本发明涉及一种用于操作辐射设备、尤其是粒子辐射设备和/或激光辐射设备的方法。此外，本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的辐射设备。此外，本发明还涉及一种用于物体的物体固持器。例如，物体固持器可以布置在粒子辐射设备中。
背景技术：
1、电子辐射设备、尤其扫描电子显微镜(以下也称为sem)和/或透射电子显微镜(以下也称为tem)用于研究物体(样本)，以获得在特定条件下的特性和行为方面的认知。
2、在sem的情况下，借助于射束发生器来产生电子射束(以下也称为初级电子射束)并且通过射束引导系统将其聚焦到待研究的物体上。借助于偏转装置以扫描方式在待研究的物体的表面上引导初级电子射束。初级电子射束的电子在此与待研究的物体进行相互作用。作为相互作用的结果，尤其从物体发射电子(所谓的次级电子)并且将初级电子射束的电子返回散射(所谓的返回散射电子)。检测次级电子和返回散射电子并将其用于产生图像。由此获得待研究物体的成像。此外，作为相互作用的结果，产生了相互作用辐射，例如x射线辐射和阴极发光。相互作用辐射尤其用于分析物体。
3、在tem的情况下，同样借助于射束发生器来产生初级电子射束并且借助于射束引导系统将其聚焦到待研究的物体上。初级电子射束透射待研究的物体。在初级电子射束穿过待研究的物体时，初级电子射束的电子与待研究的物体的材料进行相互作用。穿透待研究的物体的电子通过由物镜和透射透镜(projektiv)组成的系统在光屏上或在检测器(例如摄影机)上成像。在此成像还可以在tem的扫描模式下进行。这种tem一般称为stem。另外可以提出，在待研究的物体处借助于另外的检测器来检测返回散射的电子和/或由待研究的物体发射的次级电子，以便将待研究的物体成像。
4、此外，从现有技术中已知，将组合设备用于研究物体，其中，不仅可以将电子而且还可以将离子引导到待研究的物体上。例如已知的是，使sem额外地配备离子辐射柱。借助于布置在离子辐射柱中的离子射束发生器来产生离子，这些离子用于制备物体(例如削磨物体的材料或将材料施加到物体上)或者还用于成像。sem在此尤其用于观察制备过程，但是也用于进一步研究所制备的或未制备的物体。
5、在另外的已知的粒子辐射设备中、例如在使用气体输送的情况下将材料施加到物体上。已知的粒子辐射设备是提供电子射束和离子射束的组合设备。粒子辐射设备包括电子辐射柱和离子辐射柱。电子辐射柱提供聚焦到物体上的电子射束。物体布置在保持处于真空的样本室中。离子辐射柱提供也聚焦在物体上的离子射束。借助于离子射束，例如移除物体的表面的层。在移除这个层之后，物体的另外的表面露出。借助气体输入装置可以将气态的前体物质(所谓的前体)放入到样本室中。已知的是，气体输入装置构造有针状装置，该针状装置可以布置在距离物体的位置几μm的非常近处，从而气态的前体物质可以尽可能精确地并且以高浓度被引导到该位置上。通过离子射束与气态前体物质的相互作用，在物体的表面上沉积物质层。例如，已知气态菲被作为气态前体物质通过气体输入装置引入到样本室中。然后，在所述物体的表面上基本上沉积碳层或包含碳的层。还已知的是，使用具有金属的气态前体物质，以在物体的表面上沉积金属或包含金属的层。然而，沉积物不限于碳和/或金属。而是，可以在物体的表面上沉积任何物质，例如半导体、非导体或其他化合物。此外，已知气态前体物质在与粒子射束相互作用时用于削磨物体的材料。
6、将材料施加到物体和/或从物体削磨材料例如用于在物体上布置标记。在现有技术中，例如标记用于定位电子射束和/或离子射束。
7、为了在tem中或在具有透射检测器的sem中对物体的材料结构执行高分辨率分析，已知制备物体使得物体的厚度小于100nm，这是因为在电子穿过物体的透射中，电子射束的电子在固体材料中具有典型的1000nm的作用范围。电子在进入物体时具有典型地从几十kev至几百kev的能量。物体的厚度小于100nm确保了绝大部分电子穿过物体并且可以借助于检测器被检测到。
