遮挡件及蒸镀设备的制作方法

allin2026-07-16  26


本申请涉及蒸发镀膜,具体而言,涉及一种遮挡件及蒸镀设备。


背景技术:

1、蒸镀设备在对基材进行蒸镀工序时,需要将蒸镀装置的膜料蒸发至基材上。在蒸镀装置和基材之间可以设置遮挡件,遮挡件可以控制膜料在基材上的分布情况,也可以降低蒸镀装置直接面向基材而灼损基材的风险。然而,遮挡件容易吸附膜料,造成膜料的浪费,增加了蒸镀加工的成本。


技术实现思路

1、本申请实施例提供一种遮挡件及蒸镀设备,以降低蒸镀加工的成本。

2、第一方面,本申请实施例提供一种遮挡件,用于分隔基材和蒸镀装置,遮挡件包括隔热层和加热层,加热层与隔热层层叠设置,且加热层设置于隔热层面向蒸镀装置的一侧。

3、上述技术方案中,通过将加热层设置于隔热层面向蒸镀装置的一侧,在加热层加热时,隔热层能够隔绝加热层的热量,降低加热层的加热和蒸镀装置的蒸发高温对基材的影响。通过将加热层设置于面向蒸镀装置的一侧,在蒸镀装置蒸发膜料时,膜料蒸发向基材上附着,遮挡件的加热层加热,使得膜料不容易在遮挡件上冷凝,从而减少了由于膜料附着在遮挡件上造成的膜料损耗,降低了蒸镀加工的成本。

4、在一些实施例中,遮挡件还包括冷却层,冷却层与隔热层层叠设置,且冷却层设置于隔热层背离加热层的一侧。通过将冷却层与隔热层层叠设置,且冷却层设置于隔热层背离加热层的一侧,冷却层能够靠近基材设置,从而促进膜料在基材上的冷凝,提升蒸镀加工的蒸镀效率。冷却层还可以对其周围换进降温,降低隔热层和蒸镀装置的高温对基材的影响。

5、在一些实施例中,冷却层、隔热层和加热层沿第一方向层叠设置,沿第一方向,加热层的投影位于隔热层内。

6、上述实施例中,加热层沿第一方向的投影位于隔热层内,可以使得隔热层分隔冷却层和加热层,降低加热层的高温加热对冷却层的影响,隔热层也可以遮挡加热层的高温,降低加热层的高温对基材的影响。

7、在一些实施例中,冷却层内部形成流道,流道用于容纳冷却介质。通过在冷却层的内部形成流道,冷却层通过在其内部流道流通冷却介质以降低冷却层的温度,有助于冷却层的温度调控,冷却效果好。

8、在一些实施例中,遮挡件还包括锁附件,锁附件被配置为锁附冷却层、隔热层和加热层。通过锁附件锁附遮挡件的冷却层、隔热层和加热层,有助于固定冷却层、隔热层和加热层的位置,提升隔热层对冷却层和加热层的隔热作用;也有利于统一调整冷却层、隔热层和加热层的位置。

9、在一些实施例中,冷却层和隔热层分别具有第一贯穿孔和第二贯穿孔,第一贯穿孔和第二贯穿孔连通,加热层具有安装孔,锁附件穿过第一贯穿孔和第二贯穿孔与安装孔配合。

10、上述实施例中,锁附件穿过第一贯穿孔和第二贯穿孔与安装孔配合,以实现锁附件对冷却层、隔热层和加热层的锁附。

11、在一些实施例中,隔热层和加热层沿第一方向层叠设置。在垂直于第一方向的投影平面内,加热层的正投影的面积为s1,隔热层的正投影的面积为s,0.8≤s1/s≤1。当s1/s≥0.8时,加热层能够进一步地覆盖第一表面,减少第一表面上膜料的附着,降低了蒸镀加工的成本;当s1/s≤1时,隔热层能够遮挡加热层,以减少加热层的热量扩散至靠近基材的一侧,降低加热层的热量对基材的影响;因此,当0.8≤s1/s≤1时,能够兼顾降低蒸镀加工的成本和降低加热层的热量对基材的影响。

