一种用于石英表面化学处理的装置的制作方法

allin2025-06-20  47


本技术涉及石英表面处理,具体为一种用于石英表面化学处理的装置。


背景技术:

1、对石英制品表面进行化学处理可消除机械加工中形成的微小裂纹,按一定比例配置的化学药品可腐蚀加工过程中表面形成的尖点,可使尖点形成微小的凸起表面,在进行太阳能硅片cvd过程中这种凸起可有效的防止颗粒的脱落,延长石英制品的寿命。

2、传统的对石英表面进行化学处理时是将石英制品放入添加化学药品的槽中放置一定时间,化学药品与石英表面进行反应,槽内放置加热器,由于槽中的液体不可流动,槽内液体升温速率不同,与石英表面的反应速率不同造成石英制品表面质量差异,从而影响石英制品产品质量。


技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于石英表面化学处理的装置,解决了现有石英表面处理槽内液体不可流动,槽内液体升温速率不同,与石英表面的反应速率不同影响成品质量的问题。

2、为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种用于石英表面化学处理的装置,包括架体,所述架体上分别设有左箱体以及右箱体,所述左箱体与右箱体之间设有一对与架体连接的隔膜泵,一侧所述隔膜泵的输入端与左箱体连接,输出端与右箱体连接,另一侧所述隔膜泵的输入端与右箱体连接,输出端与左箱体连接,所述左箱体以及右箱体内均设有隔板,所述左箱体内设有加热器,所述左箱体前壁设有plc控制面板。

3、优选的,所述左箱体以及右箱体顶部均设有上盖,底部均设有排水管。

4、优选的,所述隔板上均匀开设有若干通孔。

5、优选的,所述左箱体与所述右箱体内均设有与所述plc控制面板电性连接的浓度传感器以及温度传感器。

6、优选的,所述左箱体、右箱体、连接管路均采用聚四氟乙烯制成,加热器以及传感器外侧均套设有聚四氟乙烯。

7、有益效果

8、本实用新型公开了一种用于石英表面化学处理的装置,具备以下有益效果:

9、1.该装置采用两个容器,以及连接管路均采用耐化学制品的聚四氟乙烯板制成可耐腐蚀。

10、2.容器内一端放置加热器,加热器外套为聚四氟乙烯可耐腐蚀。

11、3.容器内有温度传感器可监控容器内液体温度,传感器外套聚四氟乙烯,耐腐蚀。

12、4.容器内安置有可实时监测化学药品浓度的传感器,经plc编程传递的信号可实时显示在plc显示面板上,通过plc可控制隔膜泵的运行的时间,石英制品与药品反应的时间。

13、5.两个容器可通过两个隔膜泵进行连通,使液体温度均匀,液体来回循环可使石英制品表面与药品反应均衡,可提高石英制品表面质量达到预期要求。



技术特征:

1.一种用于石英表面化学处理的装置,包括架体(1),所述架体(1)上分别设有左箱体(2)以及右箱体(3),其特征在于,所述左箱体(2)与右箱体(3)之间设有一对与架体(1)连接的隔膜泵(4),一侧所述隔膜泵(4)的输入端与左箱体(2)连接,输出端与右箱体(3)连接,另一侧所述隔膜泵(4)的输入端与右箱体(3)连接,输出端与左箱体(2)连接,所述左箱体(2)以及右箱体(3)内均设有隔板(5),所述左箱体(2)内设有加热器(6),所述左箱体(2)前壁设有plc控制面板(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英表面化学处理的装置,其特征在于,所述左箱体(2)以及右箱体(3)顶部均设有上盖(8),底部均设有排水管(9)。

3.根据权利要求1所述的一种用于石英表面化学处理的装置,其特征在于,所述隔板(5)上均匀开设有若干通孔。

4.根据权利要求1所述的一种用于石英表面化学处理的装置,其特征在于,所述左箱体(2)与所述右箱体(3)内均设有与所述plc控制面板(7)电性连接的浓度传感器以及温度传感器。


技术总结
本技术公开了一种用于石英表面化学处理的装置,包括架体,所述架体上分别设有左箱体以及右箱体,所述左箱体与右箱体之间设有一对与架体连接的隔膜泵,一侧所述隔膜泵的输入端与左箱体连接,输出端与右箱体连接,另一侧所述隔膜泵的输入端与右箱体连接,输出端与左箱体连接,所述左箱体以及右箱体内均设有隔板,所述左箱体内设有加热器,所述左箱体前壁设有PLC控制面板,本技术涉及石英表面处理技术领域,本申请的两个容器可通过两个隔膜泵进行连通,使液体温度均匀,液体来回循环可使石英制品表面与药品反应均衡,可提高石英制品表面质量达到预期要求。

技术研发人员:韩皓,赵树君,邢洪超
受保护的技术使用者:辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司
技术研发日:20240329
技术公布日:2024/10/31
转载请注明原文地址: https://www.8miu.com/read-22352.html

最新回复(0)