本发明涉及润湿性表面液滴输运领域，具体涉及一种锡污染的去除方法。
背景技术：
1、极紫外光刻(euv)是一种先进的半导体制造技术，它使用波长为13.5nm的光源进行光刻。这种技术已经成为5nm及以上节点大批量制造(hvm)的首选技术，因为它可以提供更高的分辨率和更小的特性尺寸，从而实现更高的集成度和性能。
2、euv技术也面临着一些挑战。其中一个主要的问题就是飞溅的锡滴对设备的污染。在euv光源中，高强度的激光会打击到一个小锡滴，产生高能量的极紫外光。然而，这个过程中也会有一部分锡滴飞溅出来，这些飞溅的锡滴可能会附着在设备的各个部分，从而对设备造成污染。这种污染可能会影响设备的性能，甚至可能导致设备的损坏。因此，减少锡污染已经成为解决这个问题的一个重要问题。有许多方法可以用来减少锡污染。例如，通过改进生产过程，可以减少锡滴的飞溅；或者通过原子清洗、电子束清洗和等离子体清洗等技术，可以去除已经积累的锡滴，从而减少设备的污染。然而，这些方法不可避免地存在能耗高、操作复杂等缺点。
3、具有表面液滴无损输运功能的非润湿材料在清洁领域备受关注。非润湿材料的表面可以有效地阻止液体的吸附和扩散，使滴落的液体在材料表面无损传输，从而防止污染物的积累。这种阻止液体吸附和扩散的能力，使得非润湿材料在各种环境中都能保持清洁，不会因为液体的积累而导致表面污染。然而，目前非润湿表面在清洁领域的应用还主要集中在去除水、油等常见液体污染物，尚未在熔融金属污染方面有所应用。
4、针对锡污染对光刻机性能的影响，有必要将非润湿表面与锡污染的去除联系起来，实现对飞溅熔融金属锡液滴的简单、快速的自清洁效果。
技术实现思路
1、本发明的目的在于针对现有技术的不足，提出一种锡污染的去除方法，目的在于解决在激光与熔融锡滴相互作用产生极紫外光源的过程中，熔融锡滴被打碎飞溅造成污染的难题。
2、本发明为解决其技术问题提出以下技术方案：
3、一种锡污染的去除方法，其特点是，包括以下步骤：
4、步骤一、通过激光照射熔融锡液滴使其飞溅；
5、步骤二、飞溅的锡液撞击到疏锡材料不锈钢的倾斜表面，当同时满足疏锡材料不锈钢的表面温度条件、锡液温度条件、疏锡材料不锈钢的表面粗糙度条件、以及疏锡材料不锈钢的表面倾斜角度条件时，在该倾斜表面产生滑动/滚动行为；
6、步骤三、锡液滴沿着倾斜金属材料表面传输到底部的锡液收集器中保存。
7、进一步地，所述疏锡材料不锈钢的表面温度条件是：疏锡材料表面温度为400-600℃摄氏度。
8、进一步地，所述锡液温度条件是：锡液温度为300-600℃摄氏度。
9、进一步地，所述疏锡材料不锈钢的表面粗糙度条件是：疏锡材料表面粗糙度为800纳米。
10、进一步地，所述疏锡材料不锈钢的表面倾斜角度条件是：疏锡材料不锈钢表面倾斜角度为10-90度。
11、进一步地，整个过程使用氩气进行保护。
12、本发明的优点效果
13、本发明充分利用熔融金属对不锈钢非润湿行为的特点，确定了不锈钢表面温度、粗糙度和倾斜角度，使锡液滴能够在不锈钢表面滑动/滚动，从而达到了对锡污染自清洁的效果。与现有的清洗技术相比，本发明具有处理流程短、工艺简单、耗费少的优点，能有效去除锡污染，并将锡资源回收利用，既能缓解euv光源生产过程中飞溅的锡液滴对设备的污染，又能实现有价金属资源回收，有利于工业化推广应用。
1.一种锡污染的去除方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种锡污染的去除方法，其特征在于：所述疏锡材料不锈钢的表面温度条件是：疏锡材料表面温度为400-600℃摄氏度。
3.根据权利要求1所述的一种锡污染的去除方法，其特征在于：所述锡液温度条件是：锡液温度为300-600℃摄氏度。
4.根据权利要求1所述的一种锡污染的去除方法，其特征在于：所述疏锡材料不锈钢的表面粗糙度条件是：疏锡材料表面粗糙度为800纳米。
5.根据权利要求1所述的一种锡污染的去除方法，其特征在于：所述疏锡材料不锈钢的表面倾斜角度条件是：疏锡材料表面倾斜角度为10-90度。
6.根据权利要求1所述的一种锡污染的去除方法，其特征在于：整个过程使用氩气进行保护。
