本发明涉及一种固体摄像元件。
背景技术：
1、作为现有的固体摄像元件，在非专利文献1及2中记载有单片ccd-cmos。单片ccd-cmos为将根据光的入射产生电荷且传送电荷的ccd部、与处理与电荷相应的数字信号的cmos部形成于单一的半导体基板的固体摄像元件。
2、现有技术文献
3、非专利文献
4、非专利文献1：lee,hyun jung."charge-coupled cmos tdi imager."proceedings of the 2017international image sensor workshop,hiroshima,japan.vol.30.2017.
5、非专利文献2：de moor,piet,et al."enhanced time delay integrationimaging using embedded ccd in cmostechnology."2014ieee international electrondevices meeting.ieee,2014.
技术实现思路
1、发明所要解决的问题
2、在非专利文献1及2所记载的单片ccd-cmos中，在ccd部中，多个传送电极及排出栅极电极配置于相同的层，在相邻的传送电极之间、及各传送电极与排出栅极电极之间形成有间隙。因此，有在半导体基板中与各间隙对应的区域掺杂电荷，无法适当实施电荷的传送及电荷的排出的担忧。
3、本发明的目的在于提供一种可确保适当的特性的固体摄像元件。
4、解决问题的技术手段
5、本发明的一方式的固体摄像元件，具备：半导体基板；第1元件部，其形成于半导体基板；及第2元件部，其形成于半导体基板，第1元件部具有：受光部，其根据光的入射产生电荷；及传送部，其传送电荷，第2元件部构成为进行向第1元件部的信号的发送及来自第1元件部的信号的接收中的至少一者，传送部具有：第1传送电极及第2传送电极，其配置于半导体基板的电荷传送区域上，且排列于电荷的传送方向；及排出栅极电极，其配置于沿电荷传送区域的半导体基板的电荷排出区域上，第1传送电极作为第1层形成，第2传送电极及排出栅极电极作为与第1层不同的第2层形成，在自半导体基板的厚度方向观察的情况下，第1传送电极包含与第2传送电极的一部分重叠的部分、及与排出栅极电极的一部分重叠的部分，在自半导体基板的厚度方向观察的情况下，第2传送电极与排出栅极电极分开。
6、在上述固体摄像元件中，在自半导体基板的厚度方向观察的情况下，第1传送电极包含与第2传送电极的一部分重叠的部分、及与排出栅极电极的一部分重叠的部分。由此，在自半导体基板的厚度方向观察的情况下，在第1传送电极与第2传送电极之间、及第1传送电极与排出栅极电极之间不易形成间隙。因此，在电荷传送区域及电荷排出区域中，可抑制产生掺杂电荷的区域，并可适当实施电荷的传送及电荷的排出。另外，在第1元件部与第2元件部形成于单一半导体基板的固体摄像元件中，在第1元件部具有的电极的层构造为三层以上的情况下，难以高精度地形成第2元件部具有的电极等。对此，在上述固体摄像元件中，因为第1元件部具有的第1传送电极、第2传送电极及排出栅极电极的层构造为二层，因而可高精度地形成第2元件部具有的电极等。通过以上所述，根据上述固体摄像元件，可确保适当的特性。
7、在本发明的一方式的固体摄像元件中，也可为第2传送电极的上述一部分、及排出栅极电极的上述一部分在半导体基板的厚度方向上，相对于第1传送电极位于相同侧。根据该结构，可以简单的构造将第1元件部具有的第1传送电极、第2传送电极及排出栅极电极的层构造设为二层。
8、在本发明的一方式的固体摄像元件中，也可为传送部还具有在第1传送电极与第2传送电极的上述一部分之间、及第1传送电极与排出栅极电极的上述一部分之间，作为相同的层延伸的绝缘层。根据该结构，可以简单的构造将第1元件部具有的第1传送电极、第2传送电极及排出栅极电极的层构造设为二层。
9、在本发明的一方式的固体摄像元件中，也可为电荷排出区域包含漏极区域，排出栅极电极及漏极区域沿传送方向延伸。根据该结构，可将电荷传送区域内的剩余的电荷适当排出至漏极区域，并可提高固体摄像元件的抗晕旋光性。
10、在本发明的一方式的固体摄像元件中，也可为第1元件部具有将通过传送部传送的电荷转换为模拟信号的放大器部，第2元件部包含将模拟信号转换为数字信号的转换部。根据该结构，固体摄像元件可将模拟信号转换为不易受噪声影响的数字信号。
11、在本发明的一方式的固体摄像元件中，也可为电荷传送区域包含第1传送区域、及杂质浓度与第1传送区域不同的第2传送区域，第1传送电极配置于第1传送区域上，第2传送电极配置于第2传送区域上。根据该结构，可使用2相驱动方式作为传送部的电荷的传送方式，以最小限度的相数(2相)的控制电压实现第1元件部的动作。
12、发明的效果
13、根据本发明，可提供一种可确保适当的特性的固体摄像元件。
1.一种固体摄像元件，其中，
2.如权利要求1所述的固体摄像元件，其中，
3.如权利要求1或2所述的固体摄像元件，其中，
4.如权利要求1～3中任一项所述的固体摄像元件，其中，
5.如权利要求1～4中任一项所述的固体摄像元件，其中，
6.如权利要求1～5中任一项所述的固体摄像元件，其中，
