【】本技术属于电池片制造设备，特别是涉及一种石英舟立式翻转移载机构。
背景技术
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背景技术：
1、扩散设备作为半导体器件工艺的重要设备之一，被广泛应用于集成电路、电力电子、太阳能电池的生产等行业。在光伏行业，高温扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成pn结；退火设备主要是进行退火、激活等作用；低压化学气相沉积(lpcvd)设备主要用于薄膜生长，可用于本征非晶硅、掺杂非晶硅、氧化硅等薄膜生长；等离子增强化学气相沉积(pecvd)设备在太阳能光伏电池工艺流程中作用主要是薄膜生长，可用于氮化硅、氧化铝、本征硅、掺杂非晶硅等薄膜生长。扩散设备、退火设备、pecvd设备共有的特征之一是都需要将装有硅片的舟推进炉管，退出炉管。在硅片的生产过程中，需要在各个设备之间转移，并且在不同设备中可能存在硅片方向不同的情况，因此需要对硅片进行翻转操作，根据翻转方向的不同，翻转设备分为立式翻转和卧式翻转。
2、现有技术中专利公开号为cn216736254u公开了一种石英舟翻转搬运装置，其为立式翻转机构，卧躺状态的石英舟放置在限位梳齿杆上，然后通过靠近旋转端的夹持机构夹持住石英舟的一端，之后驱动夹持机构以石英舟的一端为旋转边进行90度翻转，实现立式翻转，该装置由于限位梳齿杆为悬挑伸出的杆状结构，其承载能力有限，石英舟坐落在限位梳齿杆上在翻转过程中存在反向滑落风险，石英舟的位置稳定性差。
3、另外，舟进行多次工艺后存在轻微变形问题，上述石英舟翻转搬运装置中对舟定位不精准，不能有效解决因为舟变形导致的定位不准问题。
4、因此有必要提供一种石英舟立式翻转移载机构来解决上述技术问题。
技术实现思路
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技术实现要素：
1、本实用新型的主要目的在于提供一种石英舟立式翻转移载机构，在转运舟翻转过程中能够有效保障石英舟的安全，有效解决石英舟翻转过程中的滑落风险问题，同时能够精准定位舟，解决因为舟变形导致的定位不准问题。
2、本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种石英舟立式翻转移载机构，其包括第一电机、受所述第一电机驱动进行水平运动的第一支撑板、转动设置在所述第一支撑板上的转轴、固定在所述第一支撑板上且驱动所述转轴转动的第二电机以及固定在所述转轴上的翻转支架；所述翻转支架包括呈l形设置的第二支撑板与第三支撑板，所述第二支撑板上设置有承载卧式石英舟的若干支撑垫块、支撑并定位石英舟内各硅片的一对限位梳齿杆以及将石英舟朝所述第三支撑板方向压紧的顶部压紧模组；所述第三支撑板上设置有承载立式石英舟的第四支撑板，所述第四支撑板上设置有对立式石英舟底板前后表面进行限位的若干限位挡板以及将石英舟朝所述第二支撑板方向压紧的左侧压紧模组。
3、进一步的，所述第四支撑板滑动设置在所述第三支撑板上；所述第三支撑板上设置有驱动所述第四支撑板靠近或远离所述第二支撑板运动的第一气缸。
4、进一步的，所述左侧压紧模组包括固定在所述第四支撑板上的第二气缸以及受所述第二气缸驱动向右压紧立式石英舟左侧的第一压板。
5、进一步的，所述顶部压紧模组包括固定在所述第二支撑板上的第三气缸以及受所述第三气缸驱动进行上下运动的第二压板。
6、进一步的，所述第一支撑板上设置有对所述第二支撑板上卧式石英舟的前后表面进行定位的若干前后定位模组，所述前后定位模组包括固定在所述第一支撑板上的第四气缸以及受所述第四气缸驱动进行前后运动的第三压板。
7、进一步的，所述第一支撑板上设置有对准卧式石英舟内硅片区域的避让操作槽口。
8、进一步的，所述第一支撑板上设置有保持所述第二支撑板翻转至设定卧躺角度状态的限位垫块。
9、与现有技术相比，本实用新型一种石英舟立式翻转移载机构的有益效果在于：
10、(1)在转轴上设置翻转支架，翻转支架采用呈l形设置的第二支撑板与第三支撑板，第二支撑板翻转至水平状态时，应用于卧式石英舟工作工位处使用，第三支撑板翻转至水平状态时，应用于立式石英舟工作工位处使用；利用转轴的旋转实现石英舟在立式状态与卧式状态之间的位置转换，进而实现90°翻转；
11、(2)在第三支撑板上设置承载立式石英舟靠近或远离第二支撑板运动的第四支撑板，第二支撑板上设置有对硅片侧向进行一一归正限位的限位梳齿杆和对立式石英舟顶部进行压紧定位的顶部压紧模组；在第四支撑板上设置将立式石英舟朝第二支撑板压紧的左侧压紧模组，在翻转过程中，从多方位固定住石英舟，且利用限位梳齿杆支撑托住硅片，防止翻转过程中硅片发生碰撞或下坠而产生隐裂、崩边等不良问题，也防止了石英舟在翻转过程中发生滑落风险；
12、(3)大大提高了石英舟定位精度，有效解决了因为舟变形导致的定位不准问题。
1.一种石英舟立式翻转移载机构，其特征在于：其包括第一电机、受所述第一电机驱动进行水平运动的第一支撑板、转动设置在所述第一支撑板上的转轴、固定在所述第一支撑板上且驱动所述转轴转动的第二电机以及固定在所述转轴上的翻转支架；所述翻转支架包括呈l形设置的第二支撑板与第三支撑板，所述第二支撑板上设置有承载卧式石英舟的若干支撑垫块、支撑并定位石英舟内各硅片的一对限位梳齿杆以及将石英舟朝所述第三支撑板方向压紧的顶部压紧模组；所述第三支撑板上设置有承载立式石英舟的第四支撑板，所述第四支撑板上设置有对立式石英舟底板前后表面进行限位的若干限位挡板以及将石英舟朝所述第二支撑板方向压紧的左侧压紧模组。
2.如权利要求1所述的石英舟立式翻转移载机构，其特征在于：所述第四支撑板滑动设置在所述第三支撑板上；所述第三支撑板上设置有驱动所述第四支撑板靠近或远离所述第二支撑板运动的第一气缸。
3.如权利要求1所述的石英舟立式翻转移载机构，其特征在于：所述左侧压紧模组包括固定在所述第四支撑板上的第二气缸以及受所述第二气缸驱动向右压紧立式石英舟左侧的第一压板。
4.如权利要求1所述的石英舟立式翻转移载机构，其特征在于：所述顶部压紧模组包括固定在所述第二支撑板上的第三气缸以及受所述第三气缸驱动进行上下运动的第二压板。
5.如权利要求1所述的石英舟立式翻转移载机构，其特征在于：所述第一支撑板上设置有对所述第二支撑板上卧式石英舟的前后表面进行定位的若干前后定位模组，所述前后定位模组包括固定在所述第一支撑板上的第四气缸以及受所述第四气缸驱动进行前后运动的第三压板。
6.如权利要求1所述的石英舟立式翻转移载机构，其特征在于：所述第一支撑板上设置有对准卧式石英舟内硅片区域的避让操作槽口。
7.如权利要求1所述的石英舟立式翻转移载机构，其特征在于：所述第一支撑板上设置有保持所述第二支撑板翻转至设定卧躺角度状态的限位垫块。
