本发明涉及一种检测设备，特别是涉及应用于半导体制造的一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置。
背景技术：
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在电子领域中有广泛的应用，是现代电子产品的基础。晶圆生产加工完成后，为了确保晶圆的质量，需要对晶圆进行多方面的检测，检测晶圆是否存在尺寸缺陷，是其中一方面的检测。
2、中国发明专利申请cn117373942b公开了一种晶圆缺陷检测装置及检测方法，包括供风测压机构等，在供风测压机构等的联合作用下，使得在检测晶圆的尺寸是否存在缺陷时，工作人员只需将晶圆放置在支撑平台上并按压检测按钮，智能控检器便会控制供风测压机构、围晶密封机构对晶圆进行尺寸缺陷检测，且检测结果会通过反馈灯反馈给工作人员，使得检测更加的智能化、自动化，不仅可有效降低人工成本，还可提高检测效率以及检测的准确度。
3、上述专利中的检测装置，虽然可以自动检测晶圆是否存在尺寸缺陷，但一次只能检测一个晶圆，检测效率较低，且检测时，晶圆需要承受一定的气压，容易损伤晶圆，且在气压的作用下，晶圆还可能会向上滑动，导致晶圆发生磨损，会进一步对晶圆造成损伤。因此，我们提出一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置。
技术实现思路
1、针对上述现有技术，本发明要解决的技术问题是：如何在不损伤晶圆的前提下，高效的对晶圆进行尺寸缺陷检测。
2、为解决上述问题，本发明提供了一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，包括高效批检组件和检判智控器，高效批检组件包括固定半筒体、与固定半筒体相匹配的活动半筒体，固定半筒体、活动半筒体均设置为半圆筒状，且固定半筒体和活动半筒体的顶端均设置为封口状、底端均设置为开口状，固定半筒体的顶端固定安装有控贴气缸，控贴气缸的输出端与活动半筒体固定连接，固定半筒体的内壁上固定安装有多个与之相匹配的支撑隔板，支撑隔板设置为圆形，每个支撑隔板上均固定安装有供光灯以及多个垫晶块，固定半筒体的内壁上固定安装有多个上亮度传感器，固定半筒体的外壁上固定安装有多个示果灯，检判智控器固定安装在固定半筒体的外壁上，检判智控器上固定安装有启检开关，检判智控器中设置有检测控制模块、分析判断模块，启检开关与检测控制模块信号连接，检测控制模块与供光灯、上亮度传感器信号连接，上亮度传感器与分析判断模块信号连接，分析判断模块与示果灯信号连接。
3、上述高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，不仅可一次性检测多个晶圆，有效提高检测效率，还可有效避免晶圆因检测而受到损伤，提高了检测装置的可靠性和稳定性。
4、作为本申请的进一步改进，固定半筒体、活动半筒体、支撑隔板均采用不透光材料制成，垫晶块的顶端高于供光灯的顶端，上亮度传感器与支撑隔板数量相等且一一对应，上亮度传感器位于对应支撑隔板的上方，示果灯与支撑隔板数量相等且一一对应。
5、作为本申请的进一步改进，固定半筒体的内壁上设置有均匀的反光涂层，反光涂层可有利于光线的反射、传播，提高检测的准确性。
6、作为本申请的进一步改进，检测装置还包括多个适调衬件，适调衬件设置为圆环状，且适调衬件的外径与固定半筒体的内径相匹配，适调衬件根据其内径的不同设置有多种规格，使得本申请中的检测装置还可适用于不同规格的晶圆，并可同时对不同规格的晶圆进行检测。
7、作为本申请的进一步改进，适调衬件上嵌设有固衬磁铁块，固衬磁铁块设置为与适调衬件外壁相匹配的圆弧状，固定半筒体的内壁上嵌设有多个固衬贴片，固衬贴片与支撑隔板数量相等且一一对应，固衬贴片位于对应支撑隔板的上方，且固衬贴片设置为与固定半筒体内壁相匹配的圆弧状，固衬贴片、固衬磁铁块之间的磁吸力，可以适调衬件起到一个固定作用，提高了稳定性。
8、作为本申请的又一种改进，支撑隔板上还固定安装有下亮度传感器，检判智控器中还设置有检灯提醒模块，检测控制模块与下亮度传感器信号连接。
9、作为本申请的又一种改进的补充，下亮度传感器与检灯提醒模块信号连接，检灯提醒模块与示果灯信号连接，可避免供光灯损坏影响检测结果，进而可提高检测结果的准确性。
