本技术涉及一种气流引导装置，特别是涉及一种使气流分散化的气体散流装置及基板悬浮手臂。
背景技术：
1、采用双面蚀刻制程的基板的可接触面积大为减少，在抓取基板的步骤需要以非接触式的方式完成。例如当基板通过机械手臂来运输时，由机械手臂向基板吹气，使基板悬浮于空中，避免基板受到摩擦或碰撞。
2、然而，薄型化的基板厚度只有0.2～0.4mm，现有吹气技术的吹气力道过于集中，造成基板损伤，因此，如何改良现有的吹气技术，避免造成基板损伤，是本实用新型要进一步探讨和解决的问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种适用于安装在机械手臂的气体散流装置。
2、本实用新型的气体散流装置，包含载板及散流件。
3、所述载板具有上表面、下表面，及多个气孔，所述上表面向下凹陷而包含安装面部、环绕所述安装面部的出气面部，及环绕所述出气面部且向上延伸至所述载板的顶缘的下导引面部，所述气孔连通所述下表面及所述上表面的出气面部。所述散流件包含设置于所述安装面部的中柱，及连接于所述中柱的顶端的顶板，所述顶板位于所述气孔上方并与所述载板的上表面相间隔。所述散流件的顶板的底面、所述中柱，及所述载板的出气面部共同界定出供气流反射的反射空间。当气体由下往上流经所述载板的气孔后，气流在所述反射空间中经过多次反射后，气流通过所述载板的下导引面部的引导而向上流出。
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5、在一些实施态样中，所述顶板的底面向上凹陷而具有环绕所述中柱且位于所述气孔上方的环绕面部，及环绕所述环绕面部且向下延伸至所述顶板的底缘的上导引面部。
6、在一些实施态样中，所述下导引面部呈圆弧状。
7、在一些实施态样中，所述下导引面部的曲率半径为10毫米。
8、在一些实施态样中，所述上导引面部呈圆弧状。
9、在一些实施态样中，所述上导引面部的曲率半径为2.5毫米。
10、在一些实施态样中，所述载板还具有连通所述安装面部的定位孔，所述散流件还包含连接于所述中柱的底端且直径小于所述中柱的定位柱，所述散流件的定位柱卡固于所述载板的定位孔。
11、在一些实施态样中，所述气孔彼此等距且环绕所述中柱，所述散流件的上导引面部的外轮廓及所述载板的下导引面部的外轮廓呈环形。
12、在一些实施态样中，所述气孔朝外侧的边缘距离所述出气面部向上对应所述顶板底缘的位置的距离为所述气孔的直径的3至6倍。
13、在一些实施态样中，所述顶板的上导引面部的底缘与所述载板的出气面部相间隔，且相间隔的距离为所述气孔的直径的0.5至2倍。
14、在一些实施态样中，所述出气面部与所述环绕面部的垂直距离为所述气孔的直径的3至8倍。
15、在一些实施态样中，所述气孔朝内侧的边缘距离所述中柱的距离为所述气孔的直径的1至3倍。
16、在一些实施态样中，所述出气面部呈平面。
17、在一些实施态样中，所述环绕面部呈平面。
18、本实用新型的其中另一目的在于提供一种能分散吹气力道的基板悬浮手臂。
19、本实用新型的基板悬浮手臂，适用于与外部供气源配合，并包含一手臂本体，及一如上述的气体散流装置，所述气体散流装置设置于所述手臂本体。
20、本实用新型的有益效果在于：通过所述散流件的所述顶板，使得气体由下往上流经所述载板的所述气孔后，气流撞击到所述散流件的所述顶板的所述底面后分散，并在所述反射空间中经过多次反射后雾化，雾bcpi-240068第3/5页
21、化后的气流通过所述载板的所述下导引面部的引导后向上流出，由于气流在向上流出本实用新型气体散流装置前经过多次碰撞后而改变流向，使得最终向上流出的气流均匀分散化，产生大面积且均匀向上的推升力。再者，通过所述散流件的所述顶板的所述底面向上凹陷而具有所述环绕面部及所述上导引面部，有助于使气流在经过更多次的碰撞后更加均匀化。
1.一种气体散流装置，其特征在于：包含：
2.根据权利要求1所述的气体散流装置，其特征在于：所述顶板的底面向上凹陷而具有环绕所述中柱且位于所述气孔上方的环绕面部，及环绕所述环绕面部且向下延伸至所述顶板的底缘的上导引面部。
3.根据权利要求1所述的气体散流装置，其特征在于：所述下导引面部呈圆弧状。
4.根据权利要求3所述的气体散流装置，其特征在于：所述下导引面部的曲率半径为10毫米。
5.根据权利要求2所述的气体散流装置，其特征在于：所述上导引面部呈圆弧状。
6.根据权利要求5所述的气体散流装置，其特征在于：所述上导引面部的曲率半径为2.5毫米。
7.根据权利要求1所述的气体散流装置，其特征在于：所述载板还具有连通所述安装面部的定位孔，所述散流件还包含连接于所述中柱的底端且直径小于所述中柱的定位柱，所述散流件的定位柱卡固于所述载板的定位孔。
8.根据权利要求2所述的气体散流装置，其特征在于：所述气孔彼此等距且环绕所述中柱，所述散流件的上导引面部的外轮廓及所述载板的下导引面部的外轮廓呈环形。
9.根据权利要求1所述的气体散流装置，其特征在于：所述气孔朝外侧的边缘距离所述出气面部向上对应所述顶板底缘的位置的距离为所述气孔的直径的3至6倍。
10.根据权利要求2所述的气体散流装置，其特征在于：所述顶板的上导引面部的底缘与所述载板的出气面部相间隔，且相间隔的距离为所述气孔的直径的0.5至2倍。
11.根据权利要求2所述的气体散流装置，其特征在于：所述出气面部与所述环绕面部的垂直距离为所述气孔的直径的3至8倍。
12.根据权利要求1所述的气体散流装置，其特征在于：所述气孔朝内侧的边缘距离所述中柱的距离为所述气孔的直径的1至3倍。
13.根据权利要求1所述的气体散流装置，其特征在于：所述出气面部呈平面。
14.根据权利要求2所述的气体散流装置，其特征在于：所述环绕面部呈平面。
15.一种基板悬浮手臂，适用于与外部供气源配合，其特征在于：所述基板悬浮手臂包含：
