本发明涉及一种光刻胶收容容器的盖装置，涉及与通过注入气体来排出内部的光刻胶水溶液的收容容器相结合，从而防止因压力而意外分离的光刻胶收容容器的盖装置。
背景技术：
1、通常，光刻工艺包括使预先进行了一系列半导体制造工艺的晶圆位于涂敷装置的旋转卡盘(spin chuck)上来涂敷(coating)光刻胶(photoresist)的工艺。
2、其中，光刻胶包括树脂(resin)、作为通过光活性化的光敏剂的抑制剂(inhibitor)和液相(liquid state)的溶剂(solvent)，这种光刻胶在收容于由玻璃瓶制成的收容容器的状态下通过与收容容器盖相结合的光刻胶供给管(特氟龙管)来供给到光刻胶供给管线，这样用光刻胶供给管线供给的光刻胶将经由多个阀门和中间罐来被供给到涂敷装置。
3、其中，使用用于供给光刻胶水溶液的收容容器及与之相结合的盖装置，通过向收容容器内部供给高压气体来排出内部的光刻胶水溶液，从而传递到供给管。
4、在此情况下，在收容容器设置用于排出光刻胶水溶液并同时向内部供给高压气体的盖装置，但由于收容容器内部维持高压状态，因而会产生盖装置的一部分意外分离的问题。
5、尤其，在盖装置的一部分意外分离的情况下，使用人员有可能被分离的部分打到或因内部的光刻胶水溶液部分飞散到使用人员的身体而发生安全事故。
6、因此，需要开发用于解决这种问题的技术。
7、现有技术文献
8、专利文献
9、专利文献0001：韩国公开专利10-2004-17479号
技术实现思路
1、本发明用于解决上述现有技术的问题，涉及与通过高压注入气体来排出内部的光刻胶水溶液的收容容器相结合而可在因压力而使盖装置部分分离的情况下排出气体的光刻胶收容容器的盖装置。
2、本发明的目的并不局限于以上所提及的目的，未提及的其他目的可由本领域技术人员通过以下记载明确理解。
3、用于实现上述目的的本发明涉及与在内部收容光刻胶水溶液的收容容器的开口部分相结合来封闭内部并向外部排出上述光刻胶水溶液的盖装置，其包括：引导模块，与上述收容容器的上端部相结合，设置有按预设角度向上倾斜并突出的倾斜突出单元，并形成有使上述收容空间的内外部连通的连通口；排出模块，延伸形成为管道形态，使得长度方向上的一侧贯通上述连通口并配置于上述收容容器的内部，另一侧向外部露出并形成排出口，并在长度方向上的中间部扩张形成扩张固定单元来使得周围的至少一部分与上述连通口的内部面相接触并插入固定；以及固定模块，以使上述排出模块的另一侧一部分贯通的状态与上述倾斜突出单元固定结合，以朝向上述引导模块对上述排出模块施加压力的方式形成，上述连通口使得内径在至少一部分区域朝向收容容器的内部减少来实现压接固定。
4、并且，上述排出模块还可包括：流路单元，延伸形成来使一部分配置于上述收容容器的内部，并在内部形成排出流路；以及连接单元，从上述扩张固定单元延伸突出来向外部露出，形成有从上述排出流路延伸的排出口。
5、并且，上述倾斜突出单元还可包括突出压迫部，上述突出压迫部形成于沿着上述连通口的内部面的至少一部分，朝向中心突出形成，以与上述扩张固定单元相接触。
6、并且，上述突出压迫部可形成有沿着长度方向倾斜规定角度并突出形成的第一倾斜面。
7、并且，本发明的特征在于，上述倾斜突出单元可形成有在上述连通口的内部与上述第一倾斜面连续并沿着相反的方向倾斜的第二倾斜面，倾斜角度相对大于上述第一倾斜面。
8、并且，上述倾斜突出单元还可包括减压部，上述减压部形成于沿着倾斜突出单元的周围的至少一部分，在上述扩张固定单元从上述连通口的内部被推出预设长度以上来沿着上述连接单元的方向滑动的情况下，向外部排出上述收容容器的内部的气体。
