一种LTCC用高匹配性玻璃粉、铜导体浆料及其制备方法与应用

allin2025-05-25  66


本发明属于电子材料,具体涉及一种ltcc用高匹配性玻璃粉、铜导体浆料及其制备方法与应用。


背景技术:

1、电子产品小型化、集成化、低成本和高可靠性发展极大地推动着信息技术的快速发展。ltcc是元件制造工艺的集成化一个大趋势,并且因其良好的热力学、电子学以及相应的机械性能,成为电子元件组件和集成器件、以及微波器件领域的优先发展方向,具有良好的应用前景。ltcc低成本的发展需求促使ltcc用电子浆料逐渐贱金属化,铜粉作为导电浆料的功能相,其导电性能仅次于银,具备低成本、低扩散特性,目前被广泛应用电子浆料中。

2、导电铜浆作为ltcc技术应用中的一种共烧型的导电浆料,通过印刷在ltcc元件外表面实现其与外部电路的连接,铜层烧结致密性不好、出现内部开裂等缺陷,会导致内外连接性失常、产品性能失效等风险,因此浆料烧结的致密性、与瓷体的收缩匹配性、附着力对ltcc产品可靠性有着决定性影响。

3、ltcc商业应用中的高匹配性、高结合力的导体浆主要是银浆、金浆等贵金属浆料,如日本tdk公司jp2012-221765a提供一种ag\au等贵金属导体的浆料及玻璃陶瓷基板。cn115691855 a、cn116344099a、cn116900328a分别提供的是银导体浆料、金导体浆料,该导电浆与陶瓷生料带具有良好的共烧匹配性,印刷烧结后性能比较好但烧结温度、成本都较高。

4、与本专利接近的cn112509727a,主要从铜粉预处理出发,玻璃优选38sio2-6hfo2-8al2o3-38cuo,实现电极铜浆与ltcc基板的优良共烧匹配性、印刷性、导电性能优良。

5、为了加快国内ltcc技术向低成本、高可靠性的快速发展趋势,加速实现ltcc关键原材料国产化的需求,本领域亟需开发更加适于ltcc共烧用的铜导体浆料。


技术实现思路

1、针对上述背景技术中的问题,本发明从玻璃粉组成设计出发,结合商用铜粉,设计出一种ltcc用高匹配性玻璃粉与高结合强度铜导体浆料,通过提高玻璃粉与ltcc生瓷的匹配性、烧结形成致密的界面,实现铜浆与生瓷在烧结之间的高结合力,从而实现ltcc用导体浆料的低成本与高可靠性需求。

2、为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:

3、第一方面,本发明提供一种玻璃粉,该玻璃粉的化学组成以重量百分比包括以下组分:(15~30%)sio2-(23~32%)b2o3-(3~9%)na2o-(0~50%)mo(m=mn,ba,ca)。在三元玻璃系统中sio2-b2o3-na2o引入mno、cao、bao氧化物。

4、第二方面,本发明提供一种ltcc用铜导体浆料,该导体浆料以重量百分比计包含以下组分:77~90%的铜粉、2~8%本发明的玻璃粉、8~15%的有机载体,0~5%助剂。

5、第三方面,本发明还提供一种铜电极浆料的制备方法,包括如下步骤:

6、s1、称取溶剂以及树脂,在80~90℃下将树脂均匀溶解在溶剂中,充分搅拌形成均匀的有机载体。

7、s2、将玻璃粉、铜粉以及步骤s1制备的有机载体按比例称取并搅拌均匀形成浆料。然后用三辊研磨机对浆料进行充分研磨过滤,最终制备出符合性能需求的铜浆浆料。

8、第四方面,本发明提供一种ltcc铜导体的烧结工艺,烧结过程包含排胶过程与烧结过程,排胶过程是从室温3~5℃/min的升温速率升至500~650℃并保温300~400min,烧结气氛为湿n2。烧结过程,排胶结束温度为起始温度,以10~30℃/min的升温速率升至900~950℃保温30~60min。烧结气氛为n2。

9、作为本发明的优选实施方案,所述玻璃粉按质量百分比计,包含以下成分na2o 3~9%,cao 0~16%,bao 25~40%,mno 0~10%b2o3 23~30%,sio216~24%,其中玻璃中cao、bao含量之和大于40%。在此元素范围内的玻璃具有较好的助烧活性、较好的化学稳定性、与ltcc基材有良好的附着力。

10、作为本发明的优选实施方案,粒径较小的铜粉具有较高的烧结活性,较低的堆积密度,烧结后收缩严重。故本发明优选d50=7μm和d50=2μm的球状铜粉与d50=4μm的片状铜粉进行复配,当球铜与片铜的质量比为1~3范围内可以实现电极的致密烧结;

11、作为本发明的优选实施方案,所述有机载体以质量百分比计包含75~85%的溶剂与15~25%的树脂。优选的溶剂包含二乙二醇丁醚醋酸酯、二丙二醇丙醚、松油醇中的两种或多种;树脂包含乙基纤维素、丙烯酸树脂中的一种或两种。

12、与现有技术相比,本发明的有益效果为:

13、提供一种高匹配性、高化学稳定性玻璃粉。在三元玻璃系统中sio2-b2o3-na2o引入mno、cao、bao氧化物,提高玻璃粉与ltcc生瓷的匹配性,提高铜浆与生瓷在烧结之间的结合力。

