本技术是一种样品垂直度测量装置,属于电子显微镜样品测量领域。
背景技术:
1、电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的,光学显微镜的分辨率为0.2μm,扫描电子显微镜的分辨率为1nm,也就是说扫描电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了200倍,电子显微镜在对样品进行检测时候需要样品的高度满足仪器厂商的最大样品高度要求。市面上的电子显微镜测量装置由放置台、测量尺和固定架等结构组成,工作人员将所需要测量的样品插入放置台上的固定架上,这时通过电子显微镜来观察测量尺上的数据,通过观察数据来判断样品的垂直度,由于在测量的过程中一次只能够观察一个样品,从而需要工作人员不断地调整设备来将样品进行更换,这样在不断地更换会造成设备出现磨损的现象,同时也降低测量效率。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种样品垂直度测量装置,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型能够在依次检测多个样品,测量时不需要工作人员不断的更换检测样品,提高测量的效率。
2、为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种样品垂直度测量装置,包括支撑座和吸附组件,所述支撑座的上端中部设置有测量台,且测量台的左右两侧设置有用于调整高度的调节组件,所述调节组件的表面上端安装有液压缸,且液压缸的下端连接有吸附盘,所述吸附盘的内侧设置有连接垫圈,用于测量多个样品的所述吸附组件设置于连接垫圈的内侧,且吸附组件包括旋转轴、转动环、支撑杆、连接板和扦插槽,所述旋转轴的外部设置有转动环,且转动环的外部环形连接有支撑杆,所述支撑杆的端部安装有连接板,且连接板的表面开设有扦插槽。
3、进一步地,所述调节组件包括支撑柱和连接凹槽,所述支撑柱的内侧开设有连接凹槽。
4、进一步地,所述调节组件还包括滑动杆、移动块和横向支撑板,所述连接凹槽的内部安装有滑动杆,且滑动杆的表面滑动连接有移动块,两个所述移动块之间设置有横向支撑板。
5、进一步地,所述测量台的前方设置有刻度标尺,所述测量台的上端左右两侧设置有用于测量稳定的夹持组件。
6、进一步地,所述夹持组件包括稳定杆、安装座和伸缩杆,所述稳定杆的内侧设置有安装座,且安装座的内侧安装有伸缩杆。
7、进一步地,所述夹持组件还包括固定夹和保护垫板,所述伸缩杆的端部安装有固定夹,且固定夹的内表面设置有保护垫板。
8、进一步地,所述测量台的上端中部安装有测量定位台,且测量定位台的竖直中轴线和测量台的横向中轴线相垂直。
9、本实用新型的有益效果:本实用新型的一种样品垂直度测量装置,
10、调节组件通过移动块沿着连接凹槽内的滑动杆自下向上进行移动,在移动的过程中移动块带动横向支撑板沿着滑动杆表面移动,这样能够根据所需要测量样品的长度将设备进行高度上的调整,以此适用于对不同长度的样品测量。
11、吸附组件的设置在工作人员需要对多个样品检测时可通过控制开关促使旋转轴开始转动,旋转轴转动时转动环带动支撑杆也随着转动的方向将连接板由内向外展开,接着在展开后工作人员将所需要测量的样品依次插入扦插槽内部,从而在测量的过程中液压缸促使吸附盘向下调整,在样品接触到测量定位台时停止调整,借此测量时能够依次检测多个样品,节省工作人员的测量时间,提高测量效率。
12、夹持组件的设置在样品接触到测量定位台时通过控制开关促使伸缩杆开始运行,伸缩杆运行时产生的作用力将固定夹由两侧向中间推动,这样推动时固定夹将样品夹持,在夹持后进行测量时工作人员可观察贴合刻度标尺,从而因向下的作用力来测量样品的垂直度,提高测量的精准度。
1.一种样品垂直度测量装置,包括支撑座(1)和吸附组件(10),其特征在于:所述支撑座(1)的上端中部设置有测量台(2),且测量台(2)的左右两侧设置有用于调整高度的调节组件(4),所述调节组件(4)的表面上端安装有液压缸(5),且液压缸(5)的下端连接有吸附盘(6),所述吸附盘(6)的内侧设置有连接垫圈(9),用于测量多个样品的所述吸附组件(10)设置于连接垫圈(9)的内侧,且吸附组件(10)包括旋转轴(1001)、转动环(1002)、支撑杆(1003)、连接板(1004)和扦插槽(1005),所述旋转轴(1001)的外部设置有转动环(1002),且转动环(1002)的外部环形连接有支撑杆(1003),所述支撑杆(1003)的端部安装有连接板(1004),且连接板(1004)的表面开设有扦插槽(1005)。
2.根据权利要求1所述的一种样品垂直度测量装置,其特征在于:所述调节组件(4)包括支撑柱(401)和连接凹槽(402),所述支撑柱(401)的内侧开设有连接凹槽(402)。
3.根据权利要求2所述的一种样品垂直度测量装置,其特征在于:所述调节组件(4)还包括滑动杆(403)、移动块(404)和横向支撑板(405),所述连接凹槽(402)的内部安装有滑动杆(403),且滑动杆(403)的表面滑动连接有移动块(404),两个所述移动块(404)之间设置有横向支撑板(405)。
4.根据权利要求1所述的一种样品垂直度测量装置,其特征在于:所述测量台(2)的前方设置有刻度标尺(3),所述测量台(2)的上端左右两侧设置有用于测量稳定的夹持组件(7)。
5.根据权利要求4所述的一种样品垂直度测量装置,其特征在于:所述夹持组件(7)包括稳定杆(701)、安装座(702)和伸缩杆(703),所述稳定杆(701)的内侧设置有安装座(702),且安装座(702)的内侧安装有伸缩杆(703)。
6.根据权利要求5所述的一种样品垂直度测量装置,其特征在于:所述夹持组件(7)还包括固定夹(704)和保护垫板(705),所述伸缩杆(703)的端部安装有固定夹(704),且固定夹(704)的内表面设置有保护垫板(705)。
7.根据权利要求1所述的一种样品垂直度测量装置,其特征在于:所述测量台(2)的上端中部安装有测量定位台(8),且测量定位台(8)的竖直中轴线和测量台(2)的横向中轴线相垂直。