本技术涉及硅片制造，尤其涉及一种硅片槽式清洗机用烘干设备。
背景技术：
1、在槽式清洗设备日常使用过程中，需要对到达维护更换周期的烘干槽过滤芯进行检查更换。现有烘干槽过滤风箱相对较重，拆卸及安装不变，一般需要两人同时协助处理，大大增加了工作难度。而且多次拆装易造成槽体螺纹孔滑牙或螺丝断裂的情况，以及造成风箱与烘干槽连接处密封性变差，若未及时发现、处理容易造成硅片黑斑、黑点、污染、碎片等，使产品良率及碎片率无法得到有效管控。另外，在拆除检查前需要提前停止加热，将烘箱降温处理，耗时长，工作效率较低。
2、因此，有必要设计一种硅片槽式清洗机用烘干设备，以解决上述问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种方便拆装维护的硅片槽式清洗机用烘干设备。
2、为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种硅片槽式清洗机用烘干设备，其包括烘干槽、设于所述烘干槽外侧的依次通过管道连接的风箱组件、加热装置及风机，所述加热装置及所述风机依次设于所述风箱组件下方，所述风箱组件包括安装部及过滤部，所述安装部固定于所述烘干槽的槽壁上，所述过滤部与所述安装部通过软管连接，所述风机产生的气流依次经过所述加热装置、过滤部、软管及安装部进入所述烘干槽的内部。
3、作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述安装部为平板状，其上开设有若干通孔，每个所述通孔的外侧设有第一连接管，所述过滤部上设有与所述第一连接管对应的第二连接管，所述第一连接管通过软管与所述第二连接管连接。
4、作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述软管的两端分别通过卡箍紧固于所述第一连接管与所述第二连接管的端部。
5、作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述软管的两端分别通过pp活接接头与所述第一连接管及所述第二连接管的端部连接。
6、作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述pp活接接头与第一连接管及所述第二连接管的连接位置增加pp焊接。
7、作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述软管为波纹管。
8、作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述通孔的数量为3个，且呈水平一排设置。
9、作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述过滤部包括具有容置腔的过滤主体、设于所述容置腔中的滤芯及将所述滤芯封装于所述容置腔中的盖体，所述第二连接管设于所述盖体上。
10、作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述安装部与所述烘干槽的槽壁之间设有耐高温密封条。
11、由以上技术方案可知，本实用新型的硅片槽式清洗机用烘干设备通过在安装部与过滤部之间设置软管连接，在提高密封效果的同时使得滤芯的更换过程操作简单；无需将风箱组件整体固定在烘干槽上，一方面使得在过滤部的拆装过程中避免损坏烘干槽的槽壁，另一方面，无需等待烘干槽降温，只需过滤部温度降低至可操作程度即可，减少了滤芯更换所需的时间，提高了工作效率。
1.一种硅片槽式清洗机用烘干设备，其特征在于：包括烘干槽、设于所述烘干槽外侧的依次通过管道连接的风箱组件、加热装置及风机，所述加热装置及所述风机依次设于所述风箱组件下方，所述风箱组件包括安装部及过滤部，所述安装部固定于所述烘干槽的槽壁上，所述过滤部与所述安装部通过软管连接，所述风机产生的气流依次经过所述加热装置、过滤部、软管及安装部进入所述烘干槽的内部。
2.如权利要求1所述的硅片槽式清洗机用烘干设备，其特征在于：所述安装部为平板状，其上开设有若干通孔，每个所述通孔的外侧设有第一连接管，所述过滤部上设有与所述第一连接管对应的第二连接管，所述第一连接管通过软管与所述第二连接管连接。
3.如权利要求2所述的硅片槽式清洗机用烘干设备，其特征在于：所述软管的两端分别通过卡箍紧固于所述第一连接管与所述第二连接管的端部。
4.如权利要求2所述的硅片槽式清洗机用烘干设备，其特征在于：所述软管的两端分别通过pp活接接头与所述第一连接管及所述第二连接管的端部连接。
5.如权利要求4所述的硅片槽式清洗机用烘干设备，其特征在于：所述pp活接接头与第一连接管及所述第二连接管的连接位置增加pp焊接。
6.如权利要求3所述的硅片槽式清洗机用烘干设备，其特征在于：所述软管为波纹管。
7.如权利要求2所述的硅片槽式清洗机用烘干设备，其特征在于：所述通孔的数量为3个，且呈水平一排设置。
8.如权利要求2所述的硅片槽式清洗机用烘干设备，其特征在于：所述过滤部包括具有容置腔的过滤主体、设于所述容置腔中的滤芯及将所述滤芯封装于所述容置腔中的盖体，所述第二连接管设于所述盖体上。
9.如权利要求1所述的硅片槽式清洗机用烘干设备，其特征在于：所述安装部与所述烘干槽的槽壁之间设有耐高温密封条。
