本发明实施例涉及麦克风，特别涉及一种mems麦克风。
背景技术：
1、目前应用较多且性能较好的一种麦克风是微电机系统麦克风(micro-electro-mechanical-system microphone)，简称mems麦克风，由于是基于硅基半导体材料制作，又称硅基麦克风或硅麦克风。其封装体积比传统的驻极体麦克风小，应用越来越广。
2、现有技术的硅麦克风，一般沿隔膜的周向在隔膜的边缘刻蚀以形成相互间隔的多个连接梁。连接梁由多个翼片组成，这些翼片将连接梁与隔膜的其余部分隔离。通过连接梁与基底固定连接，实现隔膜的中心部分与基底的连接。该设计方法虽能降低隔膜的刚性，但是由于隔膜为柔性材质制成，使得隔离连接梁的翼片可能因应力梯度和/或对基板或固定背板结构的静摩擦力而翘曲。
3、因此，有必要提供一种新的mems麦克风来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本发明实施例的目的在于提供一种避免隔离岛翘曲的mems麦克风。
2、为解决上述技术问题，本发明提供了一种mems麦克风，包括：
3、基底，具有背腔；背板，与所述基底间隔设置；隔膜，设于所述基底上，并位于所述基底和背板之间；所述隔膜包括主体部、边缘部、隔离岛和梁结构，所述主体部与所述基底及背板间隔设置，所述边缘部固定连接所述基底，所述隔离岛为多个且与所述主体部间隔设置，每个所述隔离岛与所述主体部之间形成缝隙；所述梁结构为多个且环绕所述主体部间隔设置，任意两个相邻的所述隔离岛之间具有所述梁结构，所述梁结构用于连接所述主体部和边缘部；连接件，被配置为将每个所述隔离岛与所述基底和所述背板中的至少一者连接。
4、在一些实施例中，所述连接件与所述背板固定连接；且，所述连接件与所述背板一体成形。
5、在一些实施例中，所述连接件包括第一连接部以及与所述第一连接部固定连接的第二连接部，所述第一连接部与所述背板固定连接，所述第二连接部与所述隔离岛固定连接。
6、在一些实施例中，所述第一连接部的截面面积大于所述第二连接部的截面面积。
7、在一些实施例中，所述第一连接部的截面和所述第二连接部的截面均为圆形。
8、在一些实施例中，每个所述隔离岛与所述背板之间形成有空气间隙。
9、在一些实施例中，所述第一连接部与所述第二连接部固定连接的位置形成有连接面。沿所述隔膜的振动方向，所述空气间隙包括形成在所述背板朝向所述隔离岛一侧的表面与所述连接面之间的第一空隙，以及形成在所述隔离岛朝向所述背板一侧的表面与所述连接面之间的第二空隙。
10、在一些实施例中，所述连接件与所述基底固定连接；且，所述连接件与所述基底一体成型。
11、在一些实施例中，所述连接件包括锚固件，所述锚固件固定连接在所述隔离岛与所述基底之间。
12、在一些实施例中，所述锚固件沿垂直于所述隔膜的振动方向的截面呈环状圆角矩形。所述锚固件内填充有氧化隔离层。
13、在一些实施例中，沿所述隔膜的振动方向，所述隔离岛在所述背板上的正投影覆盖所述连接件在所述背板上的正投影。和/或，所述隔离岛在所述基底上的正投影覆盖所述连接件在所述基底上的正投影。
14、在一些实施例中，沿所述隔膜的振动方向，所述连接件在所述隔离岛上的正投影位于所述隔离岛的中心。
15、在一些实施例中，所述梁结构位于两个相邻的缝隙之间。
16、本发明的有益效果在于：提供了一种mems麦克风，隔离岛通过连接件与背板和基底中的至少一个固定连接，从而可固定隔离岛，防止隔离岛因应力梯度和/或对基底或固定背板结构的静摩擦力而翘曲。一方面，由于隔离岛的位置固定，使得隔离岛的尺寸设计受到的限制较小，优化隔离岛设计的自由度；另一方面，由于隔离岛的位置固定，当隔膜在高压下向上移动时，该隔离岛结构将提供一定程度的通气量，提高隔膜的鲁棒性。
1.一种mems麦克风，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的mems麦克风，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的mems麦克风，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的mems麦克风，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的mems麦克风，其特征在于：
6.根据权利要求4所述的mems麦克风，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的mems麦克风，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的mems麦克风，其特征在于：
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11.根据权利要求1所述的mems麦克风，其特征在于：
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13.根据权利要求1所述的mems麦克风，其特征在于：
