本技术涉及晶圆检验，具体的，涉及一种晶圆检验用显微镜吸附装置。
背景技术：
1、在半导体行业中，晶圆检验是确保芯片质量和性能的关键环节，显微镜吸附装置在这一过程中扮演着至关重要的角色，它能够固定晶圆并使其与显微镜镜头对准，以便进行高精度的检测，然而，现有的晶圆检验用显微镜吸附装置在功能和效率方面存在一些显著的不足。
2、现有技术中授权公告号为：cn218471923u，名称为晶圆吸附装置，该专利包括吸附环、抽气孔和吸附孔，吸附环的一端面设计为吸附面，呈环形结构，仅与晶圆的边缘接触，显著减少了与晶圆的接触面积，这种设计能有效防止晶圆被硅粉污染，从而提高成品率，通过抽气孔和吸附孔，装置可实现晶圆的稳定吸附和检测。
3、然而，该专利仅仅是采用了一种新型的固定方式通过两边夹持的方式减少了与晶圆表面的接触，但是其固定效果不够稳定，夹持的力度比较小，同时不能在检测的过程中对晶圆的表面进行清洁，会影响检测的精度。
4、并且，该专利通常是采用传统的显微镜进行检测，市面上常见的显微镜无法在每次的时候自动对镜头进行一个保护和清洁，在长时间的使用下会导致镜头的表面积灰，从而影响检测的效果。
技术实现思路
1、本实用新型提出一种晶圆检验用显微镜吸附装置，解决了相关技术中的固定效果差和检测精度低的问题。
2、本实用新型的技术方案如下：一种晶圆检验用显微镜吸附装置，包括固定组件和样品台，所述样品台的两侧均焊接有支撑板，其中一个所述支撑板的一侧安装有控制面板，所述固定组件包括驱动电机，所述驱动电机安装在所述样品台的一侧，所述驱动电机的输出端通过联轴器固定连接有同轴设置的双头螺杆，所述双头螺杆转动安装在所述样品台的内部，所述双头螺杆外部两个相反的螺纹上均通过滚珠螺母装配有移动板；
3、两个所述移动板的一侧均通过螺丝固定连接有夹板，其中一个所述夹板的内部滑动装配有若干阵列等距分布的实心收缩杆，另一个所述夹板的内部滑动装配有若干阵列等距分布的空心收缩杆，另一个所述夹板的顶部通过螺丝固定连接有分流口，所述样品台的内部通过螺丝固定连接有放置台，所述样品台的顶部通过螺丝固定连接有盖板，所述样品台的一侧安装有抽气装置组，所述抽气装置组的一侧安装有柔性软管，所述柔性软管的一端与另一个所述夹板的一侧固定连接。
4、优选的，所述样品台的另一侧通过螺丝固定连接有安装板，所述安装板的顶部通过螺丝固定连接有固定杆，所述固定杆的外部固定套设有夹紧套，所述夹紧套的内部安装有显微镜主体，所述显微镜主体底部镜头的外周面上固定套设有安装套，所述安装套的底部通过螺丝固定连接有保护壳。
5、优选的，所述显微镜主体与所述控制面板电性连接，用于电器之间的连接。
6、优选的，所述保护壳的外周面上开设有贯穿自身的出尘孔，所述出尘孔用于清理镜头表面灰尘。
7、优选的，所述驱动电机和所述抽气装置组均与所述控制面板电性连接，用于电器之间的连接。
8、优选的，所述样品台的内部开设有凹槽，所述放置台通过螺丝固定连接在所述凹槽的内部，所述放置台用于放置晶圆。
9、优选的，所述样品台的内部开设有转动槽，所述双头螺杆转动安装在所述转动槽的内部，所述凹槽与所述转动槽的内部相通，用于提供双头螺杆转动的空间。
10、优选的，两个所述夹板的内部均开设有若干阵列等距分布的收缩槽，若干所述收缩槽的内部均焊接有若干收缩弹簧，若干所述收缩弹簧分别与若干所述实心收缩杆和若干所述空心收缩杆的一端的焊接，用于提供实心收缩杆和空心收缩杆移动的空间。
11、本实用新型的工作原理及有益效果为：
12、1、本实用新型中通过抽气装置组和夹板等结构的设置，通过收缩型的空心收缩杆和实心收缩杆的使用可以实现对不同尺寸的晶圆自动夹持并定位，再通过抽气装置组的抽气效果实现进一步的夹持，并且可以对晶圆的表明起到一个清洁的作用，实现了更好的固定效果。
13、本实用新型中通过安装套和保护壳等效果的设置，通过加设的安装套来固定保护壳，保护壳可以避免显微镜主体的镜头部分受到不必要的伤害，同时可以凝聚抽气时产生的气流来对镜头部分进行一个吹气的清洁，从而提高了检测的精度。
14、为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图示，作详细说明如下。
1.一种晶圆检验用显微镜吸附装置，其特征在于，包括固定组件(5)和样品台(1)，所述样品台(1)的两侧均焊接有支撑板(2)，其中一个所述支撑板(2)的一侧安装有控制面板(23)，所述固定组件(5)包括驱动电机(6)，所述驱动电机(6)安装在所述样品台(1)的一侧，所述驱动电机(6)的输出端通过联轴器固定连接有同轴设置的双头螺杆(8)，所述双头螺杆(8)转动安装在所述样品台(1)的内部，所述双头螺杆(8)外部两个相反的螺纹上均通过滚珠螺母装配有移动板(7)；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检验用显微镜吸附装置，其特征在于，所述样品台(1)的另一侧通过螺丝固定连接有安装板(16)，所述安装板(16)的顶部通过螺丝固定连接有固定杆(17)，所述固定杆(17)的外部固定套设有夹紧套(18)，所述夹紧套(18)的内部安装有显微镜主体(19)，所述显微镜主体(19)底部镜头的外周面上固定套设有安装套(20)，所述安装套(20)的底部通过螺丝固定连接有保护壳(21)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆检验用显微镜吸附装置，其特征在于，所述显微镜主体(19)与所述控制面板(23)电性连接。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆检验用显微镜吸附装置，其特征在于，所述保护壳(21)的外周面上开设有贯穿自身的出尘孔(22)，所述出尘孔(22)用于清理镜头表面灰尘。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆检验用显微镜吸附装置，其特征在于，所述驱动电机(6)和所述抽气装置组(15)均与所述控制面板(23)电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆检验用显微镜吸附装置，其特征在于，所述样品台(1)的内部开设有凹槽，所述放置台(4)通过螺丝固定连接在所述凹槽的内部，所述放置台(4)用于放置晶圆。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆检验用显微镜吸附装置，其特征在于，所述样品台(1)的内部开设有转动槽，所述双头螺杆(8)转动安装在所述转动槽的内部，所述凹槽与所述转动槽的内部相通。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆检验用显微镜吸附装置，其特征在于，两个所述夹板(12)的内部均开设有若干阵列等距分布的收缩槽，若干所述收缩槽的内部均焊接有若干收缩弹簧(13)，若干所述收缩弹簧(13)分别与若干所述实心收缩杆(9)和若干所述空心收缩杆(10)的一端的焊接。
