本技术涉及夹具，具体涉及一种用于平板晶圆检验外观的便携夹具。
背景技术：
1、平板晶圆在镀制完成后，需要确认镀膜的缺陷情况以及清洗是否洁净，针对清洗效果和膜层缺陷指导接下来的镀膜工艺和清洗工艺的调整。由于平板晶圆尺寸较大，直径150mm、200mm、300mm，操作过程中，需要二人配合，一人双手扶住平板晶圆边缘，另外一人使用棉签擦拭表面，确认平板晶圆的缺陷以及脏污情况，这种方式操作不便，费时费力，造成人力浪费，影响加工效率。
技术实现思路
1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于平板晶圆检验外观的便携夹具，利用该夹具单人可单手手持平板晶圆夹具独立完成平板晶圆的缺陷和脏污情况确认。
2、为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种用于平板晶圆检验外观的便携夹具，包括母座和子压盖，在所述母座的内侧对称均匀设多个母座支架，在每个母座支架的内侧分别设凹槽，在母座上对称设两个丝杆；在子压盖的内侧对称均匀设数量与母座支架相同且相对应的多个子压盖支架，在子压盖上对称设两个通孔，两通孔分别与母座上的两丝杆相对应，子压盖通过相应的通孔、丝杆能够锁紧在母座上。
3、所述子压盖锁紧在母座上后，相对应的母座支架和子压盖支架间留有空隙，母座支架与子压盖支架留有的空隙厚度应确保不会压伤晶圆，也不会使晶圆晃动。
4、所述母座支架长度大于10mm，凹槽深度比平板晶圆厚度大0.08mm—0.2mm，凹槽直径尺寸大于玻璃外径0.1mm—0.2mm。
5、在所述母座的外侧设有手柄。
6、本实用新型采用上述技术方案所设计的一种用于平板晶圆检验外观的便携夹具，与传统二个人配合确认平板晶圆缺陷和脏污情况相比较，使用此夹具时，将平板晶圆放至母座与子压盖中间，使用螺丝将母座与子压盖通过螺母锁紧，平板晶圆固定在母座与子压盖中间，操作员单人手持夹具即可确认平板晶圆的缺陷和脏污情况，具有操作不便、省时省力和效率高的优点。
1.一种用于平板晶圆检验外观的便携夹具，包括母座和子压盖，其特征是在所述母座的内侧对称均匀设多个母座支架，在每个母座支架的内侧分别设凹槽，在母座上对称设两个丝杆；在子压盖的内侧对称均匀设数量与母座支架相同且相对应的多个子压盖支架，在子压盖上对称设两个通孔，两通孔分别与母座上的两丝杆相对应，子压盖通过相应的通孔、丝杆能够锁紧在母座上。
2.根据权利要求1所述的一种用于平板晶圆检验外观的便携夹具，其特征是所述子压盖锁紧在母座上后，相对应的母座支架和子压盖支架间留有空隙，母座支架与子压盖支架留有的空隙厚度应确保不会压伤晶圆，也不会使晶圆晃动。
3.根据权利要求1所述的一种用于平板晶圆检验外观的便携夹具，其特征是所述母座支架长度大于10mm，凹槽深度比平板晶圆厚度大0.08mm—0.2mm，凹槽直径尺寸大于玻璃外径0.1mm—0.2mm。
4.根据权利要求1所述的一种用于平板晶圆检验外观的便携夹具，其特征是在所述母座的外侧设有手柄。
