本技术涉及曝光设备，尤其涉及一种光刻掩膜板测量的限位装置。
背景技术：
1、光刻掩膜板，是半导体制造过程中用于光刻的关键工具之一。它类似于摄影中的底片，是一块透明的基板，上面镀有光刻工艺所需的图形。在光刻过程中，通过光源透过掩膜板上的图形投影到硅片上，形成图形的光阻层，然后进行刻蚀、沉积等加工步骤，最终形成微小的芯片结构，在光刻工艺中，掩膜板的精确测量和定位是非常关键的步骤，以确保芯片上的图案对准和精度。在光刻掩膜板测量中，通常采用一些限位装置来确保掩膜板的正确定位。
2、经检索，中国专利公告号：cn219225301u公开了一种双面一体光刻装置，包括光刻设备组件和换料机构，所述光刻设备组件包括加工台、光刻主机和双面一体光刻台；所述换料机构包括转台、两个气缸；本实用新型通过置物板对需要进行曝光处理的电路板进行限位，然后通过气缸的活塞杆带动置物板与转台进行贴合，然后通过伺服电机的输出轴带动转台转动，转动的转台带动两个置物板进行位置互换，然后通过气缸的活塞杆带动置物板进行复位，以便将电路板送入双面一体光刻台的内部，然后通过光刻主机利用掩膜板对电路板进行双面曝光处理，且曝光处理的过程中，可以将另一个置物板内曝光处理后的电路板取下进行更换，用以降低设备整体待机的时间，提高了生产效率，该装置通过置物槽安装固定掩膜板，但置物槽大小固定导致置物槽不易安装大小不同的掩膜板，为此提出一种光刻掩膜板测量的限位装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种光刻掩膜板测量的限位装置，旨在改善了现有技术中置物槽不易安装大小不同的掩膜板的问题。
2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种光刻掩膜板测量的限位装置，包括底板，所述底板顶部右侧设置有光刻主机，所述底板顶侧中部固定连接有限位块，所述限位块内部设置有放置台，所述放置台左侧设置有连接组件，所述放置台内侧中部固定连接有支撑轴，所述支撑轴顶端转动连接有齿轮二，所述齿轮二内部滑动连接有多个均匀分布的连接杆，多个所述连接杆顶部均固定连接有夹块，所述齿轮二一侧啮合连接有齿轮一，所述放置台内部固定连接有电机，所述电机驱动端固定连接在所述齿轮一底部。
3、作为上述技术方案的进一步描述：
4、所述连接组件包括安装块，所述安装块固定连接在所述放置台左侧，所述安装块顶部滑动连接有移动轴，所述移动轴一端前后两侧均转动连接有旋转杆，多个所述旋转杆一端均转动连接有连接轴。
5、作为上述技术方案的进一步描述：
6、多个所述夹块内部均滑动连接有橡胶垫，多个所述橡胶垫一侧均固定连接有弹簧一，多个所述弹簧一一端分布固定连接在多个所述夹块内部。
7、作为上述技术方案的进一步描述：
8、多个所述连接杆上下两端均固定连接有限位板，其中多个所述限位板分别抵接在多个所述夹块顶侧，其余多个所述限位板均抵接在所述齿轮二底侧。
9、作为上述技术方案的进一步描述：
10、所述移动轴外周套设有弹簧二，所述弹簧二一端抵接在所述安装块一侧，所述弹簧二另一端抵接在所述移动轴一端底部。
11、作为上述技术方案的进一步描述：
12、所述底板顶侧左侧固定连接有固定块，所述固定块内部固定连接有电动推杆，所述电动推杆右端滑动连接在所述安装块内部。
13、作为上述技术方案的进一步描述：
14、两个所述连接轴一端分别滑动连接在所述电动推杆右端内部。
15、作为上述技术方案的进一步描述：
16、所述固定块底部前后两侧均固定连接有导向杆，两个所述导向杆右端分别固定连接在所述限位块内部前后两侧，所述放置台滑动连接在两个所述导向杆顶部。
17、本实用新型具有如下有益效果：
18、1、本实用新型中，电机驱动齿轮一旋转使齿轮一带动齿轮二旋转，齿轮二旋转使多个连接杆相向移动并使多个夹块对掩膜板进行夹持固定，多个夹块之间的距离可以调节使多个夹块可以固定大小不同的掩膜板。
19、2、本实用新型中，弹簧二一端将移动轴推出安装块内部，移动轴移动带动两个旋转杆旋转，两个旋转杆旋转分别带动两个连接轴相向移动，并使两个连接轴一端插入电动推杆右端内部，从而实现放置台的快速安装。
1.一种光刻掩膜板测量的限位装置，包括底板(6)，其特征在于：所述底板(6)顶部右侧设置有光刻主机(5)，所述底板(6)顶侧中部固定连接有限位块(7)，所述限位块(7)内部设置有放置台(4)，所述放置台(4)左侧设置有连接组件，所述放置台(4)内侧中部固定连接有支撑轴(15)，所述支撑轴(15)顶端转动连接有齿轮二(11)，所述齿轮二(11)内部滑动连接有多个均匀分布的连接杆(14)，多个所述连接杆(14)顶部均固定连接有夹块(12)，所述齿轮二(11)一侧啮合连接有齿轮一(9)，所述放置台(4)内部固定连接有电机(10)，所述电机(10)驱动端固定连接在所述齿轮一(9)底部。
2.根据权利要求1所述的一种光刻掩膜板测量的限位装置，其特征在于：所述连接组件包括安装块(3)，所述安装块(3)固定连接在所述放置台(4)左侧，所述安装块(3)顶部滑动连接有移动轴(20)，所述移动轴(20)一端前后两侧均转动连接有旋转杆(18)，多个所述旋转杆(18)一端均转动连接有连接轴(21)。
3.根据权利要求1所述的一种光刻掩膜板测量的限位装置，其特征在于：多个所述夹块(12)内部均滑动连接有橡胶垫(17)，多个所述橡胶垫(17)一侧均固定连接有弹簧一(16)，多个所述弹簧一(16)一端分布固定连接在多个所述夹块(12)内部。
4.根据权利要求1所述的一种光刻掩膜板测量的限位装置，其特征在于：多个所述连接杆(14)上下两端均固定连接有限位板(13)，其中多个所述限位板(13)分别抵接在多个所述夹块(12)顶侧，其余多个所述限位板(13)均抵接在所述齿轮二(11)底侧。
5.根据权利要求2所述的一种光刻掩膜板测量的限位装置，其特征在于：所述移动轴(20)外周套设有弹簧二(19)，所述弹簧二(19)一端抵接在所述安装块(3)一侧，所述弹簧二(19)另一端抵接在所述移动轴(20)一端底部。
6.根据权利要求2所述的一种光刻掩膜板测量的限位装置，其特征在于：所述底板(6)顶侧左侧固定连接有固定块(1)，所述固定块(1)内部固定连接有电动推杆(2)，所述电动推杆(2)右端滑动连接在所述安装块(3)内部。
7.根据权利要求6所述的一种光刻掩膜板测量的限位装置，其特征在于：两个所述连接轴(21)一端分别滑动连接在所述电动推杆(2)右端内部。
8.根据权利要求6所述的一种光刻掩膜板测量的限位装置，其特征在于：所述固定块(1)底部前后两侧均固定连接有导向杆(8)，两个所述导向杆(8)右端分别固定连接在所述限位块(7)内部前后两侧，所述放置台(4)滑动连接在两个所述导向杆(8)顶部。