8、在现有技术中已知的是，借助离子射束处理物体以实现小于100nm的物体厚度，例如在1nm至80nm或1nm至50nm的范围内的厚度。通过利用电子射束对物体进行成像，可以观察借助离子射束对物体的处理。
9、下面描述一种从现有技术中已知的用于产生要利用tem或利用sem在使用透射检测器的情况下检查的物体的方法。首先，在例如具有毫米范围内的延伸部的材料块中，材料块的子块通过使用离子射束露出并且从材料块中制出。子块例如具有几微米(尤其3μm至6μm)的厚度以及例如几十μm(尤其30μm至80μm)的长度。接着将子块紧固在微型操纵器上并且从材料块中取出。然后将子块紧固在tem物体固持器(也称为“tem网格”)上。利用引导至子块的离子射束，现在削磨子块的材料，直到子块或子块的至少一个区域具有小于100nm的厚度。在从子块削磨材料时，tem物体固持器从初始位置起首先沿第一方向围绕旋转轴线旋转1°至2°，以便确保在子块的第一侧上很好地削磨材料。然后，tem物体固持器从初始位置起沿第二方向围绕旋转轴线旋转1°至2°，以便确保良好地削磨子块的第二侧面上的材料。子块的第一侧和第二侧彼此相对且间隔布置。为了使tem物体固持器能够旋转，tem物体固持器布置在可运动地设计的样本台上。样本台具有实现tem物体固持器旋转的机械运动单元。
10、关于现有技术，参见us 8,536,525 b2。
11、由于样本台的运动单元的机械不精确性，在tem物体固持器围绕旋转轴线旋转时，会出现离子射束相对于子块的位置的不期望的相对移动。换言之，在tem物体固持器旋转之后，离子射束不再在以下位置上命中布置在tem物体固持器上的子块：tem物体固持器旋转之前离子射束聚焦的位置。在这种情况下，在现有技术中，离子射束被再校准和定位，使得离子射束命中子块的期望位置，以便能够削磨材料。
技术实现思路
1、本发明的任务是，提供一种用于操作辐射设备的方法、一种计算机程序产品、一种辐射设备以及一种物体固持器，利用它们在物体固持器运动之后可以简单地实现、尤其可以自动地执行粒子辐射设备的粒子射束或者激光射束相对于布置在物体固持器上的物体的定位。
2、根据本发明，这个任务借助具有下文所述特征的、用于操作辐射设备的方法实现。具有程序代码的计算机程序产品通过下文给出，该程序代码被加载到处理器中或者能够加载到处理器中并且在实施时控制辐射设备，使得执行根据本发明的方法。此外，本发明还涉及一种具有下文所述特征的辐射设备。此外，本发明还涉及一种具有下文所述特征的物体固持器。本发明的其他特征由以下的说明书、所附权利要求和/或附图得出。
3、根据本发明的方法用于操作辐射设备，尤其是用于处理、成像和/或分析物体的粒子辐射设备和/或用于处理、成像和/或分析物体的激光辐射设备。例如，粒子辐射设备具有用于产生具有带电粒子的粒子射束的至少一个射束发生器。带电粒子例如是电子或离子。
4、在根据本发明的方法中，至少一个标记布置在物体固持器上。换言之，在物体固持器上产生标记。标记的布置在使用激光射束装置的激光射束的情况下和/或在使用粒子辐射设备的至少一个粒子射束的情况下进行，其中，粒子射束具有带电粒子。例如提出，激光射束装置布置在粒子辐射设备上。附加于此或替代于此提出，激光射束装置是与粒子辐射设备分开的装置。例如提出，借助激光射束装置这样从物体固持器上削磨和/或施加材料，使得通过材料削磨产生标记。附加于此或替代于此提出，借助粒子射束这样从物体固持器削磨材料和/或将材料这样施加到物体固持器上，使得通过材料削磨和/或材料施加产生标记。为了材料施加和/或材料削磨，例如将气体输送给物体固持器。气体与粒子射束和/或激光射束相互作用，使得材料被施加到物体固持器上或者材料从物体固持器上削磨。