9、并且，上述减压部可形成为沿着上述连通口的周围的至少一部分使内外部连通的孔状，当上述扩张固定单元向后方移动时开放。
10、并且，上述减压部可在上述倾斜突出单元的上端末端部形成狭缝状，当上述扩张固定单元向后方移动时开放。
11、并且，上述固定模块可包括：结合单元，使上述连接单元贯通，以与上述扩张固定单元相接触的状态包围上述倾斜突出单元并固定，在外侧面的上端形成环形的杆；以及调节单元，以可旋转的方式结合于上述结合单元的外周面，形成有与上述杆相对应的多个弹性片，来在预设水平下使上述结合单元进行旋转，以朝向上述收容容器的方向对上述扩张固定单元施加压力的方式进行调节。
12、并且，本发明可包括：结合单元，使上述排出模块的另一侧一部分贯通，以与上述扩张固定单元相接触的状态包围上述倾斜突出单元的至少一部分；以及调节单元，形成规定长度，中间部固定于上述结合单元，通过长度方向上的一侧选择性地与上述倾斜突出单元相接触来对是否与上述结合单元结合进行调节，通过操作上述调节单元来朝向上述收容容器的方向对上述扩张固定单元施加压力，防止朝向相反方向的脱离。
13、并且，上述倾斜突出单元可在外侧面的至少一部分形成呈锯齿状的卡定突起部，上述卡定突起部沿着突出的长度方向连续形成多个，上述调节单元可通过使一侧末端部与上述卡定突起部中的至少一部分啮合来选择性地固定。
14、用于实现上述目的的本发明的光刻胶收容容器的盖装置具有如下效果。
15、本发明的盖装置包括：引导模块，设置有突出的连通口；排出模块，贯通连通口，用于向外部排出光刻胶水溶液；以及固定模块，用于维持排出模块和引导模块的结合，排出模块插入固定于收容容器内部，连通口的内径沿着长度方向减小，从而可在越朝向连通口对扩张固定单元施加压力的情况下实现稳定的固定及密封。
16、本发明的效果并不局限于以上所提及的效果，未提及的其他效果可由本领域的技术人员通过发明要求保护范围中的记载明确理解。
1.一种盖装置，与在内部收容光刻胶水溶液的收容容器的开口部分相结合来密封内部并向外部排出上述光刻胶水溶液，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的盖装置，其特征在于，上述排出模块还包括：
3.根据权利要求2所述的盖装置，其特征在于，上述倾斜突出单元还包括突出压迫部，上述突出压迫部形成于沿着上述连通口的内部面的至少一部分，朝向中心突出形成，以与上述扩张固定单元相接触。
4.根据权利要求3所述的盖装置，其特征在于，上述突出压迫部形成有沿着长度方向倾斜规定角度并突出形成的第一倾斜面。
5.根据权利要求4所述的盖装置，其特征在于，上述倾斜突出单元形成有在上述连通口的内部与上述第一倾斜面连续并沿着相反的方向倾斜的第二倾斜面，倾斜角度相对大于上述第一倾斜面。
6.根据权利要求2所述的盖装置，其特征在于，上述倾斜突出单元还包括减压部，上述减压部形成于沿着倾斜突出单元的周围的至少一部分，在上述扩张固定单元从上述连通口的内部被推出预设长度以上来沿着上述连接单元的方向滑动的情况下，向外部排出上述收容容器的内部的气体。
7.根据权利要求6所述的盖装置，其特征在于，上述减压部形成为沿着上述连通口的周围的至少一部分使内外部连通的孔状，当上述扩张固定单元向后方移动时被开放。
8.根据权利要求6所述的盖装置，其特征在于，上述减压部在上述倾斜突出单元的上端末端部以狭缝状形成，当上述扩张固定单元向后方移动时被开放。
9.根据权利要求2所述的盖装置，其特征在于，
10.根据权利要求9所述的盖装置，其特征在于，
