本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种晶圆异常检测方法、装置、计算机设备及计算机可读存储介质。
背景技术：
1、在半导体制作过程中，对晶圆进行异常检测是重要的一项，其目的是检测晶圆中可能存在的缺陷，以便于及时掌握生产过程中产品的质量信息。其中，自动光学检测(automated optical inspection，aoi)设备可以获取晶圆的扫描图像，并对晶圆的扫描图像进行识别，以得到晶圆中可能存在缺陷的位置。然而，传统aoi设备对特定异常的检测能力较差，例如对于灰阶变异的产品传统aoi设备仅进行灰阶判断，这样容易造成过检，难以正确检测出晶圆中存在缺陷的位置，导致检测精度较低。因此，如何提升晶圆异常检测的精度，是亟需解决的问题。
技术实现思路
1、鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种晶圆异常检测方法、装置、计算机设备及存储介质，可以准确检测出晶圆中异常晶粒的位置，有利于提升晶圆异常检测的精度。
2、一种晶圆异常检测方法，该方法包括：从检测设备获取待检测晶圆的扫描图像；对扫描图像进行区域分割处理，得到多个区域分割图像；其中，多个区域分割图像中的一个区域分割图像用于展示待检测晶圆的至少一个晶粒；确定第一晶粒在第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息，并基于第一晶粒在第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息对第一晶粒进行特征提取处理，得到第一晶粒的目标特征；第一晶粒为待检测晶圆中的任意一个晶粒；将第一晶粒的目标特征与预设数据集中的参考特征进行特征对比，确定第一晶粒存在异常或不存在异常；根据待检测晶圆中存在异常的晶粒，确定待检测晶圆的检测结果，检测结果用于指示待检测晶圆的异常类型。
3、上述晶圆异常检测方法，可以将待检测晶圆的扫描图像划分为多个区域分割图像，然后再针对每个区域分割图像中的晶粒进行特征提取处理，以确定出待检测晶圆中存在异常的晶粒，进而根据待检测晶圆中存在异常的晶粒，确定待检测晶圆的检测结果。如此，相较于传统aoi设备仅进行灰阶判断的方式，具有更强的鲁棒性，能够更加准确地定位出晶圆中存在缺陷的位置，有利于提升晶圆异常检测的精度。
4、可选地，待检测晶圆的扫描图像包括待检测晶圆的n个局部图像，n为大于1的正整数；从检测设备获取待检测晶圆的扫描图像，包括：当确定出检测设备的临时存储路径为清空状态时，依次从检测设备获取待检测晶圆的局部图像；在确定出检测设备的目标存储路径存在n个局部图像对应的结果文件时，确定已从检测设备获取到n个局部图像。可见，在该技术方案中，通过依次从检测设备获取待检测晶圆的局部图像，能够以更加灵活的方式获取待检测晶圆的扫描图像，有利于增强晶圆异常检测的灵活性。
5、可选地，对扫描图像进行区域分割处理，得到多个区域分割图像，包括：基于扫描图像的分割阈值，对扫描图像进行区域分割处理，得到多个区域分割图像。可见，在该技术方案中，采用分割阈值对扫描图像进行分割处理，有利于提升对扫描图像进行分割处理的效率。
6、可选地，确定第一晶粒在第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息，包括：获取第一晶粒对应的区域分割图像中各个像素的上下文信息；基于第一晶粒对应的区域分割图像中各个像素的上下文信息，确定第一晶粒在第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息。可见，在该技术方案中，结合第一晶粒对应的区域分割图像中各个像素的上下文信息，有利于更加准确地确定出第一晶粒在第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息。
7、可选地，将第一晶粒的目标特征与预设数据集中的参考特征进行特征对比，确定第一晶粒存在异常或不存在异常，包括：计算第一晶粒的目标特征与预设数据集中的参考特征之间的特征相似度；根据第一晶粒的目标特征与预设数据集中的参考特征之间的特征相似度，确定第一晶粒存在异常或不存在异常。可见，在该技术方案中，依照第一晶粒的目标特征与预设数据集中的参考特征之间的特征相似度，判断第一晶粒是否存在异常，有利于提升晶圆异常检测的智能性。