5、根据本发明的方法还包括将至少一个物体布置在物体固持器上。例如，为了将物体布置在物体固持器上，材料被施加在物体与物体固持器之间的连接位置处，从而物体与物体固持器连接。为此，在根据本发明的方法的实施方式中，将气体和粒子射束输送给物体，使得由于粒子射束与气体的相互作用而在连接位置上施加材料。附加地或替代地，在根据本发明的方法的另外的实施方式中，气体和激光射束被输送给物体，使得基于激光射束与气体的相互作用在连接位置上施加材料。但是，本发明不局限于将物体布置在物体固持器上的前述的实施方式。而是可以使用适合于本发明的将物体布置在物体固持器上的任何方式。
6、此外，在根据本发明的方法中，实现了物体固持器的运动并且因此也实现了布置在物体固持器上的物体的运动。物体固持器的运动例如包括物体固持器沿着至少一条轴线的平移运动。例如，物体固持器沿着第一轴线、沿着第二轴线和/或沿着第三轴线运动，其中，第一轴线、第二轴线和第三轴线例如分别彼此垂直地定向。附加于此或替代于此提出，物体固持器围绕至少一条旋转轴线旋转。上述旋转尤其包括物体固持器围绕旋转轴线的倾斜。尤其提出，所述物体固持器并且由此布置在所述物体固持器上的物体从初始位置出发围绕旋转轴线沿第一方向和/或第二方向旋转0.5°到5°、尤其1°到3°或者1°到2°。角度范围的前述范围极限包含在角度范围中。明确地指出，本发明不限于前述角度范围。而是，可以使用适合于本发明的任何角度范围。在根据本发明的方法的实施方式中附加地或替代地提出，物体固持器围绕第一旋转轴线和/或围绕第二旋转轴线旋转。例如，第一旋转轴线和第二旋转轴线彼此垂直地定向。
7、根据本发明的方法还包括在使用标记的情况下使粒子射束和/或激光射束相对于物体相对定位。换言之，在物体固持器的运动之后，粒子射束和/或激光射束相对于物体被这样地再校准和定位，使得粒子射束可以被引导到物体上的期望位置上。粒子射束和/或激光射束相对于物体的相对定位例如通过(a)粒子射束的再校准(即定位)(例如借助粒子辐射设备的偏转单元)和/或通过(b)激光射束的再校准(即定位)(例如借助激光射束的引导单元)和/或通过(c)通过物体固持器的运动的物体固持器的再校准(即定位)来进行。此外，根据本发明的方法于是包括利用定位的粒子射束和/或定位的激光射束处理、成像和/或分析物体。
8、根据本发明的方法不限于所阐述的方法步骤的上述顺序。而是，在根据本发明的方法中，可以选择适合于本发明的前述方法步骤的每个顺序。
9、本发明具有的优点是，尤其是在物体固持器运动之后，但也在物体固持器相对于粒子射束和/或激光射束的任何其他相对运动之后，能够简单地实现粒子辐射设备的粒子射束和/或激光射束装置的激光射束相对于布置在物体固持器上的物体的相对定位。尤其是可以自动地执行粒子射束和/或激光射束相对于物体的相对定位。
10、在根据本发明的方法的实施方式中，物体固持器被设计为适合于将检查粒子射束输送到物体上的物体固持器，其中，检查粒子射束具有粒子，所述粒子透射穿过物体。例如，物体固持器被设计为tem物体固持器，其可以被插入到tem中和/或插入到具有透射检测器的sem中和/或插入到具有离子辐射柱、电子辐射柱以及透射检测器的组合设备中。要明确指出的是，用以执行根据本发明的方法的粒子辐射设备不必强制地是提供检查粒子射束的粒子辐射设备。而是，可以将物体固持器从用来执行根据本发明的方法的粒子辐射设备中分离出来，并且引入另外的粒子辐射设备中，然后在该粒子辐射设备中利用检查粒子射束来检查物体。例如，该另外的粒子辐射设备是tem。
