本发明涉及清洗装置的，尤其涉及一种自动槽式清洗装置。
背景技术：
1、在半导体制造行业中，晶圆框的清洗是确保产品质量和性能的关键环节。
2、传统上，晶圆框的清洗过程主要依赖于人工操作与辅助设备的配合，这一过程中，晶圆框通常通过吊车等大型机械设备被吊起并送入清洗池中，进行清洗操作。
3、然而，这种清洗方式存在问题，首先，传统的清洗池设计往往占地面积较大，这不仅增加了生产车间的空间需求，还限制了生产线的灵活性和可扩展性，其次，由于清洗池体积庞大，导致清洗液更换频率不频繁，长时间使用后，清洗液中的杂质和污染物逐渐积累，导致清洗效果降低，进而影响晶圆框的洁净度。
技术实现思路
1、本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
2、为此，本发明的目的在于提出一种自动槽式清洗装置，相较于传统清洗池，槽式设计占地面积大幅减少，且更便于在生产线上灵活部署，其中，清洗液的使用与适时更换均通过控制器实现精准管理，确保了清洗过程的稳定性和一致性，进而显著提升了产品的清洗质量，使用效果好。
3、为达到上述目的，本发明提出了一种自动槽式清洗装置，包括机架、控制器、清洗架组件、清洗槽组件、上下料组件和自适应检测组件，其中，所述机架垂直设置在地面，所述机架中端表面开设有工作腔；所述清洗架组件和所述自适应检测组件分别设置在所述工作腔内侧壁，且位置相对应；所述上下料组件和所述清洗槽组件分别设置在所述工作腔内底壁和所述工作腔内顶壁；所述控制器设置在所述机架上端表面，所述控制器采用标准化接电插头无缝对接外部电源，所述控制器通过高效控制总线分别与所述清洗架组件、所述清洗槽组件、所述上下料组件和所述自适应检测组件相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
4、另外，根据申请上述提出的一种自动槽式清洗装置还可以具有如下附加的技术特征：
5、具体地，所述清洗架组件包括升降滑座、清洗框架、电动推杆、丝杆升降机构和双轴电机，其中，所述升降滑座对称垂直滑动连接在所述工作腔内侧壁，所述清洗框架水平滑动连接在所述升降滑座外表面，所述电动推杆固定连接在所述升降滑座外表面，并与所述清洗框架一端固定连接，所述丝杆升降机构对称固定连接在所述机架内壁，并与所述升降滑座位置相对应，所述升降滑座一端贯穿进所述机架内部，并与所述丝杆升降机构相连接，所述双轴电机固定连接在所述机架内壁，并位于两组所述丝杆升降机构之间，所述双轴电机两端分别与两组所述丝杆升降机构相连接，所述控制器通过高效控制总线分别与所述电动推杆和所述双轴电机相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控；所述丝杆升降机构包括固定框、螺纹丝杆、第一锥齿轮和第二锥齿轮，其中，所述固定框固定连接在所述机架内壁，并与所述升降滑座位置相对应，所述螺纹丝杆转动连接在所述固定框内壁，所述升降滑座一端贯穿进所述固定框内部，并螺纹连接在所述螺纹丝杆外表面，所述第一锥齿轮固定连接在所述螺纹丝杆顶部，所述第二锥齿轮转动连接在所述固定框内壁，并与所述第一锥齿轮相互啮合，所述双轴电机输出端通过联轴器与所述第一锥齿轮中心轴一端固定连接；所述清洗槽组件包括清洗槽体、液位传感器、浓度传感器、超音波发生器、水注入组件、清洗液注入组件和废液排出组件，其中，所述清洗槽体对称固定连接在所述工作腔内底壁，并与所述清洗框架位置相对应，所述液位传感器、所述浓度传感器和所述超音波发生器分别固定连接在所述清洗槽体内壁，所述水注入组件、所述清洗液注入组件和所述废液排出组件沿z轴方向由上往下依次设置在所述机架内壁，所述水注入组件一端和所述清洗液注入组件一端分别与所述清洗槽体内腔上端相连通，所述废液排出组件一端与所述清洗槽体内腔底部相连通，所述控制器通过高效控制总线分别与所述液位传感器、所述浓度传感器、所述超音波发生器、所述水注入组件、所述清洗液注入组件和所述废液排出组件相