1.本实用新型涉及线路板，尤其是一种线路板精确蚀刻设备。
背景技术：2.蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。也可对各种金属如:铁、铜、铝、钛金、不锈钢、锌版、等金属和金属制品的表面蚀刻图纹、花纹、几何形状，并能精确镂空。也可专业针对各种型号的国产和进口不锈钢进行蚀刻和薄板切割，如今广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。
3.蚀刻机的工作原理为：充入反应腔体中的工作气体，在强电场的作用下，辉光放电，形成等离子体；在与晶圆表面材料发生物理轰击和化学反应，按照光刻机绘制的图形，把晶圆上不需要的材料去除，
4.在线路板的制作过程中，根据等离子体与晶圆表面材料相互作用的过程可以分为化学刻蚀和物理刻蚀，物理刻蚀一般使用氩气等惰性气体，生成带电等离子体后，在强电场的作用下，氩离子会对晶圆表面加速轰击，通过溅射等物理作用，去除未被保护的表面材料；化学刻蚀采用与晶圆表面物质能够发生化学反应的气体，当可反应气体生成等离子体后，里面包含着大量的离子、电子和游离基，具有很强的化学活性，当反应等离子体到达晶圆表面，并被吸附，就可以针对特定的刻蚀材料，快速的发生化学反应。
5.然而，由于线路板反应处大多为密封环境，反应之后的产物在反应之后仍然留存在蚀刻设备的内部，漂浮在蚀刻设备的内部以及底面；被蚀刻掉的材料会降低导致接下来的蚀刻精度，影响到蚀刻设备接下来的蚀刻过程。
技术实现要素：6.针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种线路板精确蚀刻设备，可以快速将蚀刻掉的材料移除，以解决背景技术中提到的问题。
7.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
8.一种线路板精确蚀刻设备，包括设备本体，所述设备本体的侧壁上固定设置有液压伸缩缸，所述液压伸缩缸的输出端固定设置有清洁组件，所述液压伸缩缸的轴线水平设置；所述清洁组件的下端面以及上端面设置有清洁毛刷；所述清洁组件纵向设置；所述设备本体的上端面固定设置有真空泵，所述真空泵的输出端固定连接有第一气管，所述第一气管的另一端固定连接有第二气管，所述第二气管的另一端固定连接在所述清洁组件上，所述第二气管为弹簧软管。
9.进一步的，所述清洁组件包括位于四周的支撑架以及与所述支撑架固定连接的清洁网。
10.根据上述技术方案，设置在支撑架中间位置处的清洁网在清洁蚀刻设备空间中的废料的同时，也可以保证气流的畅通。
11.进一步的，所述支撑架的中间位置处纵向设置有支撑柱。
12.根据上述技术方案，支撑柱的设置可以加固支撑架，防止支撑架在移动的过程中发生变形。
13.进一步的，所述液压伸缩缸与所述支撑柱固定连接。
14.根据上述技术方案，便于液压伸缩缸与清洁组件之间的固定连接，使连接更加稳固。
15.进一步的，所述设备本体内部的底面固定设置有线路板夹具。
16.根据上述技术方案，便于装夹线路板。
17.进一步的，所述设备本体外侧的侧壁上固定设置有控制器，所述控制器与所述液压伸缩缸电性连接，所述控制器与所述真空泵电性连接。
18.根据上述技术方案，控制器的设置便于随时控制液压伸缩缸和真空泵的开启和关闭。
19.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
20.1、设备本体的侧壁上固定设置有液压伸缩缸，液压伸缩缸的输出端固定设置有清洁组件，可以带动清洁组件往复运动，清洁空间中的废料；同时，清洁组件的下端面以及上端面设置有清洁毛刷，也有利于同步实现蚀刻设备底部和顶部粘附的废料，提高了清洁效率，也有利于提升下一阶段蚀刻的精度；真空泵提供动力，使废料被吸附带离蚀刻设备的内部，与清洁组件相互配合，大大提高了清洁的效率。
21.2、该实用新型中第二气管的另一端固定连接在所清洁组件上，第二气管为弹簧软管，弹簧软管具备优异的可伸缩性，在液压伸缩缸带动清洁组件往复运动的同时，也带动第二气管的往复运动，通过改变真空泵提供真空负压力的位置，可以清除边角位置处的废料，进一步提升了清洁效率。
附图说明
22.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
23.图1为本实用新型的结构示意图；
24.图2为本实用新型中清洁组件的结构示意图。
25.图中：1、设备本体；2、液压伸缩缸；3、清洁组件；4、清洁毛刷；5、真空泵；6、第一气管；7、第二气管；8、第三气管；9、废料罐；10、控制器；11、线路板夹具；12、支撑柱；13、清洁网；14、支撑架。
具体实施方式
26.为了使本实用新型的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本实用新型实施例进行进一步详细说明。
27.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的
方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