11、在根据本发明的方法的另外的实施方式中，在将物体布置在物体固持器上之前借助粒子辐射设备的粒子射束和/或激光射束装置的激光射束产生物体。例如，在根据本发明的方法的实施方式中，采用粒子射束(例如离子射束)将材料块的子块的形式的物体在材料块中暴露并且从材料块中制出。材料块例如具有毫米范围内的延伸部。而以子块的形式的制出的物体例如具有几微米(尤其3μm至6μm)的厚度以及例如几十μm(尤其30μm至80μm)的长度。紧接着，物体以子块的形式例如被紧固在微型操纵器上并且从材料块中被取出。然后，将子块形式的物体布置在物体固持器上。附加于此或替代于此提出，在没有进行中间步骤的情况下，即将物体布置在微型操纵器上的情况下，将物体直接布置在物体固持器上。
12、在根据本发明的方法的又一另外的实施方式中附加或替代地提出，物体这样布置在物体固持器上，使得物体的面与物体固持器的对于粒子射束和/或激光射束可自由接近的面成0°至360°的角度布置。在此，标记布置在物体固持器的前述面上。在根据本发明的方法的实施方式中，物体的面平行于物体固持器的对于粒子射束和/或激光射束可自由接近的面布置。替代于此提出，将物体的面例如与物体固持器的对于粒子射束和/或激光射束可自由接近的面成5°至80°的角度布置。例如提出，物体的面和物体固持器的面布置在不同的平面中。替代于此提出，物体的面和物体固持器的面布置在单个平面中。换言之，物体的面和物体固持器的面处于相同的高度。这个方法的这种实施方式保证粒子射束和/或激光射束相对于物体的特别好的相对定位，因为标记和物体布置在单个平面中。
13、在根据本发明的方法的再一另外的实施方式中附加或替代地提出，在将标记布置在物体固持器的面上之前，使用粒子射束和/或激光射束产生物体固持器的面。如果物体固持器不具有面或者仅具有用于布置标记的很少合适的面，则在根据本发明的方法的该实施方式中例如提出，首先在物体固持器上产生物体固持器的面。然后，利用粒子射束在物体固持器上产生物体固持器的面，粒子射束例如是离子射束和/或激光射束。这尤其通过在使用粒子射束和/或激光射束的情况下削磨物体固持器的材料来实现。为了削磨，尤其可以向物体固持器输送气体。通过离子射束和/或激光射束与气体以及与物体固持器的相互作用，在物体固持器上产生材料削磨。附加于此或替代于此提出，例如通过在使用粒子射束和/或激光射束的情况下以及在输送气体的情况下在物体固持器上施加材料来产生物体固持器的面。例如通过离子射束和/或激光射束与气体的相互作用引起在物体固持器上的材料施加。
14、在根据本发明的方法的实施方式中附加地或替代地提出，通过在使用粒子射束的情况下对标记成像来产生具有标记的参考图像。在此，上面以及下面将具有标记的参考图像理解为具有标记的成像的参考图像。此外，产生具有标记的另外的图像。在此，上面以及下面将具有标记的图像理解为具有标记的成像。换言之，通过使用粒子射束对标记进行重新成像来产生具有标记的另外的图像。在产生具有标记的参考图像和具有标记的另外的图像时，使用例如离子射束和/或电子射束作为粒子射束。然后将具有标记的参考图像与具有标记的另外的图像进行比较。然后，通过使用具有标记的参考图像与具有标记的另外的图像的比较来确定位移向量。然后使用所确定的位移向量来进行粒子射束和/或激光射束的相对定位。例如，在确定位移向量时应用互相关的数学方法，该数学方法已经由现有技术公知。
15、在根据本发明的方法的另外的实施方式中附加或替代地提出，粒子射束具有可预先给定的射束流，其中，不仅产生具有标记的另外的图像，而且处理、成像和/或分析物体在使用具有可预先给定的射束流的粒子射束的情况下进行。替代于此提出，粒子射束具有可预先给定的射束流，其中，(i)产生具有标记的参考图像、(ii)产生具有标记的另外的图像、以及(iii)处理、成像和/或分析物体在使用具有可预先给定的射束流的粒子射束的情况下进行。因此，在根据本发明的方法的前述实施方式中提出，粒子射束始终以相同的射束流(即可预先给定的射束流)，并且更确切地说，在产生具有标记的参考图像时、在产生具有标记的另外的图像时、在处理物体时、在对该物体成像时和/或在分析该物体时操作。