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控；所述水注入组件与所述清洗液注入组件结构相同，所述水注入组件包括两组进液主管道、进液电磁阀、流量检测仪、两组分液端座和储液箱，其中，两组所述分液端座、两组所述进液主管道和所述储液箱分别设置在所述机架内壁，所述进液电磁阀和所述流量检测仪分别固定连接在两组所述进液主管道上，两组所述进液主管道的输出端分别与两组所述分液端座的输入端相连接，两组所述进液主管道的输入端分别与所述储液箱的输出端相连接，两组所述分液端座的输出端分别与两组所述清洗槽体内腔上端相连通；所述废液排出组件包括两组排液主管道、排液电磁阀和废液储存箱，其中，两组所述排液主管道和所述废液储存箱分别设置在所述机架内壁，两组所述排液主管道的输入端分别与两组所述清洗槽体内腔底部相连通，两组所述排液主管道的输出端分别与所述废液储存箱内部相连通，所述排液电磁阀分别固定连接在两组所述排液主管道上；所述控制器通过高效控制总线分别与所述进液电磁阀、所述流量检测仪和所述排液电磁阀相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控；所述上下料组件包括安装架、丝杆平移机构、水平滑座、电动伸缩杆、负压吸座、下料输送机构和上料输送机构，其中，所述安装架固定连接在所述工作腔内顶壁，所述丝杆平移机构设置在所述安装架内部，所述水平滑座水平滑动连接在所述安装架底部，所述水平滑座一端贯穿进所述安装架内部，并与所述丝杆平移机构相连接，所述电动伸缩杆固定连接在所述水平滑座底部，所述负压吸座滑动连接在所述水平滑座底部，并与所述电动伸缩杆输出端固定连接，所述负压吸座内置有微型真空泵，所述下料输送机构和所述上料输送机构分别设置在地面，并位于所述机架外侧，所述下料输送机构与所述上料输送机构输送速率一致，所述控制器通过高效控制总线分别与所述丝杆平移机构、所述电动伸缩杆、所述负压吸座内置的微型真空泵、所述下料输送机构和所述上料输送机构相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控；所述自适应检测组件包括侧板架、万向调节座、光学传感器和振动传感器，其中，所述侧板架螺栓紧固在所述工作腔内侧壁，所述万向调节座对称固定连接在所述侧板架表面，并与所述清洗框架位置相对应，所述光学传感器固定连接在所述万向调节座上，所述振动传感器分别固定连接在两组所述清洗框架上，所述控制器通过高效控制总线分别与所述光学传感器和所述振动传感器相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
6、具体地，所述清洗架组件还包括两组电动压板组件，两组所述电动压板组件分别设置在两组所述清洗框架表面，并错位设置，所述电动压板组件包括第一固定座、第二固定座、压板架、弹性键轴、固定键轴、第一转动键筒、第二转动键筒和驱动电机，其中，所述第一固定座和所述第二固定座分别固定连接在所述清洗框架表面，且位置相对应，所述压板架设置在所述第一固定座与所述第二固定座之间，所述压板架一端表面与所述第一固定座表面位置相对应处分别设置有所述弹性键轴和所述第一转动键筒，所述弹性键轴一端位于所述第一转动键筒内部，并与所述第一转动键筒内壁滑动连接，所述压板架另一端表面与所述第二固定座表面位置相对应处分别设置有所述固定键轴和所述第二转动键筒，所述固定键轴一端位于所述第二转动键筒内部，并与所述第二转动键筒内壁滑动连接，所述驱动电机固定连接在所述第二固定座内壁，所述驱动电机输出端与所述第二转动键筒一端表面固定连接，所述控制器通过高效控制总线与所述驱动电机相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
7、具体地，所述清洗架组件还包括差速器，所述差速器固定连接在所述机架内壁，并位于所述双轴电机与其中一组所述丝杆升降机构之间，所述双轴电机输出端通过所述差速器与其中一组所述丝杆升降机构相连接。
