本申请涉及特气传输，特别涉及一种特气传输控制方法及系统。
背景技术：
1、特气(特种气体)是指在半导体制造、实验室研究以及其他高科技产业中使用的高纯度气体。这些气体通常具有特殊的物理和化学性质，用于各种精密工艺过程中，例如蚀刻、沉积、清洗等。特气的质量直接影响到产品的性能和可靠性，因此对其传输和使用的精确控制至关重要。
2、在特气传输控制系统中，控制气体流量是非常关键的一步。为了确保达到所需的流量值，特气传输控制系统通常采用控制器来调整阀门开度。然而，现有的控制技术在面对快速变化的流量需求时，控制器响应较慢，导致系统无法迅速达到目标流量。
技术实现思路
1、本申请所要解决的技术问题是提供一种特气传输控制方法及系统，能够有效地提升特气传输控制的响应速度。具体方案如下：
2、根据本申请实施例的第一方面，提供一种特气传输控制方法，应用于1、一种特气传输控制方法，其特征在于，应用于特气传输控制系统中的控制设备，所述特气传输控制系统还包括特气供应源以及特气输送组件，所述特气输送组件用于将所述特气供应源中的特气输送到特气使用点，所述方法包括：
3、响应于特气传输指令，获得目标特气流量、所述特气传输控制系统中的实际特气流量以及实际特气流量变化率；
4、根据所述实际特气流量、所述目标特气流量以及预设的第一pid控制器，获得目标特气流量变化率；
5、根据所述目标特气流量变化率、所述实际特气流量变化率以及预设的第二pid控制器，获得所述特气传输控制系统中的特气输送组件的控制信号；
6、根据所述控制信号控制特气输送组件运行，以调节所述特气输送组件输送的特气流量。
7、上述的方法，可选的，所述根据所述控制信号控制特气输送组件运行之后，还包括：
8、若在预设的持续时长内，所述特气输送组件的实际特气流量未到达所述目标特气流量，则获取所述特气传输控制系统当前的环境参数；
9、将所述特气传输控制系统当前的环境参数输入到预先训练好的机器学习模型中，获得pid参数预测结果；所述pid参数预测结果包括第一目标pid参数和第二目标pid参数；
10、利用所述第一目标pid参数更新所述第一pid控制器，以及利用所述第二目标pid参数更新所述第二pid控制器，并返回执行根据所述实际特气流量、所述目标特气流量以及预设的第一pid控制器，获得目标特气流量变化率的步骤。
11、上述的方法，可选的，训练所述机器学习模型的过程，包括：
12、获取训练数据集以及初始机器学习模型；所述训练数据集包括多个训练样本，每个所述训练样本至少包括特气压力值、特气温度值、第一pid控制器参数和第二pid控制器参数；
13、利用所述训练数据集中的训练样本对所述初始机器学习模型进行训练；
14、在所述初始机器学习模型满足预设的训练完成条件的情况下，将满足所述训练完成条件的初始机器学习模型，作为训练好的机器学习模型。
15、上述的方法，可选的，所述获取所述特气传输控制系统当前的环境参数之后，还包括：
16、在所述环境参数中的特气温度超出预设的温度阈值，或者所述环境参数中的特气压力超出预设的压力阈值，则输出告警信息。
17、上述的方法，可选的，所述根据所述实际特气流量、所述目标特气流量以及预设的第一pid控制器，获得目标特气流量变化率，包括：
18、确定所述实际特气流量与所述目标特气流量之间的差值；
19、将所述实际特气流量与所述目标特气流量之间的差值，输入到所述第一pid控制器中，获得目标特气流量变化率。所述目标特气流量变化率为期望达到的特气流量变化率。
20、上述的方法，可选的，所述根据所述目标特气流量变化率、所述实际特气流量变化率以及预设的第二pid控制器，获得所述特气传输控制系统中的特气输送组件的控制信号，包括：
21、确定所述目标特气流量变化率与所述实际特气流量变化率之间的差值；
22、将所述目标特气流量变化率与所述实际特气流量变化率之间的差值，输入到所述第二pid控制器中，获得所述特气传输控制系统中的特气输送组件的控制信号。
23、上述的方法，可选的，所述获得目标特气流量，包括：
24、获取与所述特气相关联的反应物的目标流量；
25、根据所述反应物的目标流量以及预设的混合比例值，计算得到目标特气流量。
26、根据本申请实施例的第二方面，提供了一种特气传输控制系统，包括：
27、特气供应源、特气输送组件、检测组件以及控制设备；
28、所述特气供应源，用于存储特气；
29、所述特气输送组件，用于将所述特气供应源中的特气输送到特气使用点；
30、所述检测组件，用于实时检测所述特气传输控制系统中的实际特气流量以及实际特气流量变化率；
31、所述控制设备，用于响应于特气传输指令，获得目标特气流量以及所述检测组件检测到的实际特气流量和实际特气流量变化率；根据所述实际特气流量、所述目标特气流量以及预设的第一pid控制器，获得目标特气流量变化率；根据所述目标特气流量变化率、所述实际特气流量变化率以及预设的第二pid控制器，获得所述特气传输控制系统中的特气输送组件的控制信号；根据所述控制信号控制特气输送组件运行，以调节所述特气输送组件输送的特气流量。
32、上述的系统，可选的，所述特气输送组件，包括：
33、阀门和气泵中的至少一种；
34、相应的，所述控制设备，用于根据所述控制信号调节所述阀门的开度和/或所述气泵的转速。
35、上述的系统，可选的，所述特气供应源，包括：
36、气瓶柜、吹扫面板以及净化器；
37、所述气瓶柜，用于存储特气；
38、所述吹扫面板，用于使用惰性气体吹扫所述特气的输送管路；
39、所述净化器，用于对所述气瓶柜中的特气进行净化处理。
40、基于上述本申请实施提供的一种特气传输控制方法及系统，特气传输控制系统包括控制设备、特气供应源以及特气输送组件，所述特气输送组件用于将所述特气供应源中的特气输送到特气使用点，所述方法包括：响应于特气传输指令，获得目标特气流量、所述特气传输控制系统中的实际特气流量以及实际特气流量变化率；根据所述实际特气流量、所述目标特气流量以及预设的第一pid控制器，获得目标特气流量变化率；根据所述目标特气流量变化率、所述实际特气流量变化率以及预设的第二pid控制器，获得所述特气传输控制系统中的特气输送组件的控制信号；根据所述控制信号控制特气输送组件运行，以调节所述特气输送组件输送的特气流量。能够有效地提升特气传输控制的响应速度。
1.一种特气传输控制方法，其特征在于，应用于特气传输控制系统中的控制设备，所述特气传输控制系统还包括特气供应源以及特气输送组件，所述特气输送组件用于将所述特气供应源中的特气输送到特气使用点，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述控制信号控制特气输送组件运行之后，还包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，训练所述机器学习模型的过程，包括：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述获取所述特气传输控制系统当前的环境参数之后，还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述实际特气流量、所述目标特气流量以及预设的第一pid控制器，获得目标特气流量变化率，包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标特气流量变化率、所述实际特气流量变化率以及预设的第二pid控制器，获得所述特气传输控制系统中的特气输送组件的控制信号，包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获得目标特气流量，包括：
8.一种特气传输控制系统，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述特气输送组件，包括：
10.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述特气供应源，包括：
