本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种桨固定机构及推舟系统。
背景技术：
1、半导体或光伏材料广泛应用于电子以及新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上，例如将片状材料送入炉中，在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来获得所需产品，因此需要用到半导体加工炉，支撑桨作为半导体加工炉的一部分，一般贯穿半导体加工炉的密封门，从半导体加工炉中伸出至外部。其安装的稳定性极大地影响了半导体加工炉中加工工序的进行。
2、现有的支撑桨中以单桨结构为主，单桨结构承载负载小，桨自身下垂量大，支撑桨存在失效风险。而双桨结构中，每个桨杆上均套设有桨套，桨套上穿设有调节组件以实现对桨杆上下位置以及左右位置的调整，桨套通过沿其长度方向的两个锁紧环安装到推舟结构的滑块上。这种结构不仅安装复杂，且两个桨套容易出现不等高的现象，且舟放置在桨杆上后，锁紧环的受到的作用力较大，长时间使用容易出现连接锁紧环与推舟结构连接失效的现象。
技术实现思路
1、本实用新型的第一个目的在于提出一种桨固定机构，该桨固定机构的结构简单，方便安装，且与推舟机构的连接稳定性较好，不容易出现连接失效的现象。
2、本实用新型的第二个目的在于提出一种推舟系统，该推舟系统的结构相对较为简单，且使用可靠性较高。
3、为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：
4、本实用新型公开了一种桨固定机构，所述桨固定机构安装于推舟机构且与炉门机构相连；所述桨固定机构包括：桨套，安装于所述推舟机构，所述桨套与所述炉门机构相连，所述桨套具有容纳空间，所述容纳空间用于容纳至少两个桨杆的第一端，至少两个所述桨杆的第二端穿过所述炉门机构设置；调节模组，所述调节模组设置于所述桨套，且用于调整至少一个所述桨杆的所述第一端在所述容纳空间中的位置。
5、本实用新型的桨固定机构的有益效果：由于桨套能够容纳多个桨杆，通过一个桨套将多个桨杆与炉门机构相连，相比于现有技术的技术方案，本实施例的桨固定机构的结构更加简单，与炉门机构的连接密封效果更好，且由于两个桨杆位于同一个桨套上，避免了现有技术中桨套不等高导致支撑桨不等高的现象发生。与此同时，表面较大的桨套直接与推舟机构相连，能够提升桨套与推舟机构的连接稳定性，即便桨杆上承载有较重的舟结构，也不容易出现桨套与推舟机构的连接位置失效的现象发生。此外，且在实际组装过程中无需像现有技术一样反复调整桨套的高度确保支撑桨等高的操作，方便用户组装。
6、在一些实施例中，所述桨固定机构包括密封模组，所述密封模组安装于于所述桨套与所述炉门机构连接的一端，所述密封模组用于将所述桨套与所述炉门机构密封连接。通过密封模组实现整个桨固定机构连接在炉门机构上，能够确保桨固定机构与炉门机构的连接密封性。
7、在一些具体的实施例中，所述密封模组包括：第一固定座，所述第一固定座连接于所述桨套；第二固定座，所述第二固定座与所述第一固定座通过波纹管连接，所述第二固定座远离所述第一固定座的一侧用于与所述炉门机构密封连接；压紧组件，所述压紧组件穿设于所述第一固定座，且一端止抵于所述第二固定座，所述压紧组件能够将所述第二固定座压紧在所述炉门机构上。可以通过调整压紧组件将第二固定座压紧在炉门机构上，确保第二固定座与炉门机构的连接密封性，从而确保桨固定机构与炉门机构的连接密封性。
8、在一些更具体的实施例中，所述密封模组还包括：密封垫，所述密封垫安装于所述第二固定座背离所述第一固定座的端面上；固定板，所述固定板安装于所述第二固定座且压紧所述密封垫；法兰压板，所述法兰压板的一侧连接于所述固定板，另一侧用于连接所述炉门机构。
