本技术涉及液晶显示面板制造设备，尤其涉及一种真空压合装置。
背景技术：
1、在液晶显示面板制造的过程中，涉及到将两块玻璃基板对位压合的步骤。该压合步骤通常采用真空压合装置完成。图1是现有技术提供的真空压合装置的结构示意图，两块待压合的玻璃基板分别称为下层基板100和上层基板200，如图1所示，真空压合装置包括下压头机构10′、上压头机构20′和驱动机构(未图示)，下压头机构10′能够抓取下层基板100，上压头机构20′能够抓取上层基板200，驱动机构能够驱动上压头机构20′向下与下压头机构10′配合，上压头机构20′能够使上层基板200压合在下层基板100上。具体地，下压头机构10′包括下腔室11′和下定盘12′，下定盘12′设置在下腔室11′内，且用于承托下层基板100。上压头机构20′包括上腔室21′、上定盘22′、加压轴23′和顶出结构(未图示)，上定盘22′设置在上腔室21′内并与加压轴23′连接，上定盘22′朝下的表面设置有胶层，上定盘22′能够粘附固定上层基板200。在压合的过程中，驱动机构驱动上压头向下运动，使上腔室21′和下腔室11′相扣合，同时驱动加压轴23′向下运动，加压轴23′带动上定盘22′和上层基板200向下运动，以使上层基板200和下层基板100在一定压力下贴合组立。
2、随着液晶显示面板的发展，玻璃基板的厚度越来越薄，上层基板200在被输送到上定盘22′的过程中在重力作用下会具有一定的弧度，因此上定盘22′的下表面也设置为与上述弧度匹配的微拱形的结构，从而避免上层基板200在压合过程出现褶皱。但是这种真空压合装置，在压合的过程中，若加压轴23′施加的压力较小，则两玻璃基板中间位置不能很好的压合，进而使压合得到的显示面板出现气泡或者亮度不均的问题。若施加的压力较大，玻璃基板会出现边缘区域受力过大，进而损伤玻璃基板。此外，在压合结束后，上定盘22′向上运动，同时顶出结构向下推动上层基板200使其与上定盘22′剥离，此时若上定盘22′和下定盘12′之间的压力过大，还可能造成玻璃基板组立偏移，进而影响压合精度。
3、因此，亟待需要一种真空压合装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提出一种真空压合装置，其能避免基板压合过程中局部受力过大或过小，进而避免压合过程损伤基板，以及压合后的显示面板出现气泡、显示不均的缺陷，此外还提高了两玻璃基板的对位精度。
2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
3、一种真空压合装置，包括：
4、下压头机构，包括下容置室和下定盘，所述下定盘设置在所述下容置室内且能够承托下层基板；
5、上压头机构，包括上容置室、上定盘和加压轴，所述上定盘能够粘接上层基板，所述加压轴能够带动所述上定盘相对于所述上容置室向下运动，以使所述上层基板压合在所述下层基板上；
6、气浮机构，包括供气组件和多个设置在所述下容置室内的支撑组件，所述支撑组件的活动端支撑于所述下定盘下方，所述供气组件能向所述支撑组件供气，并使所述活动端能够在上下方向浮动，以使所述下定盘的对应位置处的压力保持在预设范围。
7、作为一个可选的方案，所述支撑组件包括：
8、套筒，连接在所述下容置室的底部；
9、活塞，与所述套筒滑动配合并围设形成气腔，所述活塞的上端伸出至所述套筒外并支撑于所述下定盘下方，所述供气组件能向所述气腔内通气。
10、作为一个可选的方案，所述下容置室内开设有多个过气通道，每个过气通道的一端对应与一个所述气腔连通，另一端与所述供气组件连通。
11、作为一个可选的方案，所述套筒下端为敞口设置，每个所述过气通道的一端与所述敞口相对设置。
12、作为一个可选的方案，所述气浮机构还包括多个压力传感器，每个所述压力传感器对应设置在一个所述活塞与所述下定盘之间，所述压力传感器与所述供气组件通讯连接。