12、在一些实施例中,加热层包括板体和加热件,板体设置于隔热层面向蒸镀装置的一侧,加热件埋设于板体。通过将加热件埋设与板体,能够减少加热件与外界的接触,延长加热件的寿命,也能够增强加热件对板体的加热效果,减少热量的流失。

13、在一些实施例中,隔热层的材质为陶瓷、碳纤维或石墨。

14、第二方面,本申请实施例提供一种蒸镀设备,包括蒸镀装置、支架和第一方面任意一个实施例提供的遮挡件。蒸镀装置用于蒸发膜料。遮挡件连接于支架,支架用于将遮挡件保持在蒸镀装置和基材之间。

15、在一些实施例中,遮挡件与蒸镀装置沿第一方向排布,遮挡件沿第二方向位置可调地设置于支架,第二方向与第一方向相交。通过将遮挡件位置可调地设置于蒸镀装置和基材之间,可以根据基材和蒸镀装置的位置设置遮挡件的位置,提升遮挡件的使用性能。



技术特征:

1.一种遮挡件,用于分隔基材和蒸镀装置,其特征在于,所述遮挡件包括隔热层和加热层,所述加热层与所述隔热层层叠设置,且所述加热层设置于所述隔热层面向所述蒸镀装置的一侧。

2.如权利要求1所述的遮挡件,其特征在于,所述遮挡件还包括冷却层,所述冷却层与所述隔热层层叠设置,且所述冷却层设置于所述隔热层背离所述加热层的一侧。

3.如权利要求2所述的遮挡件,其特征在于,所述冷却层、所述隔热层和所述加热层沿第一方向层叠设置,沿所述第一方向,所述加热层的投影位于所述隔热层内。

4.如权利要求2所述的遮挡件,其特征在于,所述冷却层内部形成流道,所述流道用于容纳冷却介质。

5.如权利要求2所述的遮挡件,其特征在于,所述遮挡件还包括锁附件,所述锁附件被配置为锁附所述冷却层、所述隔热层和所述加热层。

6.如权利要求5所述的遮挡件,其特征在于,所述冷却层和所述隔热层分别具有第一贯穿孔和第二贯穿孔,所述第一贯穿孔和所述第二贯穿孔连通,所述加热层具有安装孔,所述锁附件穿过所述第一贯穿孔和所述第二贯穿孔与所述安装孔配合。

7.如权利要求1-6任一项所述的遮挡件,其特征在于,所述隔热层和所述加热层沿第一方向层叠设置;

8.如权利要求1-6任一项所述的遮挡件,其特征在于,所述加热层包括板体和加热件,所述板体设置于所述隔热层面向所述蒸镀装置的一侧,所述加热件埋设于所述板体。

9.如权利要求1-6任一项所述的遮挡件,其特征在于,所述隔热层的材质为陶瓷、碳纤维或石墨。

10.一种蒸镀设备,其特征在于,包括:

11.如权利要求10所述的蒸镀设备,其特征在于,所述遮挡件与所述蒸镀装置沿第一方向排布,所述遮挡件沿第二方向位置可调地设置于所述支架,所述第二方向与所述第一方向相交。


技术总结
本申请实施例提供了一种遮挡件及蒸镀设备,遮挡件用于分隔基材和蒸镀装置,遮挡件包括隔热层和加热层,加热层与隔热层层叠设置,且加热层设置于隔热层面向蒸镀装置的一侧。通过将加热层设置于隔热层面向蒸镀装置的一侧,在加热层加热时,隔热层能够隔绝加热层的热量,降低加热层的加热和蒸镀装置的蒸发高温对基材的影响。通过将加热层设置于面向蒸镀装置的一侧,在蒸镀装置蒸发膜料时,膜料蒸发向基材上附着,遮挡件的加热层加热,使得膜料不容易在遮挡件上冷凝,从而减少了由于膜料附着在遮挡件上造成的膜料损耗,降低了蒸镀加工的成本。

技术研发人员:张博,刘萧松,李克强
受保护的技术使用者:宁德时代新能源科技股份有限公司
技术研发日:20240805
技术公布日:2024/10/31
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