本技术涉及洁净室洁净度控制领域，特别涉及一种洁净室用颗粒侦测结构。
背景技术：
1、现有技术中，很多领域，如半导体制造、液晶屏制造、生物医药等，对生产环境的洁净度有较高要求，需要在洁净室内完成生产制造；为了保持洁净室内洁净度，除安装ffu(fan filter unit,风机过滤单元)等必要的空气过滤装置外，还需要安装颗粒监控系统，以实时监控洁净室内的空气洁净度，当监控到的颗粒物超标时，就可以及时查找超标原因以尽快恢复洁净室内的洁净度。
2、当监控到的颗粒物超标时，往往需要排查的因素很多，例如ffu损坏或过滤效果变差导致颗粒物超标、空气采样位置附件有部件磨损导致颗粒物超标、颗粒侦测的管路或探头被误撞导致颗粒物飘高、附件有搬运操作或施工导致颗粒物飘高等，需要逐一排查，耗时耗力，排查效率低，不利于快速找到原因，进而无法有效解决颗粒物超标，尤其是当超标是由一过性原因(如被误撞、搬运、施工等)造成时，往往排查不到原因，这对洁净室颗粒物超标的分析造成了很大困扰，增加了排查难度。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种洁净室用颗粒侦测结构，有效减少了颗粒物超标时的分析因素。
2、为解决上述技术问题，本实用新型提供的洁净室用颗粒侦测结构，包括：
3、采样探头，其安装于洁净室内的空气采样位置处以用于空气采样，所述采样探头通过采样管路与颗粒计数器连接；
4、振动传感器，其安装于所述采样探头或靠近所述采用探头位置处以用于振动的探测，所述振动传感器与洁净室的控制系统信号连接。
5、较佳地，所述振动传感器可拆卸安装于所述采样探头。
6、较佳地，所述振动传感器胶粘于所述采样探头。
7、较佳地，所述振动传感器可拆卸安装于采样管路的靠近所述采样探头的位置处。
8、较佳地，所述振动传感器距所述采样探头的距离小于2m。
9、较佳地，所述振动传感器可拆卸安装于采样位置的工厂柱体或墙体。
10、较佳地，所述振动传感器距所述采样探头的距离小于2m。
11、较佳地，所述振动传感器的安装方式为胶粘或通过紧固件安装。
12、本实用新型通过在采样探头或采样探头附近增设振动传感器，并记录其探测到的振动的时间，通过将振动时间与颗粒物超标时间进行比对，可有效排除或锁定一过性因素，可有效提高颗粒物排查的效率、降低排查难度，也一定程度上提高了颗粒物因素判断的准确性。
1.一种洁净室用颗粒侦测结构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的颗粒侦测结构，其特征在于，所述振动传感器可拆卸安装于所述采样探头。
3.如权利要求2所述的颗粒侦测结构，其特征在于，所述振动传感器胶粘于所述采样探头。
4.如权利要求1所述的颗粒侦测结构，其特征在于，所述振动传感器可拆卸安装于采样管路的靠近所述采样探头的位置处。
5.如权利要求4所述的颗粒侦测结构，其特征在于，所述振动传感器距所述采样探头的距离小于2m。
6.如权利要求1所述的颗粒侦测结构，其特征在于，所述振动传感器可拆卸安装于采样位置的工厂柱体或墙体。
7.如权利要求6所述的颗粒侦测结构，其特征在于，所述振动传感器距所述采样探头的距离小于2m。
8.如权利要求6所述的颗粒侦测结构，其特征在于，所述振动传感器的安装方式为胶粘或通过紧固件安装。