28.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.实施例1
30.一种线路板精确蚀刻设备，包括设备本体1，所述设备本体1的侧壁上固定设置有液压伸缩缸2，液压伸缩缸2的数量为两个，分别设置在设备本体1内侧的左右内壁上；所述液压伸缩缸2的输出端固定设置有清洁组件3，所述液压伸缩缸2的轴线水平设置；所述清洁组件3的下端面以及上端面设置有清洁毛刷4；所述清洁组件3纵向设置；所述设备本体1的上端面固定设置有真空泵5，所述真空泵5的输出端固定连接有第一气管6，所述第一气管6的另一端固定连接有第二气管7，所述第二气管7的另一端固定连接在所述清洁组件3上，所述第二气管7为弹簧软管；真空泵5的输出端通过第三气管8与废料罐9内部贯通连接。
31.根据上述实施例，具体的，请参考图1和图2，所述清洁组件3包括位于四周的支撑架14以及与所述支撑架14固定连接的清洁网13，设置在支撑架14中间位置处的清洁网13在清洁蚀刻设备空间中的废料的同时，也可以保证气流的畅通。
32.根据上述实施例，具体的，请参考图1和图2，所述支撑架14的中间位置处纵向设置有支撑柱12，支撑柱12的设置可以加固支撑架14，防止支撑架14在移动的过程中发生变形。
33.根据上述实施例，具体的，请参考图1和图2，所述液压伸缩缸2与所述支撑柱12固定连接，便于液压伸缩缸2与清洁组件3之间的固定连接，使连接更加稳固。
34.根据上述实施例，具体的，请参考图1和图2，所述设备本体1内部的底面固定设置有线路板夹具11，便于装夹线路板。
35.根据上述实施例，具体的，请参考图1和图2，所述设备本体1外侧的侧壁上固定设置有控制器10，所述控制器10与所述液压伸缩缸2电性连接，所述控制器10与所述真空泵5电性连接，控制器10的设置便于随时控制液压伸缩缸2和真空泵5的开启和关闭。
36.工作人员可以在完成蚀刻之后，取出线路板，操纵控制器10、由于设备本体1的侧壁上固定设置有液压伸缩缸2，液压伸缩缸2的输出端固定设置有清洁组件3，所以可以带动清洁组件3往复运动，清洁空间中的废料；同时，清洁组件3的下端面以及上端面设置有清洁毛刷4，也有利于同步实现蚀刻设备底部和顶部粘附的废料，提高了清洁效率，也有利于提升下一阶段蚀刻的精度；真空泵5提供动力，使废料被吸附带离蚀刻设备的内部，与清洁组件3相互配合，大大提高了清洁的效率。
37.另一方面，第二气管7的另一端固定连接在清洁组件3上，第二气管7为弹簧软管，弹簧软管具备优异的可伸缩性，在液压伸缩缸2带动清洁组件3往复运动的同时，也带动第二气管7的往复运动，通过改变真空泵5提供真空负压力的位置，可以清除边角位置处的废料，进一步提升了清洁效率。
38.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
技术特征：1.一种线路板精确蚀刻设备，包括设备本体(1)，其特征在于：所述设备本体(1)的侧壁上固定设置有液压伸缩缸(2)，所述液压伸缩缸(2)的输出端固定设置有清洁组件(3)，所述液压伸缩缸(2)的轴线水平设置；所述清洁组件(3)的下端面以及上端面设置有清洁毛刷(4)；所述清洁组件(3)纵向设置；所述设备本体(1)的上端面固定设置有真空泵(5)，所述真空泵(5)的输出端固定连接有第一气管(6)，所述第一气管(6)的另一端固定连接有第二气管(7)，所述第二气管(7)的另一端固定连接在所述清洁组件(3)上，所述第二气管(7)为弹簧软管。2.根据权利要求1所述的一种线路板精确蚀刻设备，其特征在于：所述清洁组件(3)包括位于四周的支撑架(14)以及与所述支撑架(14)固定连接的清洁网(13)。3.根据权利要求2所述的一种线路板精确蚀刻设备，其特征在于：所述支撑架(14)的中间位置处纵向设置有支撑柱(12)。4.根据权利要求3所述的一种线路板精确蚀刻设备，其特征在于：所述液压伸缩缸(2)与所述支撑柱(12)固定连接。5.根据权利要求4所述的一种线路板精确蚀刻设备，其特征在于：所述设备本体(1)内部的底面固定设置有线路板夹具(11)。6.根据权利要求5所述的一种线路板精确蚀刻设备，其特征在于：所述设备本体(1)外侧的侧壁上固定设置有控制器(10)，所述控制器(10)与所述液压伸缩缸(2)电性连接，所述控制器(10)与所述真空泵(5)电性连接。
技术总结本实用新型本实用新型涉及线路板，尤其是一种线路板精确蚀刻设备，其技术方案要点是：包括设备本体，所述设备本体的侧壁上固定设置有液压伸缩缸，所述液压伸缩缸的输出端固定设置有清洁组件，所述液压伸缩缸的轴线水平设置；所述清洁组件的下端面以及上端面设置有清洁毛刷；所述清洁组件纵向设置；所述设备本体的上端面固定设置有真空泵，所述真空泵的输出端固定连接有第一气管，所述第一气管的另一端固定连接有第二气管，所述第二气管的另一端固定连接在所述清洁组件上，所述第二气管为弹簧软管，本实用新型结构简单，可以快速、高效率的将蚀刻掉的材料移除出设备内部。将蚀刻掉的材料移除出设备内部。将蚀刻掉的材料移除出设备内部。
技术研发人员：李光林 车钟男
受保护的技术使用者：无锡天酬半导体设备有限公司
技术研发日：2021.11.26
技术公布日：2022/7/4