8、具体地，所述清洗架组件还包括两组红外测距仪，两组所述红外测距仪用于分别检测晶圆框中的框体和盖板的放置状态，两组所述红外测距仪分别固定连接在所述工作腔内顶壁，并朝向所述清洗框架，所述控制器通过高效控制总线分别与两组所述红外测距仪相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
9、具体地，所述废液排出组件还包括快速排水机构，所述快速排水机构包括锥形排水底座和负压泵，其中，所述锥形排水底座固定连接在所述清洗槽体底部，并与所述清洗槽体内部相连通，所述负压泵固定连接在所述机架内壁，所述负压泵的输入端与所述锥形排水底座的输出端相连接，所述负压泵的输出端与所述排液主管道的输入端相连接，所述控制器通过高效控制总线与所述负压泵相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
10、具体地，所述废液排出组件还包括水循环利用机构，所述水循环利用机构包括循环箱、第一循环泵、过滤、净化和再生模块、第二循环泵、下液管、上液管和上液电磁阀，其中，所述循环箱固定连接在所述机架内壁，所述循环箱内部设置有隔板，并以隔板为界限将所述循环箱内部依次分隔成第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，所述第一循环泵、所述过滤、净化和再生模块和所述第二循环泵分别固定连接在所述第一腔室、所述第三腔室和所述第四腔室内壁，所述下液管一端贯穿进所述第四腔室内部，并与所述第二循环泵的输入端相连接，所述下液管另一端贯穿进所述废液储存箱内部，并与所述废液储存箱内部相连通，所述第二循环泵的输出端与所述第三腔室内部相连通，所述第三腔室与所述第二腔室内部相连通，所述第一循环泵的输入端与所述第二腔室内部相连通，所述上液管一端与所述第一循环泵的输出端相连接，所述上液管另一端贯穿进所述水注入组件中的所述储液箱内部，并与所述储液箱内部相连通，所述上液电磁阀固定连接在所述上液管表面，所述控制器通过高效控制总线分别与所述第一循环泵、所述第二循环泵和所述上液电磁阀相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
11、具体地，所述水循环利用机构还包括水质检测装置，所述水质检测装置包括水质监测器、回流管和回流电磁阀，其中，所述水质监测器固定连接在所述第二腔室内壁，所述回流管一端与所述第二腔室内部相连通，所述回流管另一端与所述废液储存箱内部相连通，所述回流电磁阀固定连接在所述回流管上，所述控制器通过高效控制总线分别与所述水质监测器和所述回流电磁阀相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
12、具体地，所述上料输送机构还包括晶圆框检测机构，所述晶圆框检测机构包括立架、第一超声波传感器和第二超声波传感器，其中，所述立架固定连接在所述上料输送机构顶部，并与所述工作腔位置相对应，所述第一超声波传感器和所述第二超声波传感器分别固定连接在所述立架表面，并沿z轴方向上下设置，所述第一超声波传感器高度与晶圆框中的框体高度相适配，所述第二超声波传感器高度与晶圆框中的盖板高度相适配，所述控制器通过高效控制总线分别与所述第一超声波传感器和第二超声波传感器相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
13、本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
14、与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
15、1、本发明结构合理，本发明设置了机架、工作腔和清洗槽体，相较于传统清洗池，槽式设计占地面积大幅减少，且更便于在生产线上灵活部署，使用效果好；
