本技术涉及成像分析机构,具体为一种芯片表面扫描夹持机构。
背景技术:
1、芯片表面扫描成像分析机构主要是用于对芯片表面进行扫描和分析的机构,这些机构通常使用高分辨率和高灵敏度的仪器,例如扫描电子显微镜(sem)或原子力显微镜(afm),来观察芯片表面的细节,通过对芯片表面进行扫描,可以获取微观级别的图像数据,并利用图像处理和分析技术进行进一步的研究和评估。现有的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜(公告号:cn214441735u)在使用中至少暴露出以下缺陷:
2、在使用电子显微镜扫描芯片制造的过程中的晶圆表面时,需要将晶圆固定起来,固定晶圆可以减少因晶圆移动或振动而导致的图像模糊问题,稳定的晶圆位置可以获得更清晰和更准确的图像,因此提出一种芯片表面扫描夹持机构。
技术实现思路
1、本实用新型的主要目的在于提供一种芯片表面扫描夹持机构,可以有效解决背景技术中的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
3、一种芯片表面扫描夹持机构,包括固定座,所述固定座的内部设置有夹持组件,所述夹持组件包括滑杆,所述滑杆和固定座的中间内部滑动连接,所述滑杆的中间固定安装有固定盘,所述滑杆的底部中间转动安装有转动齿,所述转动齿的顶部固定安装有转动轴,所述转动轴的顶部固定安装有放置盘,所述固定盘的顶部环绕安装有底座,所述底座的内部滑动安装有滑动夹头,所述滑动夹头的顶部边缘固定安装有联动柱。
4、优选的,所述放置盘设置在固定盘的顶部,所述联动柱和放置盘的内部滑动连接。
5、优选的,所述固定座的内部设置有传动组件,所述传动组件包括固定片。
6、优选的,所述固定片和固定座底部第一侧的第一端固定连接,所述固定片的顶部固定安装有电机,所述电机的顶部输出端固定安装有转动杆。
7、优选的,所述转动杆的顶部固定安装有传动齿,所述传动齿和滑杆相啮合。
8、优选的,所述固定座内部第二侧的第二侧开设有齿头,所述齿头和转动齿相啮合。
9、与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
10、本实用新型通过将晶圆放置到放置盘的表面,滑动滑杆,滑杆会向固定座的内部滑动,滑杆底部中间转动安装的转动齿和齿头相啮合,以此带动转动齿转动,在来带动转动轴和放置盘进行转动,放置盘和联动柱滑动连接,会带动联动柱在放置盘的内部滑动,在滑动时,联动柱会带动滑动夹头在底座的顶部滑动,让滑动夹头向放置盘的内部收缩,以此夹持晶圆,将晶圆固定在放置盘的顶部。
1.一种芯片表面扫描夹持机构,包括固定座(1),其特征在于:所述固定座(1)的内部设置有夹持组件(2),所述夹持组件(2)包括滑杆(201),所述滑杆(201)和固定座(1)的中间内部滑动连接,所述滑杆(201)的中间固定安装有固定盘(203),所述滑杆(201)的底部中间转动安装有转动齿(202),所述转动齿(202)的顶部固定安装有转动轴(207),所述转动轴(207)的顶部固定安装有放置盘(208),所述固定盘(203)的顶部环绕安装有底座(204),所述底座(204)的内部滑动安装有滑动夹头(205),所述滑动夹头(205)的顶部边缘固定安装有联动柱(206)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片表面扫描夹持机构,其特征在于:所述放置盘(208)设置在固定盘(203)的顶部,所述联动柱(206)和放置盘(208)的内部滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种芯片表面扫描夹持机构,其特征在于:所述固定座(1)的内部设置有传动组件(3),所述传动组件(3)包括固定片(301)。
4.根据权利要求3所述的一种芯片表面扫描夹持机构,其特征在于:所述固定片(301)和固定座(1)底部第一侧的第一端固定连接,所述固定片(301)的顶部固定安装有电机(302),所述电机(302)的顶部输出端固定安装有转动杆(303)。
5.根据权利要求4所述的一种芯片表面扫描夹持机构,其特征在于:所述转动杆(303)的顶部固定安装有传动齿(304),所述传动齿(304)和滑杆(201)相啮合。
6.根据权利要求5所述的一种芯片表面扫描夹持机构,其特征在于:所述固定座(1)内部第二侧的第二侧开设有齿头(305),所述齿头(305)和转动齿(202)相啮合。
