本技术为半导体设备的有关，尤指用于整合在一晶圆装卸机(loadport)之中的一种晶圆映射机构。
背景技术：
1、熟悉半导体集成电路制造的工程师必然知道，晶圆代工厂(dedicated icfoundry)将半导体制程分为四个主要制造程序：蚀刻(etch)、黄光(photo)、扩散(diffusion)、以及薄膜(thin film)。换句话说，在一晶圆(wafer)上制造多个集成电路(integrated circuit,ic)芯片的过程中，这四个制造程序会被重复地执行，直至包含多个主动组件(即，晶体管)以及多个被动组件的一电子线路被实现在每一个ic芯片之中。
2、为了利于将一批次(1lot)晶圆自一制造站移动至另一制造站，晶圆代工厂通常会将一批次晶圆容置在一晶圆载盒(业界惯称晶舟盒)之中。此外，考虑到晶圆移入/移出该晶圆载具的安全性及自动化，晶圆代工厂进一步购置一晶圆装卸机(load port)与一基板搬送装置(即，机械手臂)用以将晶圆移入/移出所述晶圆载具。举例而言，中国专利公开号cn1505128a揭示一晶圆装卸机，其具有一晶圆映像装置用以确认前开盖式晶圆载盒(frontopening unified pod,foup)之中是否存在至少一晶圆。可惜的是，前述习知的晶圆映像装置只能够用于确认300mm的晶圆。
3、另一方面，中国台湾专利号i661496b揭示一装载埠，其同样具有一晶圆映像装置用以确认一晶圆载盒之中是否存在至少一200mm、300mm或450mm的晶圆。然而，实务经验显示，中国台湾专利号i661496b所揭示的晶圆映像装置在实际操作中显示出以下主要缺点：在该晶圆映像装置运行过程中，若该晶圆载盒内存在至少一个向外突出的晶圆，该晶圆映像装置的至少一个传感器可能与所述向外突出的晶圆发生干涉。
4、综上所述，习知的晶圆映像装置存在明显缺陷有待改善。有鉴于此，本实用新型创作人极力加以研究，而终于研发完成本实用新型一种晶圆映射机构及包含该晶圆映射的一种晶圆装卸机。
技术实现思路
1、本实用新型创作主要目的在于提供一种晶圆映射机构，其用于整合在一晶圆装卸机(load port)之中，且主要包括：一第一直线驱动模块、一第二直线驱动模块、一支架、以及设置在该支架上的多个传感器其中。其中，该第一直线驱动模块运转以带动该支架沿着一垂直方向进行向上移动或向下，且该第二直线驱动模块运转以带动该支架沿着一水平方向进行向前移动或向后移动，借此方式对容置于一晶圆载盒内的至少一晶圆进行一映像信息收集。
2、此外，该晶圆装卸机的一晶圆进/出窗口的上缘及/或下缘装设有一突出传感器，且该突出传感器用于侦测是否有晶圆突出；若是，则通报控制装置停止该晶圆映像机构的运行，避免突出的晶圆与该晶圆映射机构的支架相互干涉而受损。
3、为达成上述目的，本实用新型创作提出所述晶圆映射机构的一实施例，其包括：
4、一第一安装板；
5、一第一直线驱动模块，连接至该第一安装板的一第一表面；
6、一第二直线驱动模块，连接至该第一安装板的一第二表面，其中该第二表面与该第一表面彼此相对；
7、一支架，连接该第二直线驱动模块；
8、一第一发射器，安装在该支架之上；
9、一第一接收器，安装在该支架之上，且与该第一发射器之间具有一第一间距；
10、一第二发射器，安装在该支架之上；以及
11、一第二接收器，安装在该支架之上，且与该第二发射器之间具有一第二间距；
12、其中，该第一直线驱动模块运转以带动该第一安装板、该第二直线驱动模块与该支架沿着一第一方向进行顺向移动或反向移动；
13、其中，该第二直线驱动模块运转以带动该支架沿着一第二方向进行顺向移动或反向移动，且该第二方向与该第一方向正交。
14、在一实施例中，该第一方向为垂直方向，且该第二方向为水平方向。
15、在一实施例中，该第二间距小于该第一间距，且该第二发射器和该第二接收器皆介于该第一发射器与该第一接收器之间。
16、在一实施例中，该第一直线驱动模块包括：
17、一基板；
18、一第一滑轨，设置在该基板之上；
19、至少一第一滑块，可滑动地设置在该第一滑轨之上；
20、一第一连接块，设置在该至少一第一滑块之上，且以其侧面连接至该第一安装板的该第一表面；以及
21、一第一动力单元，连接该第一连接块的顶面；