9、在一些具体的实施例中，所述压紧组件包括：支座，所述支座安装于所述第二固定座；套筒，所述套筒安装于所述第一固定座远离所述第二固定座的一端，压紧座，所述压紧座设置于所述套筒内；弹性件，所述弹性件的一端抵接于所述压紧座，另一端抵接于所述支座；压紧件，所述压紧件的一端伸入所述套筒且与所述压紧座相连，所述压紧件能够在外力的驱动下驱动所述压紧座沿所述套筒的轴向运动。
10、在一些实施例中，所述调节模组包括第一调节组件和第二调节组件，所述第一调节组件用于沿第一方向调整所述桨杆的位置，所述第二调节组件用于沿第二方向调整所述桨杆的位置。
11、在一些具体的实施例中，所述桨套的侧壁上设有第一调节座；所述第一调节组件包括：第一调节件，所述第一调节件穿设于所述第一调节座，且伸入所述桨套止抵于所述桨杆；封堵座，所述封堵座与所述第一调节座间隔设置，所述封堵座抵接于所述第一调节件背离所述第一调节座的一端；第一密封件，所述第一密封件套设于所述第一调节件，且夹设于所述封堵座和所述第一调节座之间；卡箍，所述卡箍套设于所述封堵座及所述第一调节件，以将所述第一调节座、所述第一密封件以及所述封堵座压紧。
12、在一些具体的实施例中，所述桨套的侧壁上设有第二调节座；所述第二调节组件包括：第二调节件，所述第二调节件穿设于所述第二调节座，且伸入所述桨套止抵于所述桨杆；封堵帽，所述封堵帽与所述第二调节座相连且将所述第二调节件封堵在所述第二调节件内；第二密封件，所述第二密封件夹设于所述第二调节件和第二调节座之间。
13、本实用新型还公开了一种推舟系统，包括推舟机构、炉门机构、前文所述的桨固定机构以及桨杆,所述推舟机构与所述桨固定机构相连，所述桨杆穿设于所述炉门机构，且所述桨杆的一端安装于所述桨固定机构。
14、本实用新型的推舟系统的有益效果：由于具有前文所述的桨固定机构，该推舟系统的结构相对较为简单，且使用可靠性较高。
15、在一些实施例中，所述推舟机构包括驱动模组、舟架和至少一个安装座，所述驱动模组与所述舟架相连，所述安装座于所述舟架相连，且与所述桨固定机构的桨套相连。采用至少一个安装座将桨固定机构的桨套固定到舟架上，能够提升推舟结构与桨固定机构的连接稳定性，从而降低推舟机构与桨固定机构连接失效的几率。
16、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
1.一种桨固定机构，其特征在于，所述桨固定机构安装于推舟机构且与炉门机构相连；所述桨固定机构包括：
2.根据权利要求1所述的桨固定机构，其特征在于，所述桨固定机构包括密封模组，所述密封模组安装于所述桨套与所述炉门机构连接的一端，所述密封模组用于将所述桨套与所述炉门机构密封连接。
3.根据权利要求2所述的桨固定机构，其特征在于，所述密封模组包括：
4.根据权利要求3所述的桨固定机构，其特征在于，所述密封模组还包括：
5.根据权利要求3所述的桨固定机构，其特征在于，所述压紧组件包括：
6.根据权利要求1-5中任一项所述的桨固定机构，其特征在于，所述调节模组包括第一调节组件和第二调节组件，所述第一调节组件用于沿第一方向调整所述桨杆的位置，所述第二调节组件用于沿第二方向调整所述桨杆的位置。
7.根据权利要求6所述的桨固定机构，其特征在于，所述桨套的侧壁上设有第一调节座；所述第一调节组件包括：
8.根据权利要求6所述的桨固定机构，其特征在于，所述桨套的侧壁上设有第二调节座；所述第二调节组件包括：
9.一种推舟系统，其特征在于，包括推舟机构、炉门机构、如权利要求1-8中任一项所述的桨固定机构以及桨杆,所述推舟机构与所述桨固定机构相连，所述桨杆穿设于所述炉门机构，且所述桨杆的一端安装于所述桨固定机构。
10.根据权利要求9所述的推舟系统，其特征在于，所述推舟机构包括驱动模组、舟架和至少一个安装座，所述驱动模组与所述舟架相连，所述安装座与所述舟架相连，且与所述桨固定机构的桨套相连。
