一种LDI曝光机的制作方法

allin2026-02-12  5


本技术涉及曝光机领域,具体为一种ldi曝光机。


背景技术:

1、激光直写式(ld i)曝光是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图,相比于传统的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接转移技术,直写式曝光技术产能高,对位精度高。在半导体及pcb生产领域有着非常重要的作用。随着pcb电路板行业的高速发展,pcb电路板的工艺流程对其曝光环节的要求也逐渐提高,故ldi曝光机的精度要求也相应提高。

2、现有的ldi曝光机运动平台主要采用双横梁轴龙门的结构。双横梁龙门结构中一个横梁轴为曝光镜组运动轴,一个横梁轴为相机标记运动轴,曝光镜组运动轴与相机标记运动轴不在同一运动轴上,具有额外因素增加误差,精度上限低,调试难度较大。

3、现亟需一种运动精度更好的ldi曝光机。


技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种运动精度更好的ldi曝光机。

2、本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种ldi曝光机,包括有底座,所述底座上固接有龙门架,所述龙门架上设置有横向滑轨,所述横向滑轨上滑动设置有第一相机组、第二相机组和曝光机构,所述曝光机构位于所述第一相机组和第二相机组之间;

3、所述底座上设置有若干纵向运动机构,所述纵向运动机构的运动方向与所述横向滑轨垂直且相错,所述纵向运动机构上均设置有运动平台。

4、本实用新型的有益效果是:将第一相机组、第二相机组和曝光机构集成在同一个横向滑轨上,减少冗余结构和整体尺寸,节约成本,并且通过同一个横向滑轨运动,提高了第一相机组、第二相机组和曝光机构的运动精度,提高了生产质量。

5、在上述技术方案的基础上,本实用新型还可以做如下改进。

6、进一步,所述横向滑轨上依次设置有第一滑板、第二滑板和第三滑板,所述第一相机组安装于所述第一滑板上,所述曝光机构安装于所述第二滑板上,所述第二相机组安装于所述第三滑板上。

7、采用上述进一步方案的有益效果是:通过第一滑板、第二滑板和第三滑板分别安装第一相机组、第二相机组和曝光机构,便于固定和拆卸。

8、进一步,所述第一滑板上固接有第一滑块,所述第二滑板上固接有第二滑块,所述第三滑板上固接有第三滑块,所述第一滑块、第二滑块和第三滑块均滑动安装在所述横向滑轨上。

9、采用上述进一步方案的有益效果是:第一滑块、第二滑块和第三滑块与横向滑轨配合,确保滑动精度和滑动效率。

10、进一步,所述龙门架上还设置有第一直线电机,所述第一直线电机的第一定子固定安装在所述横向滑轨内且与所述横向滑轨平行,所述第一滑板、第二滑板和第三滑板上均安装有所述第一直线电机的第一动子。

11、采用上述进一步方案的有益效果是:通过直线电机控制运动,稳定性好,提高了滑动精度,并且第一滑板、第二滑板和第三滑板三个部分,能以不同速率在不同位置分别滑动,互不干扰,使用方式灵活。

12、进一步,所述纵向运动机构均包括有纵向滑轨,所述纵向滑轨固定安装于所述底座顶面,所述纵向滑轨与所述横向滑轨垂直且相错,所述运动平台设置于所述纵向滑轨上。

13、采用上述进一步方案的有益效果是:纵向滑轨带动产品在横向滑轨下方滑动,配合进行曝光。

14、进一步,所述纵向滑轨上滑动设置有第四滑块,所述第四滑块顶面固接有第四滑板,所述运动平台与所述第四滑板固接。

15、采用上述进一步方案的有益效果是:第四滑块和纵向滑轨配合,确保运动平台的滑动效率和滑动精度。

16、进一步,所述纵向运动机构还包括有第二直线电机,所述第二直线电机的第二定子固定安装在所述纵向滑轨内且与所述纵向滑轨平行,所述第二直线电机的第二动子安装于所述运动平台上。

