本申请实施例涉及半导体加工，特别涉及一种传送系统及传送方法。
背景技术：
1、半导体制造设备一般为一种机台完成一种特定的工艺，完成一种工艺后将晶圆传到晶圆盒中再将晶圆盒放到另一种机台做下一道工序。但在晶圆由一种机台放入另一种机台的过程中晶圆表面会暴露在大气环境中，在大气环境下硅和氧会发生反应生成二氧化硅，反应式为si+o2→sio2。大气中的水蒸气也会与硅发生反应生成二氧化硅，反应式为2h2o+si→sio2+2h2↑。空气中的其他气体杂质在氧化过程中也会参与反应，形成无定形的二氧化硅，进而产生杂质。即便是使用具有保护功能的充氮气的晶圆盒来完成传送过程，也无法避免在传送中混入少量空气与晶圆发生反应的问题。所以在多种工艺共存的情况下，一般会配置不同的工艺腔体，并且由真空传送腔实现在不同的工艺腔体之间传送。尤其在工艺研发的阶段这种需求更多，这种多工艺共存的混合机台可以实现不同腔体的真空传送。
2、但是这种混合机台在配置定型后，传送过程就难以改变，无法实现晶圆在任意两个不同机台之间的真空传送。
技术实现思路
1、本申请实施方式的目的在于提供一种传送系统及传送方法，能够实现晶圆在任意两个不同机台以及不同工艺腔体之间的真空传送，提高整个半导体加工过程的效率。
2、为解决上述技术问题，本申请的实施方式提供了一种传送系统，该传送系统包括传送装置和多个传送平台。传送装置包括腔体、门阀一、机械手一和真空泵，腔体为传送的物体提供临时储存空间，门阀一设置在腔体一侧，机械手一设置在腔体内，并可通过门阀一伸出腔体外，真空泵，通过管道与腔体内腔连通；每个传送平台都包括多个工艺腔体以及与工艺腔体连通的两个装载腔体，其中一个装载腔体外侧设置有门阀二，门阀二和门阀一可对接；机械手一用于抓取需要传送的物体，并在不同的传送平台之间传送。
3、另外，本申请的实施方式还提供了一种传送方法，使用上述的传送系统实现在真空下不同传送平台之间的物体传送，该传送方法包括以下步骤：
4、将传送装置保持真空状态与多个传送平台中的一个传送平台对接；
5、将门阀一和门阀二打开；
6、将物体从传送平台转移到传送装置上；
7、将门阀一和门阀二关闭；
8、传送装置保持真空状态与多个传送平台中的另一个传送平台对接；
9、将门阀一和门阀二打开；
10、将物体从传送装置转移到传送平台上；
11、将门阀一和门阀二关闭。
12、本申请的实施方式提供的传送系统及传送方法，通过设计一个包括腔体、门阀一、机械手一和真空泵的传送装置，并在传送平台其中一个装载腔外设置一个可以与门阀一配对的门阀二。使用机械手一在真空状态下取出一台传动平台中的晶圆，并传送到另一台传送平台中去。配合能够在传动平台中不同工艺腔体之间传动晶圆的机械手二，能够实现晶圆在任意两个不同机台以及不同工艺腔体之间的真空传送，提高整个半导体加工过程的效率。
13、在一些实施方式中，腔体还设置有压力计。
14、在一些实施方式中，每个传送平台中间位置都设置有机械手二。
15、在一些实施方式中，每个传送平台都还设置有一个传送腔体，传送腔体内腔与多个工艺腔体都连通，机械手二位于传送腔体内部，并可在真空下在多个工艺腔体之间传送物体。
16、在一些实施方式中，每个传送平台的工艺腔体数量为4个或者6个。
17、在一些实施方式中，传送装置与传送平台通过阀门一和阀门二的配对来进行对接。
18、在一些实施方式中，在将物体从传送平台转移到传送装置上时，机械手二将传送的物体从其中一个工艺腔体传送到对接的装载腔体内，然后机械手一将物体从装载腔体内传送到传送装置的腔体内。
19、在一些实施方式中，在将物体从传送装置转移到另一个传送平台上时，机械手一将物体从传送装置的腔体内传送到对接的装载腔体内，然后机械手二将传送的物体从装载腔体内传送到其中一个工艺腔体内。
20、在一些实施方式中，机械手二用于在同一个传送平台中的工艺腔体之间传送物体。
1.一种传送方法，使用一种传送系统，实现在真空下不同传送平台之间的物体传送，所述传送系统包括：
2.根据权利要求1所述的传送方法，其特征在于，每个所述传送平台都还设置有一个传送腔体，所述传送腔体内腔与多个所述工艺腔体都连通，所述机械手二位于所述传送腔体内部，并可在真空下在多个工艺腔体之间传送物体。
3.根据权利要求1所述的传送方法，其特征在于，每个所述传送平台的所述工艺腔体数量为4个或者6个。
4.根据权利要求1所述的传送方法，其特征在于，所述传送装置与所述传送平台通过所述阀门一和所述阀门二的配对来进行对接。
5.根据权利要求1所述的传送方法，其特征在于，在将物体从所述传送平台转移到所述传送装置上时，所述机械手二将传送的物体从其中一个所述工艺腔体传送到对接的所述装载腔体内，然后所述机械手一将物体从所述装载腔体内传送到所述传送装置的腔体内。
6.据权利要求1所述的传送方法，其特征在于，在将物体从所述传送装置转移到另一个所述传送平台上时，所述机械手一将物体从所述传送装置的腔体内传送到对接的所述装载腔体内，然后所述机械手二将传送的物体从所述装载腔体内传送到其中一个所述工艺腔体内。
7.据权利要求1所述的传送方法，其特征在于，所述机械手二用于在各自对应的同一个所述传送平台中的所述工艺腔体之间传送物体。