22、其中，该第一动力单元运转以带动该第一连接块沿着所述第一方向进行顺向移动或反向移动，使得所述第一滑块同步地沿着所述第一方向在该第一滑轨之上正向滑动或反向滑动。
23、在一实施例中，该第一动力单元包括：
24、一第一轴承座，设置在该基板之上；
25、一第二轴承座，设置在该基板之上，且与该第一轴承座之间具有一第三间距；
26、一螺杆，具有一第一端与一第二端，且该第一端连接该第一轴承座；
27、一联轴器；
28、一伺服马达，其中，该伺服马达的一主轴通过该联轴器动力耦接该螺杆的该第二端；
29、一第二滑块，套设在该螺杆之上；以及
30、一第一连接板，连接至该第二滑块的顶面，且同时连接该第一连接块的顶面；
31、其中，该伺服马达运转以带动该螺杆正向转动或反向转动，使得该第二滑块带动该第一连接板与该第一连接块沿着所述第一方向在该螺杆之上正向滑动或反向滑动，使得所述第一滑块同步地沿着所述第一方向在该第一滑轨之上正向滑动或反向滑动。
32、在一实施例中，该第二直线驱动模块包括：
33、一第二滑轨，设置在该第一安装板的该第二表面之上；
34、一第三滑块，可滑动地设置在该第二滑轨之上；
35、一第二连接块，设置在该第一安装板的该第二表面之上；
36、一第三连接块，以其一端面连接至该支架，且以其一侧面连接至该第三滑块的顶面；
37、一垂直限位槽，形成于该第三连接块之上；以及
38、一第二动力单元，连接该第二连接块的顶面，且具有一杆件可滑动地位于该垂直限位槽内；
39、其中，该第二动力单元运转以带动该杆件在该垂直限位槽内沿着所述第一方向进行顺向移动或反向移动，从而带动该第三连接块与该第三滑块沿着所述第二方向进行顺向移动或反向移动，使得该支架由该第三连接块所带动从而沿着第二方向进行顺向移动或反向移动。
40、在一实施例中，该第二动力单元包括：
41、一旋转气缸，连接至该第二连接块；
42、一第四连接块，其中，该旋转气缸的一主轴连接至该第四连接块；以及
43、所述杆件，具有一第一端与一第二端，该第一端
44、其中，该旋转气缸运转以带动该第四连接块正向或反向旋动一角度，使得该杆件于该垂直限位槽内沿着所述第一方向进行顺向移动或反向移动。
45、在一实施例中，该支架包括：
46、一第一横杆；
47、一第一纵杆，以其一端连接至该第一横杆的一端；
48、一第二横杆，以其一端连接至该第一纵杆的另一端；
49、一第二纵杆，以其一端连接至该第二横杆的另一端；
50、一第三纵杆，以其一端连接至该第一横杆的另一端；
51、一第三横杆，以其一端连接至该第三纵杆的另一端；
52、一第四纵杆，以其一端连接至该第三横杆的另一端，且与该第二纵杆之间具有一间距；以及
53、一第二安装板，连接于该第二纵杆与该第四纵杆之间，使得该第三连接块的端面连接至该第二安装板。
54、在一实施例中，该第一发射器、该第一接收器、该第二发射器、与该第二接收器设置在该第一横杆之上。
55、并且，本实用新型创作同时提出一种晶圆装卸机的一实施例，其中，具有如前所述本实用新型的晶圆映射机构。
1.一种晶圆映射机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆映射机构，其特征在于，该第一方向为垂直方向，且该第二方向为水平方向。
3.根据权利要求1所述的晶圆映射机构，其特征在于，该第二间距小于该第一间距，且该第二发射器和该第二接收器皆介于该第一发射器与该第一接收器之间。
4.根据权利要求1所述的晶圆映射机构，其特征在于，该第一直线驱动模块包括：
5.根据权利要求4所述的晶圆映射机构，其特征在于，该第一动力单元包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆映射机构，其特征在于，该第二直线驱动模块包括：
7.根据权利要求6所述的晶圆映射机构，其特征在于，该第二动力单元包括：
8.根据权利要求6所述的晶圆映射机构，其特征在于，该支架包括：
9.根据权利要求8所述的晶圆映射机构，其特征在于，该第一发射器、该第一接收器、该第二发射器、与该第二接收器设置在该第一横杆之上。
10.一种晶圆装卸机，其特征在于，具有如权利要求1至8之中任一项所述的晶圆映射机构。