16、2、本发明设置了控制器、水注入组件、清洗液注入组件和废液排出组件，清洗混合液的使用与适时更换均通过控制器实现精准管理，确保了清洗过程的稳定性和一致性，进而显著提升了产品的清洗质量，达到了高效且优质的清洗效果，满足了现代生产对清洁度与效率的高标准要求；
17、3、本发明设置了清洗架组件，清洗架组件不仅可以带动晶圆框进入清洗槽体内部进行清洗操作，还可以带动晶圆框在清洗槽体内部按设定速度和设定次数进行上下左右移动，与吊车吊装位置固定相比，通过移动其位置可进一步提高晶圆框的清洗质量；
18、4、本发明设置了电动压板组件，电动压板组件可对清洗架组件上的晶圆框进行固定，有效提升晶圆框在清洗过程中的稳定性和安全性，使用效果好；
19、5、本发明设置了差速器，差速器通过精确调控双轴电机的传动比例，确保两组清洗框架能够以相对适应的移速独立下降，精准地定位于清洗槽体内的不同深度位置，这一设计不仅提升了设备对框体和盖板的适配性，还显著增强了清洗作业的灵活性与效果，实现了高效且精细的清洁过程；
20、6、本发明设置了两组红外测距仪，两组红外测距仪用于分别对晶圆框中的框体和盖板的放置状态进行检测，当红外测距仪检测到框体时，可控制水注入组件和清洗液注入组件运行，先向左侧的清洗槽体内部注入液体，当红外测距仪检测到盖板时，可控制水注入组件和清洗液注入组件运行，后向右侧的清洗槽体内部注入液体，因右侧的清洗槽体内部空间小于左侧的清洗槽体内部空间，因此先向左侧的清洗槽体内部注入液体，可有效缩短注液时间，提高注液效率，使用效果好；
21、7、本发明设置了快速排水机构，快速排水机构利用重力加速和负压抽吸技术，在清洗完成后可迅速将清洗槽体内的清理混合液排出，减少排水时间，提高清洗效率；
22、8、本发明设置了水循环利用机构，水循环利用机构可对排出的清理混合液进行过滤、净化和再生处理，实现水资源的循环利用，增强设备的经济性和可持续性；
23、9、本发明设置了水质检测装置，水质检测装置用于实时对处理后的水进行水质监测，确保处理后的水符合使用要求，确保与清洗液混合后形成的清洗混合液处于最佳状态，对于不符合使用要求的水将重新输送至废液储存箱内部，重新进行水处理，保证处理后的水完全符合使用要求，使用效果好；
24、10、本发明设置了上下料组件，上下料组件能够自动且精准地将晶圆框的框体与盖板分别放置于两组清洗框架之上，实现了晶圆框的全自动上下料流程，这一设计不仅极大地提升了工作效率，有效替代了传统的人工操作模式，还显著降低了人工操作的复杂性与出错率，确保了生产过程的流畅性与准确性，从而达到了更为卓越的使用效果；
25、11、本发明设置了自适应检测组件，其中，自适应检测组件中的光学传感器采用高分辨率成像技术，能够捕捉到晶圆框表面的污渍或残留物，并提供详尽的表面形貌信息，通过连续拍摄或扫描晶圆表面，光学传感器能够实时监测污渍的分布情况，控制器根据光学传感器提供的信息对晶圆框表面的污渍进行等级划分，并按照污渍等级自动调控水与清洗液的配比，确保清洗混合液在最佳状态下使用，使其能够更好的去除晶圆框表面的污渍，提高清洗效果，自适应检测组件中的振动传感器专门用于监测超音波清洗过程中晶圆框的振动情况，确保超音波能量均匀、稳定地作用于晶圆框表面，通过检测晶圆框与清洗混合液之间的共振频率，及时调整超音波频率，以达到最佳的清洗效果，通过光学传感器对清洗后晶圆框表面再次检测，可起到清洗质量检测的作用，若光学传感器没有检测到污渍，则清洗质量合格，通过上下料组件取下晶圆框，若光学传感器检测到明显污渍，则清洗质量不合格，需重新进行清洗操作，使用效果好；
26、12、本发明设置了晶圆框检测机构，晶圆框检测机构中的第一超声波传感器高度和第二超声波传感器高度分别对应晶圆框中的框体高度和盖板高度，以此对框体和盖板的先后顺序进行检测，通过第一超声波传感器和第二超声波传感器相互配合，还可用于检测当前上料位置是否存在物料，以此来对上料情况进行判断，使用效果好。
1.一种自动槽式清洗装置，其特征在于，包括机架（1）、控制器（2）、清洗架组件（3）、清洗槽组件（4）、上下料组件（5）和自适应检测组件（6），其中，
