本技术涉及减薄抛光机领域，具体为一种减薄抛光的气浮主轴。
背景技术：
1、减薄机主要用于衬底硅片制备阶段表面加工，以及集成电路封装前对晶圆背面多余的基体材料进行去除；随着ic制造技术的飞速发展，硅片大直径化、超薄化的发展趋势对硅片磨削的加工效率和加工质量提出了更高的要求；气浮主轴是减薄机实现超精密磨削的关键部件，其性能直接影响着磨削；
2、气浮主轴又称为空气主轴，指的是用气体，通常是空气，但也有可能是其它气体，作为润滑剂的滑动轴承；气浮主轴在气浮轴承内部进行气浮旋转的时候，自气浮轴承内部喷射而出的高压气体无法在同一时间进行喷出，使得气浮主轴与气浮轴承之间形成的气膜厚度不一致，导致气浮主轴在转动的时候，容易形成偏心转动，极大降低气浮主轴的工作时候的稳定性。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种减薄抛光的气浮主轴，以解决上述背景技术中提到的缺陷。
2、为实现上述目的，提供一种减薄抛光的气浮主轴，包括主轴本体，所述主轴本体穿插在气浮轴承的内部，且气浮轴承的内部开设摩擦腔，同时气浮轴承上设置均化气浮组件，均化气浮组件包括第一进气结构，且第一进气结构的一侧安装第二进气结构，同时第二进气结构的左侧设置第三进气结构，并且第三进气结构的左侧设置第四进气结构，第四进气结构的左侧设置第五进气结构，主轴本体在气浮轴承的内部通过均化气浮组件进行气浮；主轴本体的外侧设置抛光面；
3、第五进气结构包括第一进气通道，且第一进气通道与第二进气通道均设置在气浮轴承的内部，第一进气通道包括分气道，且分气道分别与第一气道、第二气道、第三气道、第四气道和第五气道进行连通。
4、优选的，所述第一进气结构、第二进气结构、第三进气结构、第四进气结构和第五进气结构平行设置，且第一进气结构、第二进气结构、第三进气结构、第四进气结构和第五进气结构通过其上的进气管进行同步进气。
5、优选的，五组进气结构的组成结构一致，且进气管端部与分气道进行连通，同时分气道为弧形设置，并且分气道与气浮轴承的轴向剖面为同心圆结构。
6、优选的，所述第一气道、第二气道、第三气道、第四气道和第五气道沿着主轴本体外侧周向位置均匀分布，且相邻两组气道之间的角度为36°。
7、优选的，所述第一进气通道和第二进气通道关于主轴本体为中心对称结构，且第一进气通道和第二进气通道通过进气管进行同步进气。
8、优选的，所述第一气道、第二气道、第三气道、第四气道和第五气道的底部均设置喷气口，且喷气口的剖面为等腰梯形设置。
9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
10、高压气体可自五组进气管分别进入到五组进气结构的内部，并自五组进气结构中的喷气口进行喷出，使得气体可同步的进入摩擦腔的内部，在主轴本体的外侧形成一层厚度均匀的气膜，使得主轴本体与气浮轴承轴向剖面呈同心圆结构，使得主轴本体在旋转的时候，始终处于同心状态，保证主轴本体工作时候的可靠性与稳定性；
11、喷气口的剖面为等腰梯形设置，高压气体自喷气口进行喷出，可提高喷出高压的气体与主轴本体之间的接触面积，使得主轴本体与气浮轴承之间可快速的形成气浮效应。
1.一种减薄抛光的气浮主轴，包括主轴本体(1)，其特征在于：所述主轴本体(1)穿插在气浮轴承(4)的内部，且气浮轴承(4)的内部开设摩擦腔(3)，同时气浮轴承(4)上设置均化气浮组件(5)，均化气浮组件(5)包括第一进气结构(51)，且第一进气结构(51)的一侧安装第二进气结构(52)，同时第二进气结构(52)的左侧设置第三进气结构(53)，并且第三进气结构(53)的左侧设置第四进气结构(54)，第四进气结构(54)的左侧设置第五进气结构(55)，主轴本体(1)在气浮轴承(4)的内部通过均化气浮组件(5)进行气浮；主轴本体(1)的外侧设置抛光面(2)；
2.根据权利要求1所述的一种减薄抛光的气浮主轴，其特征在于：所述第一进气结构(51)、第二进气结构(52)、第三进气结构(53)、第四进气结构(54)和第五进气结构(55)平行设置，且第一进气结构(51)、第二进气结构(52)、第三进气结构(53)、第四进气结构(54)和第五进气结构(55)通过其上的进气管(5517)进行同步进气。
3.根据权利要求2所述的一种减薄抛光的气浮主轴，其特征在于：五组进气结构的组成结构一致，且进气管(5517)端部与分气道(5518)进行连通，同时分气道(5518)为弧形设置，并且分气道(5518)与气浮轴承(4)的轴向剖面为同心圆结构。
4.根据权利要求1所述的一种减薄抛光的气浮主轴，其特征在于：所述第一气道(5511)、第二气道(5512)、第三气道(5513)、第四气道(5514)和第五气道(5515)沿着主轴本体(1)外侧周向位置均匀分布，且相邻两组气道之间的角度为36°。
5.根据权利要求1所述的一种减薄抛光的气浮主轴，其特征在于：所述第一进气通道(551)和第二进气通道(552)关于主轴本体(1)为中心对称结构，且第一进气通道(551)和第二进气通道(552)通过进气管(5517)进行同步进气。
6.根据权利要求1所述的一种减薄抛光的气浮主轴，其特征在于：所述第一气道(5511)、第二气道(5512)、第三气道(5513)、第四气道(5514)和第五气道(5515)的底部均设置喷气口(5516)，且喷气口(5516)的剖面为等腰梯形设置。
