本发明涉及一种气体测定装置。
背景技术：
1、当前，作为测定气体浓度的方法，已知激光吸收分光法。激光吸收分光法是通过利用气体中的分子吸收特定波长的光之类的特性，对从气体中通过的激光的吸光度进行测定而测定气体浓度的方法。
2、从气体通过的激光的光路长度越长，激光吸收分光法的测定精度越高。在测定配管、管道等中的气体浓度的情况下，配管、管道等的大小存有极限，因此已知通过使激光往返多次而延长光路长度并测定气体浓度的多重反射的方法。
3、例如，专利文献1公开了作为多重反射的方法而利用赫里奥特池(herriott cell)的结构。
4、专利文献1：日本特开2019-215211号公报
5、作为利用多重反射的激光吸收分光法的课题，能举出改善用于测定的部件的位置发生了变动时的测定的稳定性、反射激光时的光量的衰减等各种特性。
技术实现思路
1、因此，本发明的目的在于，提供一种能够改善利用多重反射的激光吸收分光法的各种特性的气体测定装置。
2、几个实施方式涉及的气体测定装置是通过激光吸收分光法而测定气体浓度的气体测定装置，具有：第1角锥棱镜或者第1直角棱镜；第2角锥棱镜或者第2直角棱镜，其与所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜相对配置；激光源，其向所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜射出激光；以及受光元件，其接受在所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜与所述第2角锥棱镜或者所述第2直角棱镜之间从被测定气体通过而反射多次后的所述激光，所述第2角锥棱镜或者所述第2直角棱镜配置为，使得与以所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜的入射位置和出射位置为中心的入射出射光平行的中心线和与以所述第2角锥棱镜或者所述第2直角棱镜的入射位置和出射位置为中心的入射出射光平行的中心线错开。根据这种气体测定装置，能够改善利用多重反射的激光吸收分光法的各种特性。
3、关于一个实施方式涉及的气体测定装置，可以根据所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜的所述中心线与所述第2角锥棱镜或者所述第2直角棱镜的所述中心线错开的距离，调整所述激光在所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜与所述第2角锥棱镜或者所述第2直角棱镜之间反射的次数。由此，能够容易地调整激光被反射的次数。
4、关于一个实施方式涉及的气体测定装置，所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜的入射面、以及所述第2角锥棱镜或者所述第2直角棱镜的入射面可以相对于与所述激光源向所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜射出所述激光的方向垂直的平面而倾斜。由此，能够减弱因来自入射面的不必要的反射产生的影响。
5、关于一个实施方式涉及的气体测定装置，所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜的入射面、以及所述第2角锥棱镜或者所述第2直角棱镜的入射面可以与在内部具有所述被测定气体的配管设置的窗玻璃紧贴。由此，能够防止在第1角锥棱镜或者第1直角棱镜的入射面、以及第2角锥棱镜或者第2直角棱镜的入射面与设置于配管的窗玻璃之间形成间隙。
6、关于一个实施方式涉及的气体测定装置，如果将所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜的所述中心线与所述第2角锥棱镜或者所述第2直角棱镜的所述中心线错开的方向设为第1方向，将所述激光向所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜射入的方向设为第3方向，将与所述第1方向以及所述第3方向相正交的方向设为第2方向，则所述激光源可以配置于在所述第2方向上相对于中心以规定的距离而错开的位置。由此，气体测定装置能够测定气体分布的广阔范围的气体浓度。
7、关于一个实施方式涉及的气体测定装置，所述激光源可以相对于所述第1角锥棱镜或者所述第1直角棱镜的入射面倾斜地射出所述激光。由此，通过对从激光源射出的激光向棱镜的入射角度进行变更，从而能够调整反射次数，另外，能够减弱因在棱镜入射出射面产生的不必要的反射引起的光学干涉的影响。
8、发明的效果
9、根据本发明，能够提供一种能改善利用多重反射的激光吸收分光法的各种特性的气体测定装置。
1.一种气体测定装置，其通过激光吸收分光法而测定气体浓度，其中，
2.根据权利要求1所述的气体测定装置，其中，
3.根据权利要求1所述的气体测定装置，其中，
4.根据权利要求1所述的气体测定装置，其中，
5.根据权利要求1所述的气体测定装置，其中，
6.根据权利要求1所述的气体测定装置，其中，
