本技术涉及探针台,具体涉及一种手动探针台。
背景技术:
1、随着科技的快速发展,通讯领域的更换迭代越来越迅速,电路板产品的尺寸也越来越多样化。现有的一些晶圆检测台的局限性较大,只能实现某种特定尺寸或类型的电路板的测试,当需要对不同尺寸及不同类型的电路板样品进行测试时,需要购置不同类型的晶圆探针台以满足测试需求,这导致了测试成本的增加。因此,亟需一种适用于多种尺寸的新型晶圆探针台,以提高晶圆探针台的利用率,从而降低检测成本。
技术实现思路
1、鉴于此,本技术提供一种手动探针台,所述手动探针台可对不同尺寸的待检测样品进行检测。
2、本技术提供了一种手动探针台,所述手动探针台包括:安装台、样品架机构及第一探针,所述样品架机构包括底板、支撑件以及调节组件,所述底板设置于所述安装台上,所述支撑件设置于所述底板背离所述安装台的一侧,所述调节组件设置于所述支撑件背离所述底板的一端且可活动连接所述支撑件;所述调节组件围合成设置槽,所述设置槽用于设置待检测样品,所述设置槽的尺寸可调;所述第一探针设置于所述样品架机构,以对所述待检测样品进行检测。
3、进一步地,所述调节组件包括第一调节件、第二调节件、第三调节件及第四调节件,所述第一调节件与所述第二调节件均沿第一方向延伸,所述第一调节件与所述第二调节件沿第二方向间隔设置且均可相对所述支撑件沿第二方向移动,以调节所述第一调节件与所述第二调节件之间的距离;所述第三调节件与所述第四调节件均沿第二方向延伸,所述第三调节件与所述第四调节件沿第一方向间隔设置,所述第三调节件的相对两端分别沿第一方向可滑动连接所述第一调节件及第二调节件,所述第四调节件的相对两端分别沿第一方向可滑动连接所述第一调节件及第二调节件,以调节所述第三调节件与所述第四调节件之间的距离,其中,第一方向与第二方向相交。
4、进一步地,所述样品架机构还包括夹紧组件,所述夹紧组件设置于所述调节组件,用于夹持所述待检测样品。
5、进一步地,所述手动探针台还包括第一安装架,所述第一安装架与所述样品架机构设置于所述安装台的同一侧,且所述第一安装架可沿第一方向滑动连接所述安装台;所述第一探针设置于所述底板与所述调节组件之间,用于对所述待检测样品面向所述底板的一侧进行检测;所述手动探针台还包括第二探针,所述第二探针设置于所述第一安装架且位于所述调节组件背离所述安装台的一侧,用于对所述待检测样品背离所述底板的一侧进行检测。
6、进一步地,所述手动探针台还包括第二安装架及第一显微镜,所述第二安装架与所述样品架机构设置于所述安装台的同一侧,所述第二安装架可沿第二方向滑动连接所述安装台,所述第一显微镜可沿第一方向滑动连接所述第二安装架且设置于所述样品架机构背离所述安装台的一侧。
7、进一步地,所述手动探针台包括第一移动组件,所述第一移动组件包括第一轨道件及第一滑动件,所述第一轨道件设置于安装台上且沿第二方向延伸,所述第一滑动件设置于所述第二安装架且可沿第二方向滑动连接所述第一轨道件;所述第一移动组件还包括第一微调子组件,所述第一微调子组件与所述第一轨道件间隔设置于所述安装台的同一侧,所述第一微调子组件包括第一支架、第二支架、第一微调块及第一微调杆,所述第一支架及所述第二支架沿第二方向间隔设置,所述第一微调块位于所述第一支架及所述第二支架之间,所述第一微调块连接所述第一滑动件;所述第一微调杆依次穿设于所述第一支架、第一微调块及所述第二支架且分别可转动连接所述第一支架、第一微调块及所述第二支架,所述第一微调块具有第一内螺纹,所述第一微调杆具有第一外螺纹,第一微调块与第一微调杆螺纹连接;当所述第一微调杆转动,带动所述第一微调块沿第二方向相对所述第一微调杆移动,从而所述第一滑动件连同所述第二安装架沿第二方向相对所述安装台移动。