8、可选地，根据待检测晶圆中存在异常的晶粒，确定待检测晶圆的检测结果，包括：确定待检测晶圆中存在异常的晶粒在待检测晶圆中的位置信息；根据待检测晶圆中存在异常的晶粒在待检测晶圆中的位置信息与各个异常类型对应的位置信息之间的匹配度，确定待检测晶圆的异常类型。可见，在该技术方案中，将待检测晶圆中存在异常的晶粒在待检测晶圆中的位置信息与各个异常类型对应的位置信息进行匹配，可以使得晶圆异常检测更加精细化。
9、可选地，上述晶圆异常检测方法还包括：输出待检测晶圆中存在异常的晶粒在待检测晶圆中的位置信息，以及待检测晶圆的检测结果。可见，在该技术方案中，对待检测晶圆的检测结果进行输出，可以更加直观地展示晶圆异常检测结果。
10、基于同样的发明构思，本申请还提供一种晶圆异常检测装置，该晶圆异常检测装置包括：获取模块，用于从检测设备获取待检测晶圆的扫描图像；处理模块，用于对扫描图像进行区域分割处理，得到多个区域分割图像；其中，多个区域分割图像中的一个区域分割图像用于展示待检测晶圆的至少一个晶粒；确定第一晶粒在第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息，并基于第一晶粒在第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息对第一晶粒进行特征提取处理，得到第一晶粒的目标特征；第一晶粒为待检测晶圆中的任意一个晶粒；将第一晶粒的目标特征与预设数据集中的参考特征进行特征对比，确定第一晶粒存在异常或不存在异常；根据待检测晶圆中存在异常的晶粒，确定待检测晶圆的检测结果，检测结果用于指示待检测晶圆的异常类型。
11、基于同样的发明构思，本申请还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质中存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时，实现上述晶圆异常检测方法。
12、基于同样的发明构思，本申请实施例提供了一种计算机程序产品或计算机程序，该计算机程序产品或计算机程序包括计算机指令，该计算机指令存储在计算机可读存储介质中，计算机设备的处理器从计算机可读存储介质读取并执行该计算机指令，使得该计算机设备执行上述晶圆异常检测方法。
1.一种晶圆异常检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的晶圆异常检测方法，其特征在于，所述待检测晶圆的扫描图像包括所述待检测晶圆的n个局部图像，所述n为大于1的正整数；
3.如权利要求1所述的晶圆异常检测方法，其特征在于，所述对所述扫描图像进行区域分割处理，得到多个区域分割图像，包括：
4.如权利要求3所述的晶圆异常检测方法，其特征在于，所述确定第一晶粒在所述第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息，包括：
5.如权利要求1所述的晶圆异常检测方法，其特征在于，所述将所述第一晶粒的目标特征与预设数据集中的参考特征进行特征对比，确定所述第一晶粒存在异常或不存在异常，包括：
6.如权利要求1-5任一项所述的晶圆异常检测方法，其特征在于，所述根据所述待检测晶圆中存在异常的晶粒，确定所述待检测晶圆的检测结果，包括：
7.如权利要求6所述的晶圆异常检测方法，其特征在于，所述方法还包括：
8.一种晶圆异常检测装置，其特征在于，所述晶圆异常检测装置包括：
9.一种计算机设备，其特征在于，包括：处理器、通信接口和存储器，所述处理器、所述通信接口和所述存储器相互连接，其中，所述存储器存储有可执行程序代码，所述处理器用于调用所述可执行程序代码，实现权利要求1-7中任一项所述的方法。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质中存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时，实现权利要求1-7中任一项所述的方法。