10、作为本申请的又一种改进的补充，示果灯可发出红、绿、黄三种颜色的灯光。
11、综上，本申请通过高效批检组件、检判智控器的设置，使得本申请中的检测装置不仅可自动对晶圆进行是否存在尺寸缺陷这一方面的检测，且可一次性检测多个晶圆，从而可有效提高检测效率，且在检测过程中，晶圆不会受力，从而可有效避免晶圆因检测而受到损伤，提高了检测装置的可靠性和稳定性，且通过适调衬件的设置，使得本申请中的检测装置还可适用于不同规格的晶圆，并可同时对不同规格的晶圆进行检测，大大提高了检测装置的实用性，并可进一步提高检测效率，且通过下亮度传感器的设置，可避免供光灯损坏影响检测结果，进而可提高检测结果的准确性。
1.一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，包括高效批检组件和检判智控器（002），其特征在于，所述高效批检组件包括固定半筒体（101）、与固定半筒体（101）相匹配的活动半筒体（102），所述固定半筒体（101）、活动半筒体（102）均设置为半圆筒状，且固定半筒体（101）和活动半筒体（102）的顶端均设置为封口状、底端均设置为开口状，所述固定半筒体（101）的顶端固定安装有控贴气缸（103），所述控贴气缸（103）的输出端与活动半筒体（102）固定连接，所述固定半筒体（101）的内壁上固定安装有多个与之相匹配的支撑隔板（104），所述支撑隔板（104）设置为圆形，每个所述支撑隔板（104）上均固定安装有供光灯（105）以及多个垫晶块（106），所述固定半筒体（101）的内壁上固定安装有多个上亮度传感器（107），所述固定半筒体（101）的外壁上固定安装有多个示果灯（108）；
2.根据权利要求1所述的一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，其特征在于，所述固定半筒体（101）、活动半筒体（102）、支撑隔板（104）均采用不透光材料制成，所述垫晶块（106）的顶端高于供光灯（105）的顶端，所述上亮度传感器（107）与支撑隔板（104）数量相等且一一对应，所述上亮度传感器（107）位于对应支撑隔板（104）的上方，所述示果灯（108）与支撑隔板（104）数量相等且一一对应。
3.根据权利要求1所述的一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，其特征在于，所述固定半筒体（101）的内壁上设置有均匀的反光涂层。
4.根据权利要求1所述的一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括多个适调衬件（003），所述适调衬件（003）设置为圆环状，且适调衬件（003）的外径与固定半筒体（101）的内径相匹配，所述适调衬件（003）根据其内径的不同设置有多种规格。
5.根据权利要求4所述的一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，其特征在于，所述适调衬件（003）上嵌设有固衬磁铁块（301），所述固衬磁铁块（301）设置为与适调衬件（003）外壁相匹配的圆弧状，所述固定半筒体（101）的内壁上嵌设有多个固衬贴片（111），所述固衬贴片（111）与支撑隔板（104）数量相等且一一对应，所述固衬贴片（111）位于对应支撑隔板（104）的上方，且固衬贴片（111）设置为与固定半筒体（101）内壁相匹配的圆弧状。
6.根据权利要求1所述的一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，其特征在于，所述支撑隔板（104）上还固定安装有下亮度传感器（110），所述检判智控器（002）中还设置有检灯提醒模块，所述检测控制模块与下亮度传感器（110）信号连接。
7.根据权利要求6所述的一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，其特征在于，所述下亮度传感器（110）与检灯提醒模块信号连接，所述检灯提醒模块与示果灯（108）信号连接。
8.根据权利要求1所述的一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，其特征在于，所述示果灯（108）可发出红、绿、黄三种颜色的灯光。