17、采用上述进一步方案的有益效果是;通过直线电机驱动,稳定性好,提高了滑动精度。

18、进一步,所述曝光机构包括有若干曝光镜头,所述曝光镜头沿所述横向滑轨长度方向依次固定安装于所述第二滑板上。

19、采用上述进一步方案的有益效果是:多个曝光镜头提高曝光面积。

20、进一步,所述纵向运动机构数量为两组。

21、采用上述进一步方案的有益效果是:两组纵向运动机构能够提升生产效率。

22、进一步,所述底座与所述龙门架为大理石材质。

23、采用上述进一步方案的有益效果是:大理石材质更加美观耐用。



技术特征:

1.一种ldi曝光机,其特征在于,包括有底座(1),所述底座(1)上固接有龙门架(2),所述龙门架(2)上设置有横向滑轨(3),所述横向滑轨(3)上滑动设置有第一相机组(4)、第二相机组(5)和曝光机构(6),所述曝光机构(6)位于所述第一相机组(4)和第二相机组(5)之间;

2.根据权利要求1所述一种ldi曝光机,其特征在于,所述横向滑轨(3)上依次设置有第一滑板(8)、第二滑板(9)和第三滑板(10),所述第一相机组(4)安装于所述第一滑板(8)上,所述曝光机构(6)安装于所述第二滑板(9)上,所述第二相机组(5)安装于所述第三滑板(10)上。

3.根据权利要求2所述一种ldi曝光机,其特征在于,所述第一滑板(8)上固接有第一滑块(11),所述第二滑板(9)上固接有第二滑块(12),所述第三滑板(10)上固接有第三滑块(13),所述第一滑块(11)、第二滑块(12)和第三滑块(13)均滑动安装在所述横向滑轨(3)上。

4.根据权利要求3所述一种ldi曝光机,其特征在于,所述龙门架(2)上还设置有第一直线电机,所述第一直线电机的第一定子固定安装在所述横向滑轨(3)内且与所述横向滑轨(3)平行,所述第一滑板(8)、第二滑板(9)和第三滑板(10)上均安装有所述第一直线电机的第一动子。

5.根据权利要求1所述一种ldi曝光机,其特征在于,所述纵向运动机构均包括有纵向滑轨(14),所述纵向滑轨(14)固定安装于所述底座(1)顶面,所述纵向滑轨(14)与所述横向滑轨(3)垂直且相错,所述运动平台(7)设置于所述纵向滑轨(14)上。

6.根据权利要求5所述一种ldi曝光机,其特征在于,所述纵向滑轨(14)上滑动设置有第四滑块(15),所述第四滑块(15)顶面固接有第四滑板(16),所述运动平台(7)与所述第四滑板(16)固接。

7.根据权利要求6所述一种ldi曝光机,其特征在于,所述纵向运动机构还包括有第二直线电机,所述第二直线电机的第二定子固定安装在所述纵向滑轨(14)内且与所述纵向滑轨(14)平行,所述第二直线电机的第二动子安装于所述运动平台(7)上。

8.根据权利要求3所述一种ldi曝光机,其特征在于,所述曝光机构(6)包括有若干曝光镜头,所述曝光镜头沿所述横向滑轨(3)长度方向依次固定安装于所述第二滑板(9)上。

9.根据权利要求1-8任一项所述一种ldi曝光机,其特征在于,所述纵向运动机构数量为两组。

10.根据权利要求1-8任一项所述一种ldi曝光机,其特征在于,所述底座(1)与所述龙门架(2)为大理石材质。


技术总结
本技术涉及一种LD I曝光机,属于曝光机领域,包括有底座,所述底座上固接有龙门架,所述龙门架上设置有横向滑轨,所述横向滑轨上滑动设置有第一相机组、第二相机组和曝光机构,所述曝光机构位于所述第一相机组和第二相机组之间;所述底座上设置有若干纵向运动机构,所述纵向运动机构的运动方向与所述横向滑轨垂直且相错,所述纵向运动机构上均设置有运动平台。本技术的有益效果是:将第一相机组、第二相机组和曝光机构集成在同一个横向滑轨上,减少冗余结构和整体尺寸,节约成本,并且通过同一个横向滑轨运动,提高了第一相机组、第二相机组和曝光机构的运动精度,提高了生产质量。

技术研发人员:李友春,何文光
受保护的技术使用者:深圳市东晖精密科技有限公司
技术研发日:20240311
技术公布日:2024/10/31
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