8、进一步地,所述手动探针台还包括第二移动组件,所述第二移动组件包括第二轨道件、第二滑动件及握持件,所述第二轨道件设置于所述第二安装架且沿第一方向延伸,所述第二滑动件连接所述第一显微镜且可沿第一方向滑动连接所述第二轨道件,以调整所述第一显微镜与样品架机构沿第一方向上的相对位置;所述握持件连接所述第二滑动件,通过握持所述握持件沿第一方向移动,可带动所述第二滑动件及所述第一显微镜移动。
9、进一步地,所述第二移动组件还包括第二微调子组件,所述第二微调子组件设置于所述第二安装架且与所述第二轨道件间隔设置,所述第二微调子组件包括第三支架、第四支架、第二微调杆及第一啮合件,所述第三支架及所述第四支架沿第二方向间隔设置,所述第二微调杆依次穿设于所述第三支架及所述第四支架且分别可转动连接所述第三支架及所述第四支架,所述第二微调杆的相背两端分别凸出于所述第三支架及所述第四支架;所述第二微调杆凸出于所述第三支架的一端连接所述第一啮合件;所述第二微调子组件还包括第五支架、第六支架、第二微调块、连接杆及第二啮合件,所述第五支架、所述第六支架及所述第二微调块沿第一方向间隔排布,所述第二微调块位于所述第五支架及所述第六支架之间,所述第二微调块连接所述第二滑动件;所述连接杆依次穿设于所述第五支架、第六支架及所述第二微调块且分别可转动连接所述第五支架、所述第六支架及所述第二微调块,所述第二微调块具有第二内螺纹,所述连接杆具有第二外螺纹,第二微调块与连接杆螺纹连接;所述连接杆部分凸出于所述第六支架且所述连接杆凸出于所述第六支架的一端连接所述第二啮合件,所述第二啮合件与所述第一啮合件相互啮合;当所述第二微调杆转动,带动所述第一啮合件转动,所述第一啮合件及所述第二啮合件啮合并带动所述连接杆转动,以使得所述第二微调块沿第一方向相对所述连接杆转动,从而带动所述第二滑动件连同所述第一显微镜移动。
10、进一步地,所述手动探针台还包括第一安装件,所述第一安装件可沿第一方向滑动连接所述第二安装架,所述第一显微镜可沿第三方向滑动连接所述第一安装件,以调整所述第一显微镜与所述样品架机构的相对位置,其中,所述第三方向与所述第一方向相交。
11、进一步地,所述手动探针台还包括第二显微镜及第二安装件,所述第二安装件用于安装所述第二显微镜且设置于所述样品架机构的底板,所述第二显微镜可沿第三方向滑动连接所述第二安装件;当所述调节组件围合成的设置槽用于设置待检测样品时,通过调整所述第二显微镜与所述第二安装件的相对位置,以调整所述第二显微镜与所述待检测样品之间的距离。
12、在本技术提供的手动探针台中,所述支撑件的相背两侧分别连接所述底板及所述调节组件,则所述样品架机构为双层结构,换言之,当所述样品架机构用于设置待检测样品时,所述调节组件与所述底板间隔设置,所述手动探针台可同时对所述待检测样品的相背两个表面进行检测。一方面,当所述待检测样品的相背两个表面都有需要测试的位点时,可同时对所述待检测样品的相背两个表面进行检测,以提升检测效率;另一方面,在一些特殊检测如对待检测样品进行射频检测时,需要通过第一探针和第二探针同时接触待检测样品的相背两个表面,以导通电路。本技术提供的手动探针台中可对所述待检测样品的相背两个表面同时接触,拓宽了所述手动探针台的应用场景,提升了所述手动探针台的利用率。进一步地,所述调节组件设置于所述支撑件背离所述底板的一端可活动连接所述支撑件,所述调节组件围合成设置槽,且所述设置槽的尺寸可调,则所述手动探针台可根据所述待检测样品的尺寸调节所述调节组件围合成的设置槽的尺寸,以使得所述手动探针台可适应不同尺寸的待检测样品,无需购置多种不同类型的手动探针台对特定尺寸的待检测样品进行检测,提高了所述手动探针台的利用率,也大大降低了检测成本。
