光电转换元件及摄像元件的制作方法

allin2026-02-17  32


本公开涉及光电转换元件及摄像元件。


背景技术:

1、已知具有光电转换膜的光电转换元件。在专利文献1及专利文献2中,记载了对光电转换膜进行干法蚀刻。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1:日本特开2006-32714号公报

5、专利文献2:国际公布第2019/239851号


技术实现思路

1、本公开提供适于实现具有高可靠性的光电转换元件的技术。

2、本公开提供一种光电转换元件,具备:

3、支承面;以及

4、光电转换膜,被配置于所述支承面,

5、在与垂直于所述支承面的垂直方向平行的第1截面中,

6、所述光电转换膜具有第1坡面,

7、在将所述第1坡面相对于与所述支承面平行的第1平行方向的倾斜角度定义为第1坡度角度时,

8、所述第1坡度角度大于0°且为5°以下。

9、本公开所涉及的技术适于实现具有高可靠性的光电转换元件。



技术特征:

1.一种光电转换元件,具备:

2.如权利要求1所述的光电转换元件,

3.如权利要求1或者2所述的光电转换元件,

4.如权利要求3所述的光电转换元件,

5.如权利要求3所述的光电转换元件,

6.如权利要求3所述的光电转换元件,

7.如权利要求3至6中任一项所述的光电转换元件,

8.如权利要求1至7中任一项所述的光电转换元件,

9.如权利要求1至8中任一项所述的光电转换元件,

10.如权利要求1至9中任一项所述的光电转换元件,

11.如权利要求1至10中任一项所述的光电转换元件,

12.如权利要求1至11中任一项所述的光电转换元件,

13.如权利要求1至12中任一项所述的光电转换元件,

14.如权利要求1至13中任一项所述的光电转换元件,

15.如权利要求1至14中任一项所述的光电转换元件,

16.如权利要求15所述的光电转换元件,

17.一种摄像元件,具备:


技术总结
光电转换元件(21)包括支承面(25)及光电转换膜(518)。光电转换膜(518)被配置于支承面(25)。在与垂直于支承面(25)的垂直方向Dv平行的第1截面(201)中,光电转换膜(518)具有第1坡面(518t1)。在第1截面(201)中,将第1坡面(518t1)相对于与支承面(25)平行的第1平行方向Dh的倾斜角度,定义为第1坡度角度θt1。第1坡度角度θt1大于0°且为5°以下。

技术研发人员:平濑顺司,内海秀之,留河优子,土居隆典,矶野俊介
受保护的技术使用者:松下知识产权经营株式会社
技术研发日:
技术公布日:2024/10/31
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