13、作为一个可选的方案，其特征在于，多个所述支撑组件在第一水平方向和/或第二水平方向均匀排布，所述第一水平方向垂直于所述第二水平方向。
14、作为一个可选的方案，所述真空压合装置还包括负压机构，所述上压头机构还包括：
15、多个上顶针，所述上顶针自上至下穿设所述上容置室和所述上定盘，所述上顶针与所述负压机构连通，以能够吸附所述上层基板；
16、上驱动组件，与所述上容置室连接，且能够驱动多个所述上顶针组件在上下方向运动，以使所述上层基板贴合至所述上定盘。
17、作为一个可选的方案，所述真空压合装置还包括负压机构，所述下压头机构还包括：
18、多个下顶针，所述下顶针自下而上穿设所述下容置室和所述下定盘，所述下顶针与所述负压机构连接，以能够吸附所述下层基板；
19、下驱动组件，与所述下容置室连接且能够驱动多个所述下顶针组件在上下方向运动，以使所述下层基板支撑于所述下定盘上。
20、作为一个可选的方案，所述上压头机构还包括加压驱动组件，所述加压驱动组件与所述上容置室连接且能够驱动所述加压轴上下运动，并使所述加压轴输出一定压力。
21、作为一个可选的方案，所述真空压合装置还包括：
22、驱动机构，所述驱动机构能够驱动所述下压头机构上下运动，以使所述下容置室和所述上容置室扣合形成密封腔；
23、负压机构，所述负压机构能够对所述密封腔抽真空。
24、本实用新型有益效果为：
25、在使用本实用新型的真空压合装置时，下层基板承托在下定盘上，上层基板粘覆在上层基板上，加压轴带动下定盘相对于上容置室向下运动，从而使上层基板以一定的压力压合在下层基板上。此时，气浮机构的供气组件对多个支撑组件分别供气，使多个支撑组件的活动端共同支撑在下定盘下方。当下定盘局部压力过小时(对应位置的基板受到的压力也会过小)，供气组件调整对应位置的支撑组件内的气体流量，使对应的活动端向上浮动，从而加大基板对应位置处受到的压力，避免压合后的显示面板出现气泡、显示不均的缺陷。当下定盘局部压力过大时(对应位置的基板受到的压力也会过大)，供气组件调整供气流量，使对应位置的活动端向下浮动，进而释放基板对应位置的压力，不仅能够避免基板损伤，且在压合结束上定盘与上层基板剥离时，由于压合力适当，因此不会造成阻立偏移，进而保证了两基板的组立精度。
1.一种真空压合装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的真空压合装置，其特征在于，所述支撑组件(31)包括：
3.如权利要求2所述的真空压合装置，其特征在于，所述下容置室(11)内开设有多个过气通道(111)，每个过气通道(111)的一端对应与一个所述气腔(313)连通，另一端与所述供气组件连通。
4.如权利要求3所述的真空压合装置，其特征在于，所述套筒(311)下端为敞口设置，每个所述过气通道(111)的一端与所述敞口相对设置。
5.如权利要求2所述的真空压合装置，其特征在于，所述气浮机构还包括多个压力传感器(32)，每个所述压力传感器(32)对应设置在一个所述活塞(312)与所述下定盘(12)之间，所述压力传感器(32)与所述供气组件通讯连接。
6.如权利要求1-5任一项所述的真空压合装置，其特征在于，多个所述支撑组件(31)在第一水平方向和/或第二水平方向均匀排布，所述第一水平方向垂直于所述第二水平方向。
7.如权利要求1-5任一项所述的真空压合装置，其特征在于，所述真空压合装置还包括负压机构，所述上压头机构(20)还包括：
8.如权利要求1-5任一项所述的真空压合装置，其特征在于，所述真空压合装置还包括负压机构，所述下压头机构(10)还包括：
9.如权利要求1-5任一项所述的真空压合装置，其特征在于，所述上压头机构(20)还包括加压驱动组件，所述加压驱动组件与所述上容置室(21)连接且能够驱动所述加压轴(23)上下运动，并使所述加压轴(23)输出一定压力。
10.如权利要求1-5任一项所述的真空压合装置，其特征在于，所述真空压合装置还包括：