16、在根据本发明的方法的另外的实施方式中附加地或替代地提出，粒子射束具有可预先给定的第一射束流或可预先给定的第二射束流。第一射束流不同于第二射束流。利用可预先给定的第一射束流在使用粒子射束的条件下产生具有标记的另外的图像。相反，对物体的处理、成像和/或分析在使用具有可预先给定的第二射束流的粒子射束的情况下进行。替代于此提出，粒子射束具有可预先给定的第一射束流或可预先给定的第二射束流。在此，第一射束流也不同于第二射束流。在使用具有可预先给定的第一射束流的粒子射束的条件下进行具有标记的参考图像的产生和/或具有标记的另外的图像的产生。此外，在使用具有可预先给定的第二射束流的粒子射束的情况下进行/进行对物体的处理、成像和/或分析。因此在前述实施方式中提出，操作具有不同的射束流的粒子射束。
17、在根据本发明的方法的又一另外的实施方式中附加地或替代地提出，物体的处理包括物体的材料的削磨。例如，使用离子射束和/或激光射束削磨物体的材料。为此，尤其是向物体输送至少一种气体，其中，该气体与粒子射束和/或激光射束以及物体这样共同作用，使得从物体上削磨材料。附加于此或替代于此提出，物体的处理包括在物体上布置材料。例如，这在向物体输送至少一种气体的情况下进行，其中，所述气体与粒子射束和/或激光射束共同作用，使得材料布置在物体上。例如，使用离子射束作为粒子射束。例如，借助于气体输入装置将气态前体物质(所谓的前体)放入到样本室中。气体输入装置具有尤其是针状装置，该针状装置可以布置在距离物体的位置几μm的非常近处，从而气态前体物质可以尽可能精确地并且以高浓度被引导到该位置上。通过离子射束与气态前体物质的相互作用，在物体的表面上沉积物质层。例如，气态菲作为气态前体物质通过气体输入装置被引入到样本室中。然后，在所述物体的表面上基本上沉积碳层或包含碳的层。此外，具有金属的气态前体物质也可以用于在物体的表面上沉积金属或包含金属的层。然而，沉积物不限于碳和/或金属。而是，可以在物体的表面上沉积任何物质，例如半导体、非导体或其他化合物。
18、再次，附加于此或替代于此提出，分析物体包括以下分析类型中的至少一种分析类型：
19、-借助edx(其中edx是能量色散x射线光谱的缩写)进行分析，
20、-借助wdx(其中wdx是波长色散x射线光谱的缩写)进行分析，
21、-借助ebsd(其中ebsd是电子返回散射衍射的缩写)进行分析，
22、-借助tkd检查(其中tkd是透射菊池衍射的缩写)进行分析，
23、-借助电子射束成像进行分析，以及
24、-在使用透射检测器、例如在sem中或在具有电子辐射柱和离子辐射柱的组合设备中的stem检测器的情况下进行分析。
25、在根据本发明的方法的实施方式中，附加地或替代地提出，带电粒子是离子。例如，离子是镓离子。然而，本发明不限于前述离子。而是，适合于本发明的任何类型的离子都可以用于本发明。替代于此提出，带电粒子是电子。
26、在根据本发明的方法的实施方式中附加地或替代地提出，该方法具有以下特征中的一个特征：
27、(i)粒子射束是第一粒子射束。借助第二粒子射束成像该物体；
28、(ii)粒子射束是第一粒子射束，其中，第一粒子射束的带电粒子具有离子。利用第二粒子射束成像该物体，其中，第二粒子射束具有电子。
29、在根据本发明的方法的另外的实施方式中附加地或替代地提出，通过在使用第二粒子射束的情况下对标记成像来产生具有标记的参考图像。具有标记的参考图像在下面被称为具有标记的另外的参考图像。此外，通过使用第二粒子射束对标记进行重新成像来产生具有标记的另外的图像。具有标记的另外的图像将在下面被称为具有标记的又一另外的图像。接着比较具有标记的另外的参考图像与具有标记的又一另外的图像，并且在使用具有标记的另外的参考图像与具有标记的又一另外的图像的比较的情况下确定位移向量。下面将位移向量称为另外的位移向量。在使用另外的位移向量的情况下进行粒子射束和/或激光射束的相对定位。例如，在确定另外的位移向量时应用互相关的数学方法，该数学方法已经由现有技术公知。
