传感器及其制作方法与流程

allin2026-02-10  7


本发明涉及雷达,更具体地,涉及一种传感器及其制作方法。


背景技术:

1、毫米波雷达具有分辨率高、频带宽、抗干扰能力强等特点,雷达系统发射电磁波遇到障碍物后产生反射,通过捕获反射信号,雷达系统可以确定物体的距离,速度和角度。而车载毫米波雷达作为一种预防交通事故的有效手段,受到各大汽车厂商重视。

2、毫米波雷达,是工作在毫米波波段(millimeter wave)探测的雷达。通常毫米波是指30~300ghz频域(波长为1~10mm)的。毫米波的波长介于微波和厘米波之间,毫米波雷达兼有微波雷达和光电雷达的一些优点。因此,毫米波雷达可适用于探测距离较远的场景,具体的,毫米波雷达适用于千米及初步探测。

3、但是,现有的毫米波雷达传感器存在探测精度较差的问题。


技术实现思路

1、有鉴于此,本发明提供了一种传感器及其制作方法,有利于减少辐射损耗,提高探测精度。

2、本发明提供一种传感器,包括:第一玻璃基板;线路层,线路层位于第一玻璃基板的一侧;射频处理芯片,射频处理芯片位于线路层远离第一玻璃基板的一侧。

3、基于同一思想,本发明还提供了一种传感器的制作方法,包括:提供第一玻璃基板;在第一玻璃基板的一侧形成线路层;在线路层远离第一玻璃基板的一侧键合连接射频处理芯片。

4、与现有技术相比,本发明提供的传感器及其制作方法,至少实现了如下的有益效果:

5、本发明提供的传感器中,射频处理芯片可键合在第一玻璃基板上,在第一玻璃基板上可采用高平整度、低膜层粗糙度的面板工艺制作线路层,即第一玻璃基板上线路层中的走线的最小线宽可设置较小,示例性的,第一玻璃基板上线路层中的走线的最小线宽可设置成5μm左右,从而第一玻璃基板上设置的走线的膜层粗糙度为几十nm量级,即线路层中各个走线层的膜层粗糙度较小。从而将射频处理芯片键合在第一玻璃基板上时可有效减少射频信号的辐射损耗,提高探测精度。

6、当然,实施本发明的任一产品不必特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

7、通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述,本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。



技术特征:

1.一种传感器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的传感器,其特征在于,

4.根据权利要求3所述的传感器,其特征在于,

5.根据权利要求4所述的传感器,其特征在于,

6.根据权利要求2所述的传感器,其特征在于,

7.根据权利要求6所述的传感器,其特征在于,

8.根据权利要求7所述的传感器,其特征在于,

9.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,

10.根据权利要求9所述的传感器,其特征在于,

11.根据权利要求10所述的传感器,其特征在于,

12.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,

13.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,

14.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,

15.一种传感器的制作方法,其特征在于,包括:

16.根据权利要求15所述的传感器的制作方法,其特征在于,

17.根据权利要求15所述的传感器的制作方法,其特征在于,

18.根据权利要求16或17所述的传感器的制作方法,其特征在于,还包括:

19.根据权利要求15所述的传感器的制作方法,其特征在于,还包括:

20.根据权利要求15所述的传感器的制作方法,其特征在于,还包括:


技术总结
本发明涉及雷达技术领域,公开了一种传感器及其制作方法,传感器包括:第一玻璃基板;线路层,线路层位于第一玻璃基板的一侧;射频处理芯片,射频处理芯片位于线路层远离第一玻璃基板的一侧。本发明有利于减少辐射损耗,提高探测精度。

技术研发人员:邢一凡,秦锋,林柏全,韩笑男,包异凡,粟平,代胜伟,贾振宇,刘桢,陈晓君
受保护的技术使用者:上海天马微电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/10/31
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