本技术涉及探针卡测试设备领域，尤其是涉及一种探针卡电性参数采集装置。
背景技术：
1、现有技术中，探针卡设置有多个测试区域，每个测试区域内均设置有测试引脚，测试仪表与每个测试区域对应的测试引脚电连接，测试人员使用测试仪表依次采集探针卡的多个测试区域的电性参数，测试仪表根据探针卡的多个测试区域的电性参数计算出探针卡的电性参数值，测试人员根据探针卡的电性参数值判断探针卡是否为良品。
2、并且，探针卡的电性参数微小，探针卡的电性参数容易被外部环境的电磁辐射影响，在测试人员使用测试仪表依次采集探针卡多个测试区域的电性参数的过程中，外部环境的电磁辐射出现波动时会导致测试区域的电性参数出现波动，从而导致测试仪表无法准确测量测试区域的电性参数，并且容易导致测试仪表错误计算探针卡的电性参数值，导致测试人员误判探针卡的测试结果，降低了探针卡的测试结果的准确性。
技术实现思路
1、为了尽量降低在采集探针卡的电性参数的过程中，外部环境中的电磁辐射变化对探针卡的电性参数的影响，提高探针卡的测试结果的准确性，本技术提供了一种探针卡电性参数采集装置。
2、本技术提供的一种探针卡电性参数采集装置采用如下的技术方案：
3、一种探针卡电性参数采集装置，包括：装置本体，所述装置本体限定出容纳空间，探针卡放置于所述装置本体内且位于所述装置本体的底壁；多个测试机构，沿所述探针卡电性参数采集装置的周向方向上，多个所述测试机构间隔开地安装于所述装置本体内且位于所述装置本体的底壁，且多个所述测试机构均环绕于所述探针卡的外侧，所述测试机构包括多个第一探针和三同轴线，多个所述第一探针沿所述测试机构的径向方向间隔开设置，所述三同轴线包括信号线，多个所述第一探针的一端均与所述信号线电连接，且每个所述第一探针的另一端均适于与探针卡的对应测试引脚止抵且电连接。
4、通过采用上述技术方案，通过在装置本体设置多个测试机构，每个测试机构的多个第一探针均与探针卡的对应测试引脚止抵且电连接，探针卡的电性参数同时通过多个测试引脚和对应第一探针进入至信号线。与现有技术相比，多个测试机构同时采集探针卡的电性参数，从而可以尽量避免在采集探针卡的电性参数的过程中，外部环境中的电磁辐射出现变化时导致探针卡的电性参数被外部环境中的电磁辐射影响，进而可以提高探针卡的测试结果的准确性。
5、优选的，所述装置本体包括底板和盖板，所述底板设有容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述探针卡，所述容纳槽的底壁设有收纳槽，所述收纳槽用于收纳所述探针卡的连接引脚，所述盖板盖设于所述底板的设有所述容纳槽的端壁，且所述盖板与所述底板枢转连接，多个所述测试机构均安装于所述盖板。
6、通过采用上述技术方案，位于探针卡下端壁的连接引脚伸入收纳槽，从而可以避免探针卡的连接引脚被损坏导致探针卡无法正常工作，进而可以提高探针卡电性参数采集装置的工作可靠性。
7、优选的，所述底板的靠近所述盖板端壁密封槽，且所述密封槽环绕于所述容纳槽的外侧，所述密封槽设有密封件，所述密封件适于与所述盖板止抵且密封设置。
8、通过采用上述技术方案，密封件用于尽量防止外部环境中的液体或杂物进入至容纳槽，从而可以避免探针卡被液体损坏，以及可以避免探针卡的测试引脚被杂物覆盖导致第一探针无法与测试引脚止抵且电连接，进而可以提高探针卡电性参数采集装置的工作可靠性。
9、优选的，所述装置本体还包括罩体，所述罩体构造为金属件，所述罩体设于所述盖板的远离所述底板的端壁且罩设于所述测试机构的外侧，所述罩体的侧壁依次排布有多个电连接件，每个所述测试机构分别与其中一个所述电连接件对应设置，所述电连接件穿入所述罩体内，所述三同轴线连接于所述电连接件的伸入所述罩体内的一端和对应的所述测试机构之间，所述电连接件的另一端适于与分析装置电连接。
10、通过采用上述技术方案，罩体用于尽量屏蔽外部环境中的电磁辐射，从而可以尽量避免外部环境中的电磁辐射干扰第一探针和探针卡，进而可以提高探针卡的测试结果的准确性。
11、优选的，所述探针卡电性参数采集装置还包括：多个固定件和多个支撑架，多个所述固定件和多个所述支撑架均设于所述装置本体内，且多个所述固定件和多个所述支撑架均位于所述测试机构的外侧，所述三同轴线与所述固定件和/或所述支撑架连接配合，所述固定件和所述支撑架均用于固定所述三同轴线。
