本发明涉及晶圆测试，尤其涉及一种晶圆测试装置及测试方法。
背景技术：
1、晶圆是半导体行业中的一个核心概念，尤其在集成电路的制造过程中扮演着至关重要的角色。晶圆主要指的是用于制作硅基半导体器件的硅晶片，因为它们通常是圆形的，所以被称为“晶圆”，在晶圆的生产中，为了保证晶圆的使用稳定性与使用品质，则会需要对晶圆进行检测测试。
2、目前主要通过带有探针的检测板完成晶圆的检测工作，测试时，将检测板上的探针与晶圆的测试点直接接触，以完成测试工作；而由于晶圆的生产数量庞大，检测板与探针平凡的工作会容易导致严重的发热与磨损，从而影响检测板与探针的使用寿命。
技术实现思路
1、本发明的目的是为了解决现有技术中，检测板与探针在平凡的工作下容易导致发热与磨损的问题，而提出的一种晶圆测试装置及测试方法。
2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
3、一种晶圆测试装置，包括支架，还包括：底部开口的外罩，固定连接在所述支架上，其中，所述外罩的内顶部固定安装有升降设备，所述升降设备的伸缩端固定安装有柱形内罩，所述内罩的开口朝下设置；圆周分布在所述内罩内的多个检测板，其中，所述检测板上安装有探针，其中一个所述检测板的探针朝下设置，所述内罩上设有驱动多个探针围绕内罩轴线公转的调节部，当所述内罩向上移动至极限位置时，多个所述检测板同步围绕内罩的轴线转动固定角度。
4、为了防止同一组检测板与探针重复使用而出现发热与磨损，优选地，所述调节部包括转动连接在内罩内壁的转轴，所述转轴上固定安装有转盘，多个所述检测板安装在转盘的圆周外壁上，其中，所述转轴的一端固定安装有蜗轮，所述内罩的外壁转动安装有与蜗轮啮合连接的蜗杆，所述外罩的内壁设有驱动蜗杆转动的联动部。
5、为了自动调换检测板与探针，进一步地，所述联动部包括固定安装在外罩内壁的齿条，所述蜗杆的轴端通过单向轴承安装有从动齿轮，当所述内罩向上移动至极限位置时，所述从动齿轮与齿条啮合。
6、为了可以使检测板与探针得到散热与清理，进一步地，所述内罩的上端两侧分别固定连接有吹气罩与排风管，所述吹气罩与排风管均与内罩相连通，且所述吹气罩的排气端与排风管的输入端均朝向内罩顶部的检测板。
7、为了自动使吹气罩对内置吹气，更进一步地，所述内罩的顶部与外罩的内顶部之间安装有伸缩气囊，所述伸缩气囊上固定连接有与其连通的吸气管与排气管，所述吸气管与排气管内均固定安装有单向阀，所述排气管的排气端延伸至吹气罩内。
8、为了可以使探针更加稳固的完成测试工作，更进一步地，所述转盘的外壁设有滑孔，所述滑孔内滑动连接有滑柱，所述检测板固定安装在滑柱上，所述滑柱与滑孔的内壁之间通过第一弹簧弹性连接。
9、为了提升探针与检测板的散热效果，更进一步地，所述外罩的设有多个等间距设置的条形槽，所述排风管的末端贴合在外罩的内壁上，当所述内罩上下移动时，所述排风管会依次滑过多个条形槽，所述检测板上固定连接有三角块，所述三角块的两个斜面分别朝向排风管与吹气罩。
10、为了便于完成晶圆的上下料工作，更进一步地，所述支架上固定安装有输送带，所述输送带上固定连接有盖板，所述盖板与输送带的侧板以及皮带之间形成通槽，所述输送带的两侧分别固定连接有吸风管与吸气罩，其中，所述吸风管与吸气罩均与通槽相连通，所述吸气管的末端延伸至吸气罩内，且所述吸气罩与吸风管内均固定安装有滤芯。
11、为了可以清理即将需要测试的晶圆，更进一步地，所述盖板的上端两侧均设有安装槽，两个所述安装槽内均纵向滑动安装有竖板，两个所述竖板的上端固定连接有压板，所述压板与盖板之间安装有第二弹簧，当所述内罩向下移动至极限位置时，两个所述竖板会分别封堵通槽的两个端口。
12、一种晶圆测试方法操作步骤如下：
13、步骤一：将需要测试的晶圆置于内罩的下方；
14、步骤二：使朝内罩向下移动，直至朝下设置的探针抵到下方的晶圆上；
15、步骤三：测试完成后，使内罩向上移动，并更换晶圆；
16、步骤四：内罩向上移动至极限位置时，更换另一组探针，并使其朝下设置；
17、步骤五：重复步骤二至步骤四，完成所有晶圆的测试工作。
18、与现有技术相比，本发明提供了一种晶圆测试装置，具备以下有益效果：
19、1、该晶圆测试装置，通过升降设备带动内罩向上移动复位转盘则会将另一组检测板与探针朝下设置，即可自动更换探针与检测板，防止同一组检测板与探针重复使用而出现明显发热与磨损，一方面可以提升检测板与探针的使用寿命，另一方面又能提升测试精度。