2.根据权利要求1所述的自动槽式清洗装置，其特征在于，所述清洗架组件（3）包括升降滑座（31）、清洗框架（32）、电动推杆（34）、丝杆升降机构（35）和双轴电机（36），其中，所述升降滑座（31）对称垂直滑动连接在所述工作腔（11）内侧壁，所述清洗框架（32）水平滑动连接在所述升降滑座（31）外表面，所述电动推杆（34）固定连接在所述升降滑座（31）外表面，并与所述清洗框架（32）一端固定连接，所述丝杆升降机构（35）对称固定连接在所述机架（1）内壁，并与所述升降滑座（31）位置相对应，所述升降滑座（31）一端贯穿进所述机架（1）内部，并与所述丝杆升降机构（35）相连接，所述双轴电机（36）固定连接在所述机架（1）内壁，并位于两组所述丝杆升降机构（35）之间，所述双轴电机（36）两端分别与两组所述丝杆升降机构（35）相连接，所述控制器（2）通过高效控制总线分别与所述电动推杆（34）和所述双轴电机（36）相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控；
3.根据权利要求2所述的自动槽式清洗装置，其特征在于，所述清洗架组件（3）还包括两组电动压板组件（33），两组所述电动压板组件（33）分别设置在两组所述清洗框架（32）表面，并错位设置，所述电动压板组件（33）包括第一固定座（331）、第二固定座（332）、压板架（333）、弹性键轴（334）、固定键轴（335）、第一转动键筒（336）、第二转动键筒（337）和驱动电机（338），其中，所述第一固定座（331）和所述第二固定座（332）分别固定连接在所述清洗框架（32）表面，且位置相对应，所述压板架（333）设置在所述第一固定座（331）与所述第二固定座（332）之间，所述压板架（333）一端表面与所述第一固定座（331）表面位置相对应处分别设置有所述弹性键轴（334）和所述第一转动键筒（336），所述弹性键轴（334）一端位于所述第一转动键筒（336）内部，并与所述第一转动键筒（336）内壁滑动连接，所述压板架（333）另一端表面与所述第二固定座（332）表面位置相对应处分别设置有所述固定键轴（335）和所述第二转动键筒（337），所述固定键轴（335）一端位于所述第二转动键筒（337）内部，并与所述第二转动键筒（337）内壁滑动连接，所述驱动电机（338）固定连接在所述第二固定座（332）内壁，所述驱动电机（338）输出端与所述第二转动键筒（337）一端表面固定连接，所述控制器（2）通过高效控制总线与所述驱动电机（338）相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
4.根据权利要求2所述的自动槽式清洗装置，其特征在于，所述清洗架组件（3）还包括差速器（37），所述差速器（37）固定连接在所述机架（1）内壁，并位于所述双轴电机（36）与其中一组所述丝杆升降机构（35）之间，所述双轴电机（36）输出端通过所述差速器（37）与其中一组所述丝杆升降机构（35）相连接。
5.根据权利要求2所述的自动槽式清洗装置，其特征在于，所述清洗架组件（3）还包括两组红外测距仪（10），两组所述红外测距仪（10）用于分别检测晶圆框中的框体和盖板的放置状态，两组所述红外测距仪（10）分别固定连接在所述工作腔（11）内顶壁，并朝向所述清洗框架（32），所述控制器（2）通过高效控制总线分别与两组所述红外测距仪（10）相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