12、通过采用上述技术方案，本技术可以避免多个测试机构的三同轴线杂乱交错地放置于罩体内，可以避免维修人员在更换测试机构的三同轴线时需要花费大量时间整理三同轴线，从而可以降低维修人员更换测试机构的三同轴线的难度，进而可以提高维修人员更换测试机构的三同轴线的效率。
13、优选的，所述探针卡电性参数采集装置还包括：支撑件，所述支撑件枢转安装于所述盖板和所述底板之间，所述支撑件适于拉伸以支撑所述盖板，以及适于收缩以使所述盖板盖设于所述底板。
14、通过采用上述技术方案，当盖板绕盖板和底板之间的枢转轴线远离底板转动，并且盖板转动至预设位置时，支撑件拉伸以支撑盖板，相较于测试人员通过手部支撑盖板以将探针卡放置于容纳槽，如此设置可以降低测试人员将探针卡放置于容纳槽的难度，从而可以提高测试人员的工作效率。
15、优选的，所述测试机构还包括壳体和第二探针，所述壳体包括盖体和座体，所述座体安装于所述装置本体，所述盖体盖设于所述座体的远离所述装置本体的端壁，且所述盖体和所述座体之间限定出安装空间，所述三同轴线伸入所述壳体内且与所述壳体固定连接，所述三同轴线还包括第一绝缘层和第一传导层，所述第一绝缘层包覆于所述信号线的外侧，所述第一传导层包覆于所述第一绝缘层的外侧，多个所述第一探针和所述第二探针均绝缘设置于所述座体，且所述第二探针与多个所述第一探针均间隔开设置，所述第二探针的一端与所述第一传导层电连接，且另一端适于与所述探针卡的接地引脚止抵且电连接。
16、通过采用上述技术方案，通过第二探针的一端与第一传导层电连接，以及第二探针的另一端与探针卡的接地引脚止抵且电连接，探针卡受到的电磁辐射依次通过探针卡的接地引脚和第二探针进入至第一传导层，然后电磁辐射沿第一传导层远离探针卡传播，从而可以尽量避免探针卡被外部环境的电磁辐射影响，进而可以提高探针卡的测试结果的准确性。
17、优选的，所述测试机构还包括第一安装件和第二安装件，所述第一安装件和所述第二安装件均固定安装于所述座体，且所述第一安装件和所述第二安装件沿所述测试机构的第一方向间隔开设置，多个所述第一探针均设于所述第一安装件，所述第一安装件设有多个与所述安装空间连通的第一安装孔，多个所述第一安装孔沿所述壳体的径向方向间隔开设置，且多个所述第一安装孔和多个所述第一探针一一对应设置，且多个所述第一安装孔均与所述信号线相对设置，所述第一安装件设有金属层。
18、所述第二安装件设有与所述安装空间连通的第二安装孔，所述第二探针设于所述第二安装孔，且所述第二安装孔与所述第一传导层相对设置，所述第二安装件设有金属层。
19、通过采用上述技术方案，第一安装件的金属层用于屏蔽壳体内的电磁辐射，从而可以尽量避免第一探针被壳体内的电磁辐射影响，进而可以提高探针卡的测试结果的准确性。并且，第二安装件用于防止第二探针的电流流动至第一探针，从而可以防止第一探针传导的电性参数被第二探针的电流影响，进而可以进一步地提高探针卡的测试结果的准确性。
20、优选的，所述三同轴线还包括第二绝缘层和第二传导层，所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中的一个套设于另一个外侧，所述第一传导层和所述第二传导层中的一个套设于另一个外侧，且所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间设有所述传导层，所述第一传导层和所述第二传导层之间设有所述绝缘层，所述第二绝缘层和所述第二传导层均套设于所述信号线的外侧，所述壳体与所述第二传导层电连接。
21、通过采用上述技术方案，壳体受到的外部环境的电磁辐射沿第二传导层远离壳体传播，从而可以尽量避免外部环境的电磁辐射影响第一探针，可以避免第一探针传导的探针卡的电性参数被电磁辐射影响，进而可以提高探针卡的测试结果的准确性。
22、优选的，所述第一探针包括第一针套、第一针体和第一弹性件，所述第一针套设有第一避让槽，所述第一针体活动设置于所述第一避让槽，所述第一弹性件可弹性变形地设置于所述第一避让槽的底壁和所述第一针体之间，所述第一针体适于伸入或移出所述第一避让槽，所述第一针套与所述信号线电连接，所述第一针体适于与所述探针卡的测试引脚止抵且电连接，所述第一针体与所述第一针套电连接；
