本发明属于芯片测试,具体涉及一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接方法及系统。
背景技术:
1、半导体芯片是指在半导体片材上进行诸如浸蚀和布线等工艺制成的能实现某种功能的半导体器件,不只是硅芯片,常见的还包括基于砷化镓和锗等半导体材料的芯片。半导体芯片生产过程中需要进行相应的误码分析,通过对晶圆、bar条或者芯片进行误码测试,可以检测出可能存在的连接问题、性能问题等,从而及早发现这些问题,将有问题的产品筛选出来,提高成品芯片的良率,降低成本。
2、在对晶圆、bar条或者芯片进行误码测试前,需要将误码仪和测试探针进行可靠的射频线缆连接,而目前,这种射频线缆的连接主要还是依靠人工操作来完成的,但由于操作空间较狭小,人工操作较为困难,且需依赖熟练工人,十分费时费力,连接的可靠性也难以保证。
技术实现思路
1、本发明的目的是提供一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接方法及系统,用以解决现有技术中存在的上述问题。
2、为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
3、第一方面,本发明提供一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接方法,包括:
4、s1.获取视觉成像模块所采集的射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像,所述射频线缆连接端设置在五轴位移模块上,所述射频接头设置在自动旋紧和扭力探测模块上;
5、s2.对射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像进行图像分析,确定射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息;
6、s3.根据射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息向五轴位移模块发送相应的五轴位移控制指令,使五轴位移模块根据五轴位移控制指令调节射频线缆连接端相对于射频接头的空间位置;
7、s4.重复执行步骤s1-步骤s3,直至将射频线缆连接端移动至与射频接头贴近对准;
8、s5.向控制自动旋紧和扭力探测模块发送自动旋紧指令,使自动旋紧和扭力探测模块根据自动旋紧指令将射频接头与射频线缆连接端进行旋转对接,直至射频接头旋与频线缆连接端之间的旋紧扭力达到设定值。
9、在一个可能的设计中,所述对射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像进行图像分析,确定射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息,包括:
10、对射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像进行图像目标检测,确定空间相对位置图像中射频线缆连接端的图像位置信息以及射频接头的图像位置信息;
11、利用射频线缆连接端的图像位置信息及射频接头的图像位置信息,确定射频线缆连接端与射频接头在三维空间中的空间相对位置信息。
12、在一个可能的设计中,所述根据射频线缆连接端的图像位置信息及射频接头的图像位置信息,确定射频线缆连接端与射频接头在三维空间中的空间相对位置信息,包括:
13、根据射频线缆连接端的图像位置信息及射频接头的图像位置信息,映射确定射频线缆连接端与射频接头在某一空间方向上的相对位置信息;
14、根据射频线缆连接端与射频接头在各空间方向上的相对位置信息,计算确定射频线缆连接端与射频接头在三维空间中的空间相对位置信息。
15、在一个可能的设计中,所述根据射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息向五轴位移模块发送相应的五轴位移控制指令,包括:
16、根据射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息,确定射频线缆连接端向射频接头移动的运动轨迹;
17、根据运动轨迹生成对应的五轴位移控制指令。
18、第二方面,本发明提供一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接系统,包括视觉成像模块、控制中心、五轴位移模块以及自动旋紧和扭力探测模块,所述五轴位移模块上设置射频线缆连接端,所述自动旋紧和扭力探测模块上设置射频接头,其中:
19、视觉成像模块,用于采集射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像,并将射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像传输至控制中心;
20、五轴位移模块,用于接收控制中心的五轴位移控制指令,并根据五轴位移控制指令调节射频线缆连接端相对于射频接头的空间位置;
21、自动旋紧和扭力探测模块,用于接收控制中心的自动旋紧指令,并根据自动旋紧指令将射频接头与射频线缆连接端进行旋转对接,直至射频接头旋与频线缆连接端之间的旋紧扭力达到设定值;
22、控制中心,用于实现第一方面中任意一种所述的半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接方法。
23、在一个可能的设计中,所述控制中心包括图像获取单元、图像分析单元、第一控制单元和第二控制单元,其中:
24、图像获取单元,用于获取视觉成像模块所采集的射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像,所述射频线缆连接端设置在五轴位移模块上,所述射频接头设置在自动旋紧和扭力探测模块上;
25、图像分析单元,用于对射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像进行图像分析,确定射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息;
26、第一控制单元,用于根据射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息向五轴位移模块发送相应的五轴位移控制指令,使五轴位移模块根据五轴位移控制指令调节射频线缆连接端相对于射频接头的空间位置;
27、第二控制单元,用于向控制自动旋紧和扭力探测模块发送自动旋紧指令,使自动旋紧和扭力探测模块根据自动旋紧指令将射频接头与射频线缆连接端进行旋转对接,直至射频接头旋与频线缆连接端之间的旋紧扭力达到设定值。
28、在一个可能的设计中,所述视觉成像模块包括若干高清摄像头。
29、在一个可能的设计中,所述五轴位移模块包括五轴机械臂。
30、在一个可能的设计中,所述自动旋紧和扭力探测模块包括自动旋紧机和扭力检测仪。
31、在一个可能的设计中,所述控制中心包括电脑,所述电脑包括:
32、存储器,用于存储执行指令;
33、处理器,用于读取所述存储器中存储的执行指令,并根据执行指令执行第一方面中任意一种所述的半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接方法。
34、有益效果:本发明通过视觉成像模块采集射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像,再由控制中心对空间相对位置图像进行图像分析,确定射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息,然后根据该空间相对位置信息控制五轴位移模块对射频线缆连接端进行位置调节,以对准射频接头,最后控制自动旋紧和扭力探测模块将射频接头与射频线缆连接端进行旋转对接,直至射频接头旋与频线缆连接端之间的旋紧扭力达到设定值,实现自动化的射频线缆连接。本发明可以替代传统人工操作接线方式,实现半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接,保证射频线缆连接的可靠性和效率,节省人力。
1.一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接方法,其特征在于,所述对射频线缆连接端与射频接头的空间相对位置图像进行图像分析,确定射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息,包括:
3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接方法,其特征在于,所述根据射频线缆连接端的图像位置信息及射频接头的图像位置信息,确定射频线缆连接端与射频接头在三维空间中的空间相对位置信息,包括:
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接方法,其特征在于,所述根据射频线缆连接端与射频接头之间的空间相对位置信息向五轴位移模块发送相应的五轴位移控制指令,包括:
5.一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接系统,其特征在于,包括视觉成像模块、控制中心、五轴位移模块以及自动旋紧和扭力探测模块,所述五轴位移模块上设置射频线缆连接端,所述自动旋紧和扭力探测模块上设置射频接头,其中:
6.根据权利要求5所述的一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接系统,其特征在于,所述控制中心包括图像获取单元、图像分析单元、第一控制单元和第二控制单元,其中:
7.根据权利要求5所述的一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接系统,其特征在于,所述视觉成像模块包括若干高清摄像头。
8.根据权利要求5所述的一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接系统,其特征在于,所述五轴位移模块包括五轴机械臂。
9.根据权利要求5所述的一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接系统,其特征在于,所述自动旋紧和扭力探测模块包括自动旋紧机和扭力检测仪。
10.根据权利要求5所述的一种半导体芯片误码分析自动化射频线缆连接系统,其特征在于,所述控制中心包括电脑,所述电脑包括:
