水泵(4)和清洗槽(5)，所述清洗装置本体(1)的顶部固定连接有水箱(2)，所述水箱(2)的内腔固定套接有弹性排水管(3)，所述弹性排水管(3)的外壁固定连接有一号水泵(4)，所述清洗装置本体(1)的顶部开设有清洗槽(5)，其特征在于：所述清洗装置本体(1)的底部设置有水循环机构(6)，所述清洗槽(5)内腔的底部设置有清理机构(7)，所述清洗槽(5)内腔的两侧设置有夹持机构(8)；所述水循环机构(6)包括有储水池(61)，所述储水池(61)的正面活动套接有过滤板(611)，所述过滤板(611)的外壁开设有过滤孔(613)，所述过滤板(611)的正面固定连接有把手(612)；所述清理机构(7)包括有清理棉(715)，所述清理棉(715)的一侧固定连接有软毛刷(716)；所述夹持机构(8)包括有活动槽(81)，所述活动槽(81)的内腔活动套接有卡块(83)，所述卡块(83)的外壁开设有通孔。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其特征在于：所述过滤孔(613)的内腔固定套接有净水漏斗(614)，所述净水漏斗(614)的内腔固定套接有过滤棉(615)，所述过滤棉(615)的底部固定设置有碳纤维过滤层(616)，所述碳纤维过滤层(616)的底部设置有支撑网(617)，所述支撑网(617)的外壁固定套接在净水漏斗(614)的内腔。3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其特征在于：所述储水池(61)的底部固定连接有吸水管(63)，所述吸水管(63)的一端延伸至水箱(2)的内腔，所述吸水管(63)的外壁固定连接有二号水泵(64)。4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其特征在于：所述储水池(61)的顶部固定连接有导污管(62)，所述导污管(62)的一端固定连接在清洗槽(5)的底部。5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(5)内腔的底部固定连接有一号液压杆(73)，所述一号液压杆(73)的一端固定连接有电机(72)，所述电机(72)的输出端固定连接有支撑杆(71)。6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其特征在于：所述清理棉(715)的一侧固定连接有缓冲软球(714)，所述缓冲软球(714)的一侧固定连接有缓冲板(713)，所述缓冲板(713)的一侧固定连接有小型汽缸(711)，所述小型汽缸(711)的一端固定连接在支撑杆(71)的外壁。7.根据权利要求6所述的一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其特征在于：所述缓冲板(713)的一侧的两端活动连接有伸缩杆(712)，所述伸缩杆(712)的一端活动连接在支撑杆(71)的外壁。8.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其特征在于：所述卡块(83)的一侧固定连接有凸块(833)，所述凸块(833)的一侧固定连接有防滑板(834)，所述防滑板(834)的一侧开设有防滑纹。9.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其特征在于：所述卡块(83)的另一侧固定连接有乳胶板(831)，所述乳胶板(831)的一侧固定连接有弹簧(832)，
所述弹簧(832)的一端固定连接在活动槽(81)内腔的一侧。10.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(5)内腔的两侧固定连接有二号液压杆(82)，所述二号液压杆(82)的一端固定连接在活动槽(81)的一侧。
技术总结本发明公开了一种化学气相沉积设备的导管清洗装置，涉及气相沉积设备技术领域，包括清洗装置本体、水箱、弹性排水管、一号水泵和清洗槽，所述清洗装置本体的顶部固定连接有水箱，所述水箱的内腔固定套接有弹性排水管，所述弹性排水管的外壁固定连接有一号水泵，所述清洗装置本体的顶部开设有清洗槽。本发明通过碳纤维过滤层和过滤棉吸收污水里的杂质并对污水进行过滤，再通过吸水管和二号水泵的配合，将过滤之后的水吸入水箱，使得循环用水，避免了现有的清洗装置在清洗导管时，不具备循环用水的功能，通常是将清洗之后的污水直接排放出去，导致造成大量水资源浪费的问题，使得循环利用水资源，提高装置的环保性。提高装置的环保性。提高装置的环保性。
技术研发人员：何淑英 黄永钦 钟兴进 何浩梁 冯嘉荔 黄沛泉
受保护的技术使用者：广东鸿浩半导体设备有限公司
技术研发日：2022.03.25
技术公布日：2022/7/5