30、在根据本发明的方法的又一另外的实施方式中附加地或替代地提出，该方法具有以下特征中的至少一个特征：
31、(i)该标记被产生为具有至少一个边缘的标记。从边缘开始，第一平面在第一维度中延伸，且第二平面在第二维度中延伸；
32、(ii)该标记被产生为具有至少一个第一边缘和至少一个第二边缘的标记。第一边缘和第二边缘可以在不同的方向上定向。第一平面从第一边缘和第二边缘分别在第一维度中延伸，并且第二平面从第一边缘和第二边缘分别在第二维度中延伸。在此，例如第一平面分别彼此不同。尤其也提出，第二平面分别彼此不同；
33、(iii)标记被产生为十字形标记和/或多边形；
34、(iv)标记被产生为星形标记；
35、(v)标记被产生为x形标记；
36、(vi)标记被产生为l形标记；
37、(vii)通过削磨材料和/或通过施加材料来产生标记。
38、本发明还涉及一种具有程序代码的计算机程序产品，该程序代码可以加载到或被加载到辐射设备、尤其是粒子辐射设备和/或激光辐射设备的处理器中，其中，程序代码在处理器中执行时这样控制辐射设备，使得实施具有上述或下述特征中的至少一个特征的方法或具有上述或下述特征中的至少两个特征的组合的方法。
39、本发明还涉及一种用于处理、成像和/或分析物体的辐射设备。根据本发明的辐射设备具有用于产生具有带电粒子的粒子射束和/或激光射束的至少一个射束发生器。带电粒子例如是电子或离子。此外，辐射设备具有用于布置物体的物体固持器。此外，辐射设备具有扫描装置，用于在物体上扫描粒子射束和/或激光射束。辐射设备还具有用于检测相互作用粒子和/或相互作用辐射的至少一个检测器，所述相互作用粒子和/或相互作用辐射由粒子射束和/或激光射束在粒子射束和/或激光射束命中物体时与物体的相互作用产生。此外，根据本发明的辐射设备设置有至少一个显示装置，用于显示图像和/或分析物体。根据本发明的辐射设备还设有具有处理器的至少一个控制单元，在该控制单元中加载到计算机程序产品中，该计算机程序产品具有上述或下述特征中的至少一个特征或者上述或下述特征中的至少两个特征的组合。
40、在根据本发明的辐射设备的实施方式中附加或替代地提出，辐射设备被设计为粒子辐射设备。此外，辐射设备还具有至少一个物镜，用于将粒子射束聚焦到物体上。
41、在根据本发明的粒子辐射设备形式的另外的实施方式中附加地或替代地提出，射束发生器被设计为第一射束发生器并且粒子射束被设计为具有第一带电粒子的第一粒子射束。另外，物镜被设计为第一物镜，该第一物镜用于将第一粒子射束聚焦到物体上。此外，根据本发明的辐射设备具有用于产生具有第二带电粒子的第二粒子射束的至少一个第二射束发生器。此外，根据本发明的辐射设备具有至少一个第二物镜，该至少一个第二物镜用于将第二粒子射束聚焦到物体上。
42、尤其提出，辐射设备被构造为电子辐射设备和/或离子辐射设备。
43、本发明还涉及一种用于布置在粒子辐射设备中的物体固持器。例如，这个粒子辐射设备是电子辐射设备和/或离子辐射设备。根据本发明的物体固持器具有用于固持物体的至少一个固持装置。此外，根据本发明的物体固持器具有用于定位粒子辐射设备的粒子射束的至少一个标记。例如，可以在使用激光射束装置和/或粒子辐射设备的粒子射束的情况下在物体固持器上产生标记。物体固持器被设计为输送透射过物体的带电粒子。这些带电粒子例如是电子或离子。例如，可以在执行上述或下述根据本发明的方法时使用根据本发明的物体固持器。