1.一种手动探针台,其特征在于,所述手动探针台包括:
2.根据权利要求1所述的手动探针台,其特征在于,所述调节组件包括第一调节件、第二调节件、第三调节件及第四调节件,所述第一调节件与所述第二调节件均沿第一方向延伸,所述第一调节件与所述第二调节件沿第二方向间隔设置且均可相对所述支撑件沿第二方向移动,以调节所述第一调节件与所述第二调节件之间的距离;所述第三调节件与所述第四调节件均沿第二方向延伸,所述第三调节件与所述第四调节件沿第一方向间隔设置,所述第三调节件的相对两端分别沿第一方向可滑动连接所述第一调节件及第二调节件,所述第四调节件的相对两端分别沿第一方向可滑动连接所述第一调节件及第二调节件,以调节所述第三调节件与所述第四调节件之间的距离,其中,第一方向与第二方向相交。
3.根据权利要求2所述的手动探针台,其特征在于,所述样品架机构还包括夹紧组件,所述夹紧组件设置于所述调节组件,用于夹持所述待检测样品。
4.根据权利要求1至权利要求3任一项所述的手动探针台,其特征在于,所述手动探针台还包括第一安装架,所述第一安装架与所述样品架机构设置于所述安装台的同一侧,且所述第一安装架可沿第一方向滑动连接所述安装台;
5.根据权利要求4所述的手动探针台,其特征在于,所述手动探针台还包括第二安装架及第一显微镜,所述第二安装架与所述样品架机构设置于所述安装台的同一侧,所述第二安装架可沿第二方向滑动连接所述安装台,所述第一显微镜可沿第一方向滑动连接所述第二安装架且设置于所述样品架机构背离所述安装台的一侧。
6.根据权利要求5所述的手动探针台,其特征在于,所述手动探针台包括第一移动组件,所述第一移动组件包括第一轨道件及第一滑动件,所述第一轨道件设置于安装台上且沿第二方向延伸,所述第一滑动件设置于所述第二安装架且可沿第二方向滑动连接所述第一轨道件;
7.根据权利要求5所述的手动探针台,其特征在于,所述手动探针台还包括第二移动组件,所述第二移动组件包括第二轨道件、第二滑动件及握持件,所述第二轨道件设置于所述第二安装架且沿第一方向延伸,所述第二滑动件连接所述第一显微镜且可沿第一方向滑动连接所述第二轨道件,以调整所述第一显微镜与样品架机构沿第一方向上的相对位置;所述握持件连接所述第二滑动件,通过握持所述握持件沿第一方向移动,可带动所述第二滑动件及所述第一显微镜移动。
8.根据权利要求7所述的手动探针台,其特征在于,所述第二移动组件还包括第二微调子组件,所述第二微调子组件设置于所述第二安装架且与所述第二轨道件间隔设置,所述第二微调子组件包括第三支架、第四支架、第二微调杆及第一啮合件,所述第三支架及所述第四支架沿第二方向间隔设置,所述第二微调杆依次穿设于所述第三支架及所述第四支架且分别可转动连接所述第三支架及所述第四支架,所述第二微调杆的相背两端分别凸出于所述第三支架及所述第四支架;所述第二微调杆凸出于所述第三支架的一端连接所述第一啮合件;
9.根据权利要求8所述的手动探针台,其特征在于,所述手动探针台还包括第一安装件,所述第一安装件可沿第一方向滑动连接所述第二安装架,所述第一显微镜可沿第三方向滑动连接所述第一安装件,以调整所述第一显微镜与所述样品架机构的相对位置,其中,所述第三方向与所述第一方向相交。
10.根据权利要求4所述的手动探针台,其特征在于,所述手动探针台还包括第二显微镜及第二安装件,所述第二安装件用于安装所述第二显微镜且设置于所述样品架机构的底板,所述第二显微镜可沿第三方向滑动连接所述第二安装件;当所述调节组件围合成的设置槽用于设置待检测样品时,通过调整所述第二显微镜与所述第二安装件的相对位置,以调整所述第二显微镜与所述待检测样品之间的距离。