23、所述第二探针包括第二针套、第二针体和第二弹性件，所述第二针套设有第二避让槽，所述第二针体活动设置于所述第二避让槽，所述第二弹性件可弹性变形地设置于所述第二避让槽的底壁和所述第二针体之间，所述第二针体适于伸入或移出所述第二避让槽，所述第二针套与所述第一传导层电连接，所述第二针体适于与所述探针卡的接地引脚止抵且电连接，所述第二针体与所述第二针套电连接。
24、通过采用上述技术方案，当多个第一针体均靠近探针卡运动，并且与测试引脚之间的间隔距离较小的第一针体先与对应的测试引脚止抵时，测试引脚驱动对应的第一针体靠近第一避让槽的底壁运动，以使与测试引脚之间的间隔距离较大的第一针体能够继续靠近对应的测试引脚运动，从而可以实现多个第一针体均与对应的测试引脚止抵的技术效果。并且，当第二针体与接地引脚之间的间隔距离均小于多个第一探针和对应的测试引脚之间的间隔距离时，当第二探针与对应的接地引脚止抵时，接地引脚驱动第二针体靠近第二避让槽的底壁运动，以使多个第一针体均能够继续靠近对应的测试引脚运动，从而可以实现多个第一针体均与对应的测试引脚止抵的技术效果。
25、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
26、1.通过在装置本体设置多个测试机构，每个测试机构的多个第一探针均与探针卡的对应测试引脚止抵且电连接，探针卡的电性参数同时通过多个测试引脚和对应第一探针进入至信号线。与现有技术相比，多个测试机构同时采集探针卡的电性参数，从而可以尽量避免在采集探针卡的电性参数的过程中，外部环境中的电磁辐射出现变化导致探针卡的电性参数被外部环境中的电磁辐射影响，进而可以提高探针卡的测试结果的准确性；
27、2.密封件用于尽量防止外部环境中的液体或杂物进入至容纳槽，从而可以避免探针卡被液体损坏，以及可以避免探针卡的测试引脚被杂物覆盖导致第一探针无法与测试引脚止抵且电连接，进而可以提高探针卡电性参数采集装置的工作可靠性；
28、3.罩体用于尽量屏蔽外部环境中的电磁辐射，从而可以尽量避免外部环境中的电磁辐射干扰第一探针和探针卡，进而可以提高探针卡的测试结果的准确性。
1.一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，所述装置本体(80)包括底板(802)和盖板(803)，所述底板(802)设有容纳槽(8021)，所述容纳槽(8021)用于容纳所述探针卡，所述容纳槽(8021)的底壁设有收纳槽(8022)，所述收纳槽(8022)用于收纳所述探针卡的连接引脚，所述盖板(803)盖设于所述底板(802)的设有所述容纳槽(8021)的端壁，且所述盖板(803)与所述底板(802)枢转连接，多个所述测试机构(2000)均安装于所述盖板(803)。
3.根据权利要求2所述的一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，所述底板(802)的靠近所述盖板(803)的端壁密封槽(8023)，且所述密封槽(8023)环绕于所述容纳槽(8021)的外侧，所述密封槽(8023)设有密封件(8024)，所述密封件(8024)适于与所述盖板(803)止抵且密封设置。
4.根据权利要求2所述的一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，所述装置本体(80)还包括罩体(90)，所述罩体(90)构造为金属件，所述罩体(90)设于所述盖板(803)的远离所述底板(802)的端壁且罩设于所述测试机构(2000)的外侧，所述罩体(90)的侧壁依次排布有多个电连接件(100)，每个所述测试机构(2000)分别与其中一个所述电连接件(100)对应设置，所述电连接件(100)穿入所述罩体(90)内，所述三同轴线(20)连接于所述电连接件(100)的伸入所述罩体(90)内的一端和对应的所述测试机构(2000)之间，所述电连接件(100)的另一端适于与分析装置电连接。
