本申请属于六氟丁二烯制备的领域，具体涉及一种制备六氟丁二烯的方法。
背景技术：
1、六氟丁二烯主要作为刻蚀气应用在高速高容量存储芯片的生产中，能实现近乎垂直地刻蚀加工，达到优越的各向异性蚀刻效果，和传统的等离子蚀刻气相比，具有更快的蚀刻速率、高的蚀刻选择性和高深宽比，是性能最好的电子线路刻蚀气体，在3d nand堆叠超细孔道的刻蚀中，六氟丁二烯具有不可替代性。
2、目前生产六氟丁二烯的方法通常需要多步反应，需要引入多种有机溶液且副产物较多，在存在催化剂的反应中，通常为直接采用负载有金属催化剂的活性炭或分子筛，转化率率较低且催化剂稳定性较差，负载的金属元素容易掺杂在产品中从而影响产品纯度，同时，六氟丁二烯具有自聚的特性，在高温下长时间进行反应会发生聚合从而导致收率降低。
3、因此，亟待开发一种既可以减少六氟丁二烯的聚合损失，又可以规避催化剂带来的不良影响的六氟丁二烯的合成方法。
技术实现思路
1、为了优化现有技术中六氟丁二烯合成过程中，六氟丁二烯自聚合导致收率较低，以及催化剂转化率低、稳定性差的技术问题，本申请提供一种制备六氟丁二烯的方法，通过无负载介孔碳材料催化剂，对原料六氟环丁烯进行催化处理，优化了现有技术中的技术问题。
2、本申请提供的一种制备六氟丁二烯的方法采用如下的技术方案：
3、一种制备六氟丁二烯的方法，包括如下的步骤：
4、以六氟环丁烯为原料，将六氟环丁烯气体经过吸附除水后，利用无负载介孔碳材料催化剂对六氟环丁烯进行催化热解，得到六氟丁二烯；
5、所述无负载介孔碳材料催化剂的制备过程包括如下步骤：
6、s1.将表面活性剂及扩孔剂加入酸性溶液中，搅拌至澄清透明，得到模版剂溶液；
7、s2.将碳源加入模板剂溶液中，搅拌至澄清透明后进行固化；
8、s3.将固化产物取出后依次进行水洗、醇洗和干燥；
9、s4.将干燥后的产物在低温下进行焙烧，脱除模板剂；
10、s5.将低温焙烧后的产物进行高温焙烧碳化，得到无负载介孔碳材料催化剂。
11、在一个具体的可实施方案中，所述s1中的扩孔剂包括均三甲苯、癸烷、辛烷、n,n-二甲基酰胺中的任意一种。
12、在一个具体的可实施方案中，所述s1中的酸性溶液的ph为1～3的酸性溶液。
13、在一个具体的可实施方案中，所述s2中的碳源包括蔗糖、葡萄糖、果糖中的任意一种。
14、在一个具体的可实施方案中，所述s2的固化条件为200～250℃条件下固化12～24h。
15、在一个具体的可实施方案中，所述s4的焙烧条件为，在300～350℃下焙烧1～3h。
16、在一个具体的可实施方案中，所述s5中的焙烧条件为，在750～950℃下焙烧1～3h。
17、在一个具体的可实施方案中，所述表面活性剂、酸性溶液、扩孔剂的添加质量比对应为1:1：(1～3)。
18、在一个具体的可实施方案中，所述碳源和扩孔剂的添加摩尔比为1：
19、(1～3)。
20、在一个具体的可实施方案中，该方法将六氟环丁烷除水至含水量为1～5ppm后，利用无负载介孔碳材料催化剂对六氟环丁烯进行催化热解，控制热解温度为300～600℃，压力为0.1～0.3mpa，得到六氟丁二烯。
21、本申请包括以下至少一种有益技术效果：
22、1、本申请摒弃了负载有金属催化剂的活性炭或分子筛，克服了其转化率率较低且催化剂稳定性较差，负载的金属元素容易掺杂在产品中从而影响产品纯度的技术问题，利用无负载介孔碳材料催化制备六氟丁二烯，具有能够加快反应速度，降低六氟丁二烯产物在热解反应器内的停留时间，避免六氟丁二烯的聚合损失的优点。
23、2、除此之外，本申请的碳源可以是蔗糖、葡萄糖、果糖、甚至淀粉、纤维素，具有材料廉价易得的优点。
24、3、由本申请提供的方法制备六氟丁二烯，其收率可稳定达到90％以上，且方法易实施，可以工业化生产。
25、4、本申请的方法能够避免常规催化剂带来的金属杂质影响，从而降低六氟丁二烯纯化难度，并且能够避免常规催化剂高温下寿命短、易中毒的缺点，从而避免催化剂的频繁更换。
1.一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：包括如下的步骤：
2.根据权利要求1所述的一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：所述s1中的扩孔剂包括均三甲苯、癸烷、辛烷、n,n-二甲基酰胺中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：所述s1中的酸性溶液的ph为1～3的酸性溶液。
4.根据权利要求1所述的一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：所述s2中的碳源包括蔗糖、葡萄糖、果糖中的任意一种。
5.根据权利要求1所述的一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：所述s2的固化条件为200～250℃条件下固化12～24h。
6.根据权利要求1所述的一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：所述s4的焙烧条件为，在300～350℃下焙烧1～3h。
7.根据权利要求1所述的一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：所述s5中的焙烧条件为，在750～950℃下焙烧1～3h。
8.根据权利要求1所述的一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：所述表面活性剂、酸性溶液、扩孔剂的添加质量比对应为1:1：(1～3)。
9.根据权利要求1所述的一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：所述碳源和扩孔剂的添加摩尔比为1：(1～3)。
10.根据权利要求1所述的一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于：该方法将六氟环丁烷除水至含水量为1～5ppm后，利用无负载介孔碳材料催化剂对六氟环丁烯进行催化热解，控制热解温度为300～600℃，压力为0.1～0.3mpa，得到六氟丁二烯。