14、提供一种增强界面结合力与匹配性的方法。通过扩散、界面合金化方式增强界面结合力。在烧结过程中,玻璃粉中的ca、ba与生瓷带中ca、ba发生相互扩散行为,铜导体浆的铜会向ltcc瓷带中扩散,烧结后,cu、ca、ba从导体向ltcc基板中扩散,从而提高了导体与ltcc基板之间的结合强度。锰以cu-mn合金或者氧化物的形式存在于导体和ltcc基板之间的界面上,增强界面结合强度,从而有效避免导体与基板界面在酸性、碱性溶液形成的裂纹、龟裂等缺陷。

15、本发明创新性的采用排胶、烧结一体化方式烧结,解决了铜浆料在低温时有机载体难排除,高温烧结时易氧化问题,实现了导体与ltcc瓷带界面孔隙率化烧结。减少由烧结制度不匹配引起器件电性能差、可靠性降低的现象,实现具有电极与瓷体间致密性粘结。

16、本发明制备的铜导体浆料应用于ltcc生瓷带中,印刷分辨率高,光滑无毛刺,烧结外观平整,结合力测试性能优异,方阻小于2mω/□,具备孔隙率低和烧结致密化程度高的优势,酸泡与清洗后无裂纹、龟裂等缺陷。ltcc产品可靠性高。



技术特征:

1.ltcc用高匹配性玻璃粉、铜导体浆料及其制备方法与应用,其特征在于,玻璃粉按重量百分比计,包含以下成分(15~30%)sio2-(23~32%)b2o3-(3~9%)na2o-(0~50%)mo(m=mn,ba, ca)。

2.根据权利要求1所述的玻璃粉,其特征在于,玻璃块采用传统熔融在双辊轧片机中淬冷制备,玻璃粉采用行星球磨方式制备,d50粒径为1.0-3.5 mm。

3.根据权利要求2所述玻璃粉的制备方法,其特征在于,所述将原料固体粉末烧制成玻璃液的过程中,升温速率为5~20℃/min,烧制温度为1000~1400℃,烧制时间为 60~150min;所述球磨的过程中,采用球磨机进行球磨,球磨机转速为300~500r/min,球磨时间为90~240min;所述过筛的过程中,筛网目数为200~800目。

4.根据权利要求1所述的电子浆料,其特征在于,所述浆料包含77~90 wt%的铜粉、2~8wt%的玻璃粉、8~21 wt%的有机载体,0~5 wt %助剂,其中铜粉是由类球铜粉、球形铜a,b混合搭配,d50粒径为2~8μm。助剂为蓖麻油,卵磷脂,n-油酰肌胺酸,聚酰胺类中的两种或三种。

5.根据权利要求1所述的电子浆料,其特征在于,所述的有机载体包含溶剂与树脂。溶剂包含丁基卡必醇醋酸酯、醇酯-12、二丙二醇丙醚、二乙二醇丁醚醋酸酯、松油醇中的二种或多种;树脂包含乙基纤维素、、环氧树脂、丙烯酸树脂中的一种或两种。

6.根据权利要求1所述的电子浆料,其特征在于,制备流程包含以下3个步骤:

7.根据权利要求1所述的电子浆料,其特征在于,烧结过程包含排胶过程与烧结过程,排胶过程是从室温3~5 ℃/min的升温速率升至500~650 ℃并保温300~400 min。烧结过程室温10~30 ℃/min的升温速率升至900~950 ℃保温30~60 min。烧结气氛为n2或湿n2。

8.根据权利要求1所述的玻璃粉其应用场景不仅限于ltcc铜导体浆料,在mlcc、片式电阻、电感等领域均可实现高匹配性。


技术总结
本发明公开一种LTCC用高匹配性玻璃粉、铜导体浆料及其制备方法与应用,属于电子材料领域。该玻璃粉的化学组成以重量百分比包括以下组分:(15~30%)SiO2‑(23~32%)B2O3‑(3~9%)Na2O‑(0~50%)MO(M=Mn,Ba,Ca)。本发明在三元玻璃系统中SiO2‑B2O3‑Na2O引入MnO、CaO、BaO氧化物,提高玻璃粉与LTCC生瓷的匹配性,提高铜浆与生瓷在烧结之间的结合力,具体是烧结过程中,玻璃粉中的Ca、Ba与生瓷带中Ca、Ba发生相互扩散行为,铜导体浆的铜会向LTCC瓷带中扩散,烧结后,Cu、Ca、Ba从导体向LTCC基板中扩散,从而提高了导体与LTCC基板之间的结合强度。此外,锰以Cu‑Mn合金或者氧化物的形式存在于导体和LTCC基板之间的界面上,增强界面结合强度,从而有效避免导体与基板界面在酸性、碱性溶液形成的裂纹、龟裂等缺陷,同时,由该玻璃粉制备的导电铜浆的电性能方阻小于2 mΩ/□,具备孔隙率低和烧结致密化程度高的优势。

技术研发人员:陈春雨,曾惠丹,王继宏
受保护的技术使用者:华东理工大学
技术研发日:
技术公布日:2024/10/31
转载请注明原文地址: https://www.8miu.com/read-21473.html

最新回复(0)