5.根据权利要求1所述的一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，还包括：多个固定件(110)和多个支撑架(120)，多个所述固定件(110)和多个所述支撑架(120)均设于所述装置本体(80)内，且多个所述固定件(110)和多个所述支撑架(120)均位于所述测试机构(2000)的外侧，所述三同轴线(20)与所述固定件(110)和/或所述支撑架(120)连接配合，所述固定件(110)和所述支撑架(120)均用于固定所述三同轴线(20)。
6.根据权利要求2所述的一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，还包括：支撑件(130)，所述支撑件(130)枢转安装于所述盖板(803)和所述底板(802)之间，所述支撑件(130)适于拉伸以支撑所述盖板(803)，以及适于收缩以使所述盖板(803)盖设于所述底板(802)。
7.根据权利要求1所述的一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，所述测试机构(2000)还包括壳体(10)和第二探针(40)，所述壳体(10)包括盖体(101)和座体(102)，所述座体(102)安装于所述装置本体(80)，所述盖体(101)盖设于所述座体(102)的远离所述装置本体(80)的端壁，且所述盖体(101)和所述座体(102)之间限定出安装空间(103)，所述三同轴线(20)伸入所述壳体(10)内且与所述壳体(10)固定连接，所述三同轴线(20)还包括第一绝缘层和第一传导层(203)，所述第一绝缘层包覆于所述信号线(201)的外侧，所述第一传导层(203)包覆于所述第一绝缘层的外侧，多个所述第一探针(30)和所述第二探针(40)均绝缘设置于所述座体(102)，且所述第二探针(40)与多个所述第一探针(30)均间隔开设置，所述第二探针(40)的一端与所述第一传导层(203)电连接，且另一端适于与所述探针卡的接地引脚止抵且电连接。
8.根据权利要求7所述的一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，所述测试机构(2000)还包括第一安装件(50)和第二安装件(70)，所述第一安装件(50)和所述第二安装件(70)均固定安装于所述座体(102)，且所述第一安装件(50)和所述第二安装件(70)沿所述测试机构(2000)的第一方向间隔开设置，多个所述第一探针(30)均设于所述第一安装件(50)，所述第一安装件(50)设有多个与所述安装空间(103)连通的第一安装孔(501)，多个所述第一安装孔(501)沿所述壳体(10)的径向方向间隔开设置，且多个所述第一安装孔(501)和多个所述第一探针(30)一一对应设置，且多个所述第一安装孔(501)均与所述信号线(201)相对设置，所述第一安装件(50)设有金属层；
9.根据权利要求7所述的一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，所述三同轴线(20)还包括第二绝缘层和第二传导层(205)，所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中的一个套设于另一个外侧，所述第一传导层(203)和所述第二传导层(205)中的一个套设于另一个外侧，且所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间设有所述传导层，所述第一传导层(203)和所述第二传导层(205)之间设有所述绝缘层，所述第二绝缘层和所述第二传导层(205)均套设于所述信号线(201)的外侧，所述壳体(10)与所述第二传导层(205)电连接。
10.根据权利要求7所述的一种探针卡电性参数采集装置，其特征在于，所述第一探针(30)包括第一针套(301)、第一针体(302)和第一弹性件，所述第一针套(301)设有第一避让槽，所述第一针体(302)活动设置于所述第一避让槽，所述第一弹性件可弹性变形地设置于所述第一避让槽的底壁和所述第一针体(302)之间，所述第一针体(302)适于伸入或移出所述第一避让槽，所述第一针套(301)与所述信号线(201)电连接，所述第一针体(302)适于与所述探针卡的测试引脚止抵且电连接，所述第一针体(302)与所述第一针套(301)电连接；
