本技术涉及半导体加工制造设备，尤其涉及一种电极装置及热炉。
背景技术：
1、等离子体增强化学气相沉积设备是光伏电池片制造中较为常用的一种设备。该设备在工作过程中需要在炉管内放置石墨舟并通电，然后将工艺气体通入炉管，工艺气体在微波或射频的能量下被电离，等离子体反应后在硅片表面沉积生所需要的薄膜。
2、现有的技术方案中，通常将电极做成支撑石墨舟的垫块，支撑石墨舟的同时给石墨舟导电。这种石墨舟与电极垫块的硬接触方式，由于加工尺寸及装配位置的关系，石墨舟与电极垫块间可能会存在微小间隙，这种间隙会导致石墨舟与电极之间接触不良，从而引起通电工作不正常，严重时甚至会导致工艺膜质量问题。
技术实现思路
1、本实用新型的第一个目的在于提出一种电极装置，该电极装置采用弹片实现与舟结构的接触，当舟结构放入热炉内部的支撑件上时，电极装置能够与舟结构紧密抵接，确保舟结构能够稳定地通电。
2、本实用新型的第二个目的在于提出一种热炉，该热炉在工艺进行过程中，能够确保舟结构稳定地通电，有利于提升工艺良率。
3、为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：
4、本实用新型公开了一种电极装置，所述电极装置安装于热炉的炉口端，且所述电极装置内设有用于支撑舟结构的支撑件，所述电极装置包括：电极杆，所述电极杆相对于所述支撑件固定设置，且所述电极杆的第一端用于与射频电极相连；弹片，所述弹片安装于所述电极杆的第二端，所述弹片具有被配置为伸入所述舟结构底部并与所述舟结构抵接的抵接部，在竖直方向上，所述抵接部的上表面高于所述支撑件外周的最高点。
5、本实用新型的电极装置的有益效果：在舟结构放置到支撑件上的过程中，由于在竖直方向抵接部的上表面高于支撑件外周的最高点，抵接部先与舟结构接触，抵接部在舟结构的挤压下向下弯曲一段距离后，舟结构才与支撑件接触。当舟结构被稳定地安放在支撑件上时，抵接部处于向下弯曲的状态，抵接部的回弹趋势能够确保抵接部与舟结构紧密接触，当射频电极与电极杆连接完成后舟结构就能够稳定地导电，从而有利于提升工艺良率。
6、在一些实施例中，所述热炉内设置有两个平行设置的所述支撑件，两个所述支撑件用于接触所述舟结构的一侧共同形成一个支撑面；定义垂直于所述支撑件轴线方向的平面为投影面，所述支撑面与所述投影面垂直相交，所述抵接部在所述投影面上的投影位于所述支撑面靠近所述舟结构的一侧。
7、在一些实施例中，所述弹片还包括固定部和连接部，所述连接部的两端分别与所述固定部及所述抵接部相连，所述固定部安装于所述电极杆的第二端。
8、在一些实施例中，所述抵接部在水平方向上位于所述支撑件的一侧。
9、在一些实施例中，所述电极装置还包括安装座和连接件，所述安装座连接于所述电极杆的第二端，所述连接件穿过所述弹片与所述安装座相连，以将所述弹片固定在所述安装座上；其中：所述安装座包括水平部和竖直部，所述竖直部与所述电极杆相连，所述连接件穿过所述弹片与所述水平部相连。
10、在一些实施例中，所述电极装置还包括引出端子，所述引出端子穿设于热炉的炉口端，所述引出端子伸入所述热炉的一端与所述电极杆的第一端相连，所述引出端子伸出所述热炉的一端与所述射频电极相连。
11、在一些实施例中，所述电极装置还包括固定座，所述固定座的一端与所述电极杆相连，且与所述电极杆绝缘，另一端与所述支撑件相连；其中：所述固定座具有第一固定孔和第二固定孔，所述电极杆安装于所述第一固定孔内，所述支撑件安装于所述第二固定孔内。
12、在一些实施例中，所述电极装置还包括第一绝缘套，所述第一绝缘套套设于所述电极杆，所述电极杆的第一端伸出所述第一绝缘套。
13、本实用新型还公开了一种热炉，包括炉体、前文所述的电极装置和支撑件，所述炉体具有炉口法兰和炉尾法兰，所述支撑件的两端分别连接于所述炉口法兰和所述炉尾法兰，所述支撑件用于支撑舟结构，所述电极装置的弹片与放置于所述支撑件上的所述舟结构抵接。
14、本实用新型的热炉的有益效果：由于具有前文所述的电极装置，在工艺开始时，在舟结构放置到支撑件上的过程中，电极装置的弹片先与舟结构接触，弹片在舟结构的挤压下向下弯曲一段距离后，舟结构才与支撑件接触。当舟结构被稳定地安放在支撑件上时，弹片处于向下弯曲的状态，弹片回弹趋势能够确保弹片与舟结构紧密接触，当射频电极与电极杆连接完成后舟结构就能够稳定地导电，从而有利于提升工艺良率。
15、在一些实施例中，所述支撑件包括支撑杆和第二绝缘套，所述支撑杆的两端分别连接于所述炉口法兰和所述炉尾法兰，所述第二绝缘套套设于所述支撑杆，且用于支撑所述舟结构，所述第二绝缘套的外周最高点低于所述弹片的上表面。
16、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
1.一种电极装置，所述电极装置安装于热炉的炉口端，且所述热炉内设有用于支撑舟结构的支撑件，其特征在于，所述电极装置包括：
2.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述热炉内设置有两个平行设置的所述支撑件，两个所述支撑件用于接触所述舟结构的一侧共同形成一个支撑面；
3.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述弹片还包括固定部、连接部，所述连接部的两端分别与所述固定部及所述抵接部相连，所述固定部安装于所述电极杆的第二端。
4.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述抵接部在水平方向上位于所述支撑件的一侧。
5.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极装置还包括安装座和连接件，所述安装座连接于所述电极杆的第二端，所述连接件穿过所述弹片与所述安装座相连，以将所述弹片固定在所述安装座上；其中：所述安装座包括水平部和竖直部，所述竖直部与所述电极杆相连，所述连接件穿过所述弹片与所述水平部相连。
6.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极装置还包括引出端子，所述引出端子穿设于热炉的炉口端，所述引出端子伸入所述热炉的一端与所述电极杆的第一端相连，所述引出端子伸出所述热炉的一端与所述射频电极相连。
7.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极装置还包括固定座，所述固定座的一端与所述电极杆相连，且与所述电极杆绝缘，另一端与所述支撑件相连；其中：
8.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极装置还包括第一绝缘套，所述第一绝缘套套设于所述电极杆，所述电极杆的第一端伸出所述第一绝缘套。
9.一种热炉，其特征在于，包括炉体、如权利要求1-8中任一项所述的电极装置和支撑件，所述炉体具有炉口法兰和炉尾法兰，所述支撑件的两端分别连接于所述炉口法兰和所述炉尾法兰，所述支撑件用于支撑舟结构，所述电极装置的弹片与放置于所述支撑件上的所述舟结构抵接。
10.根据权利要求9所述的热炉，其特征在于，所述支撑件包括支撑杆和第二绝缘套，所述支撑杆的两端分别连接于所述炉口法兰和所述炉尾法兰，所述第二绝缘套套设于所述支撑杆，且用于支撑所述舟结构，所述第二绝缘套的外周最高点低于所述弹片的上表面。