44、在根据本发明的物体固持器的实施方式中附加地或替代地提出，物体固持器具有这样构造的面，即，该面对于粒子辐射设备的粒子射束和/或对于激光辐射设备的激光射束是可自由接近的。此外，标记布置在物体固持器的面上。此外，物体固持器这样设计，使得物体的面相对于物体固持器的面可成0°至360°的角度布置。尤其提出，物体的面可布置成平行于物体固持器的面。例如提出，物体的面和物体固持器的面可布置在不同的平面中。替代于此提出，物体的面和物体固持器的面可布置在单个平面中。换言之，物体的面和物体固持器的面处于相同的高度。根据本发明物体固持器的这种实施方式保证粒子射束和/或激光射束相对于物体的特别好的相对定位，因为标记和物体布置在单个平面中。
45、在根据本发明的物体固持器的另外的实施方式中附加地或替代地提出，标记布置在固持装置上。例如，前述固持装置是布置在物体固持器上的大量另外的固持装置中的第一固持装置。尤其，该另外的固持装置具有第二固持装置。在根据本发明的物体固持器的另外的实施方式中，标记布置在第二固持装置上。相反，物体可布置在第一固持装置上。第二固持装置与第一固持装置分开地布置在物体固持器上。因此，第一固持装置和第二固持装置不相同。
46、在根据本发明的物体固持器的又一另外的实施方式中附加地或替代地提出，物体固持器具有以下特征中的至少一个特征：
47、(i)标记被形成为具有至少一个边缘的标记。从边缘开始，第一平面在第一维度中延伸，且第二平面在第二维度中延伸；
48、(ii)标记被形成为具有至少一个第一边缘和至少一个第二边缘的标记。第一边缘和第二边缘可以在不同的方向上定向。第一平面从第一边缘和第二边缘分别在第一维度中延伸，并且第二平面从第一边缘和第二边缘分别在第二维度中延伸。在此，例如第一平面分别彼此不同。尤其也提出，第二平面分别彼此不同；
49、(iii)标记被形成为十字形标记和/或多边形；
50、(iv)标记被形成为星形标记；
51、(v)标记被形成为x形标记；
52、(vi)标记被形成为l形标记；
53、(vii)标记是通过削磨材料和/或通过施加材料产生的标记。
54、前述标记由于其构造而特别适合于自动识别粒子射束和/或激光射束和粒子射束和/或激光射束相对于物体的自动相对定位。
1.一种用于布置在粒子辐射设备(100，200，400)中的物体固持器(114)，其中，
2.根据权利要求1所述的物体固持器(114)，其中，
3.根据权利要求2所述的物体固持器(114)，其中，该物体(125，425)的面(707)和该物体固持器(114)的面(707)可布置在一平面中。
4.根据权利要求2所述的物体固持器(114)，其中，该物体(125，425)的面(707)和该物体固持器(114)的面(707)能够布置在单个平面中。
5.根据权利要求2所述的物体固持器(114)，其中，该物体(125，425)的面(707)和该物体固持器(114)的面(707)能够布置在不同的平面中。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的物体固持器(114)，其中，该标记(705)布置在该固持装置(701，702，703，704)上。
7.根据权利要求6所述的物体固持器(114)，其中，该固持装置是第一固持装置，其中，第二固持装置布置在该物体固持器(114)处。
8.根据权利要求7所述的物体固持器(114)，其中，该标记(705)布置在该第二固持装置处，其中，该物体(125，425)能够布置在该第一固持装置处，并且其中，该第二固持装置与该第一固持装置分开地布置在该物体固持器(114)处。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的物体固持器(114)，其中，该物体固持器(114)具有以下特征中的至少一个特征：