20、2、该晶圆测试装置，通过内罩挤压伸缩气囊，吹气罩则会将气流吹向排风管，从而可以对内顶部的检测板与探针进行散热，以及吹落探针上可能粘附的浮尘以及摩擦产生的碎屑，一方面提升检测板与探针的运行稳定性，另一方面，又能减少浮尘对测试的影响。
21、3、该晶圆测试装置，通过吸气管对吸气罩吸气，吸气罩会对盖板下端的通槽吸气，通槽则会通过两端的开口吸气，经过通槽的气流可以带走晶圆上可能残留的浮尘，防止浮尘对测试的影响，并且还能对晶圆进行散热，防止存留的余热影响测试精度。
22、4、该晶圆测试装置，通过内罩顶压压板，两个竖板抵在输送带的皮带上，从而自动封堵通槽的两侧，于是在吸气罩吸气时，可以使气流更加全面的流过晶圆的表面，以提升对晶圆清理以及散热的效果。
23、5、该晶圆测试装置，通过内罩带动排风管依次扫过多个条形槽，内罩内忽大忽小的风速会使检测板与探针上下抖动，从而可以提升清理检测板与探针上灰尘的效果。
1.一种晶圆测试装置，包括支架(1)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述调节部包括转动连接在内罩(3)内壁的转轴(7)，所述转轴(7)上固定安装有转盘(4)，多个所述检测板(5)安装在转盘(4)的圆周外壁上，
3.根据权利要求2所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述联动部包括固定安装在外罩(2)内壁的齿条(11)，所述蜗杆(9)的轴端通过单向轴承安装有从动齿轮(10)，当所述内罩(3)向上移动至极限位置时，所述从动齿轮(10)与齿条(11)啮合。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述内罩(3)的上端两侧分别固定连接有吹气罩(13)与排风管(15)，所述吹气罩(13)与排风管(15)均与内罩(3)相连通，且所述吹气罩(13)的排气端与排风管(15)的输入端均朝向内罩(3)顶部的检测板(5)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述内罩(3)的顶部与外罩(2)的内顶部之间安装有伸缩气囊(22)，所述伸缩气囊(22)上固定连接有与其连通的吸气管(17)与排气管(14)，所述吸气管(17)与排气管(14)内均固定安装有单向阀，所述排气管(14)的排气端延伸至吹气罩(13)内。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述转盘(4)的外壁设有滑孔(18)，所述滑孔(18)内滑动连接有滑柱(19)，所述检测板(5)固定安装在滑柱(19)上，所述滑柱(19)与滑孔(18)的内壁之间通过第一弹簧(20)弹性连接。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述外罩(2)的设有多个等间距设置的条形槽(16)，所述排风管(15)的末端贴合在外罩(2)的内壁上，当所述内罩(3)上下移动时，所述排风管(15)会依次滑过多个条形槽(16)，所述检测板(5)上固定连接有三角块(21)，所述三角块(21)的两个斜面分别朝向排风管(15)与吹气罩(13)。
8.根据权利要求5所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述支架(1)上固定安装有输送带(31)，所述输送带(31)上固定连接有盖板(23)，所述盖板(23)与输送带(31)的侧板以及皮带之间形成通槽，所述输送带(31)的两侧分别固定连接有吸风管(25)与吸气罩(24)，
9.根据权利要求8所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述盖板(23)的上端两侧均设有安装槽(30)，两个所述安装槽(30)内均纵向滑动安装有竖板(29)，两个所述竖板(29)的上端固定连接有压板(27)，所述压板(27)与盖板(23)之间安装有第二弹簧(28)，当所述内罩(3)向下移动至极限位置时，两个所述竖板(29)会分别封堵通槽的两个端口。
10.一种晶圆测试方法包括权利要求1-9任一项所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，操作步骤如下：