6.根据权利要求2所述的自动槽式清洗装置，其特征在于，所述废液排出组件（47）还包括快速排水机构（48），所述快速排水机构（48）包括锥形排水底座（481）和负压泵（482），其中，所述锥形排水底座（481）固定连接在所述清洗槽体（41）底部，并与所述清洗槽体（41）内部相连通，所述负压泵（482）固定连接在所述机架（1）内壁，所述负压泵（482）的输入端与所述锥形排水底座（481）的输出端相连接，所述负压泵（482）的输出端与所述排液主管道（471）的输入端相连接，所述控制器（2）通过高效控制总线与所述负压泵（482）相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
7.根据权利要求2所述的自动槽式清洗装置，其特征在于，所述废液排出组件（47）还包括水循环利用机构（49），所述水循环利用机构（49）包括循环箱（491）、第一循环泵（496）、过滤、净化和再生模块（497）、第二循环泵（498）、下液管（499）、上液管（4910）和上液电磁阀（4911），其中，所述循环箱（491）固定连接在所述机架（1）内壁，所述循环箱（491）内部设置有隔板，并以隔板为界限将所述循环箱（491）内部依次分隔成第一腔室（492）、第二腔室（493）、第三腔室（494）和第四腔室（495），所述第一循环泵（496）、所述过滤、净化和再生模块（497）和所述第二循环泵（498）分别固定连接在所述第一腔室（492）、所述第三腔室（494）和所述第四腔室（495）内壁，所述下液管（499）一端贯穿进所述第四腔室（495）内部，并与所述第二循环泵（498）的输入端相连接，所述下液管（499）另一端贯穿进所述废液储存箱（473）内部，并与所述废液储存箱（473）内部相连通，所述第二循环泵（498）的输出端与所述第三腔室（494）内部相连通，所述第三腔室（494）与所述第二腔室（493）内部相连通，所述第一循环泵（496）的输入端与所述第二腔室（493）内部相连通，所述上液管（4910）一端与所述第一循环泵（496）的输出端相连接，所述上液管（4910）另一端贯穿进所述水注入组件（45）中的所述储液箱（455）内部，并与所述储液箱（455）内部相连通，所述上液电磁阀（4911）固定连接在所述上液管（4910）表面，所述控制器（2）通过高效控制总线分别与所述第一循环泵（496）、所述第二循环泵（498）和所述上液电磁阀（4911）相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
8.根据权利要求7所述的自动槽式清洗装置，其特征在于，所述水循环利用机构（49）还包括水质检测装置（4912），所述水质检测装置（4912）包括水质监测器（49121）、回流管（49122）和回流电磁阀（49123），其中，所述水质监测器（49121）固定连接在所述第二腔室（493）内壁，所述回流管（49122）一端与所述第二腔室（493）内部相连通，所述回流管（49122）另一端与所述废液储存箱（473）内部相连通，所述回流电磁阀（49123）固定连接在所述回流管（49122）上，所述控制器（2）通过高效控制总线分别与所述水质监测器（49121）和所述回流电磁阀（49123）相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
9.根据权利要求2所述的自动槽式清洗装置，其特征在于，所述上料输送机构（57）还包括晶圆框检测机构（100），所述晶圆框检测机构（100）包括立架（101）、第一超声波传感器（102）和第二超声波传感器（103），其中，所述立架（101）固定连接在所述上料输送机构（57）顶部，并与所述工作腔（11）位置相对应，所述第一超声波传感器（102）和所述第二超声波传感器（103）分别固定连接在所述立架（101）表面，并沿z轴方向上下设置，所述第一超声波传感器（102）高度与晶圆框中的框体高度相适配，所述第二超声波传感器（103）高度与晶圆框中的盖板高度相适配，所述控制器（2）通过高效控制总线分别与所述第一超声波传感器（102）和第二超声波传感器（103）相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
