本技术涉及半导体制造,尤其涉及一种单晶硅生产停电后的复电恢复方法、装置、设备及介质。
背景技术:
1、在直拉法单晶生产过程中,一般是通过外网电经过电源柜的整流后输出到单晶炉设备以及生产系统如加热系统、控制系统、真空系统、气路系统、驱动系统等,同时输出到不间断电源ups(uninterruptible power supply)充电,ups用于在外网停电后应急时切换并为单晶炉设备以及相关的生产系统提供电源。
2、单晶炉设备是一种需要水电真空不间断循环的设备,如果生产过程中断电是非常危险的,对生产造成不可逆的损失。
3、目前,单晶硅生产过程中如果停电,则需要人工监测是否复电并在复电后进行生产恢复操作。这种人工恢复的方式,对人工的技能水平要求较高,就可能存在恢复操作不准确的情况。
技术实现思路
1、鉴于上述问题,本技术提供了一种单晶硅生产停电后的复电恢复方法、装置、设备及介质,以提高单晶硅生产停电后复电恢复的控制准确性。具体方案如下:
2、本技术第一方面提供一种单晶硅生产停电后的复电恢复方法,包括:
3、在电源柜断电后,监测所述电源柜是否复电;所述电源柜用于连接外网电并将外网电提供给单晶炉设备,所述单晶炉设备用于生产单晶硅;且,所述单晶炉设备在所述电源柜断电后从不间断电源获得电能;
4、在监测到所述电源柜复电的情况下,获得复电所用时长,所述复电所用时长表征从所述电源柜断电到复电的持续时长;
5、根据所述复电所用时长,获得复电恢复规则;所述复电恢复规则包含所述单晶炉设备对应的每个生产系统对应的恢复运行参数;所述生产系统用于支撑所述单晶炉设备生产单晶硅;
6、按照所述复电恢复规则中的恢复运行参数,控制所述生产系统运行。
7、在一种可能的实现中,所述复电所用时长所处的时长范围不同,所获得到的复电恢复规则不同。
8、在一种可能的实现中,所述复电所用时长小于或等于第一阈值的情况下,所述复电恢复规则中每个所述生产系统对应的恢复运行参数与所述电源柜断电之前相应的所述生产系统的历史运行参数一致;
9、在所述复电所用时长大于所述第一阈值且小于或等于第二阈值的情况下,所述复电恢复规则包含:每个所述生产系统分别在至少一个恢复阶段对应的恢复运行参数;不同的所述生产系统对应的恢复阶段的数量相同或不同;同一所述生产系统在不同的所述恢复阶段对应的恢复运行参数不同;
10、在所述复电所用时长大于所述第二阈值的情况下,所述复电恢复规则包含:每个所述生产系统分别在多个恢复阶段对应的恢复运行参数;每个所述生产系统对应的恢复阶段的数量相同;同一所述生产系统在不同的所述恢复阶段对应的恢复运行参数相同或不同。
11、在一种可能的实现中,每个所述生产系统各自对应的所述恢复阶段之间具有阶段次序;
12、其中,在所述复电所用时长大于所述第一阈值的情况下,每个所述生产系统在最后一个恢复阶段对应的恢复运行参数与所述电源柜断电之前相应的所述生产系统的历史运行参数一致。
13、在一种可能的实现中,所述生产系统至少包括:真空系统、驱动系统、气路系统、加热系统、控制系统;所述控制系统用于控制所述驱动系统运行,所述驱动系统用于驱动所述单晶炉设备;所述加热系统用于对所述单晶炉设备加热;所述真空系统用于为所述单晶炉设备提供无污染环境;所述气路系统用于保持所述单晶炉设备的压力稳定;
14、其中,在所述复电所用时长大于所述第一阈值且小于或等于所述第二阈值的情况下,在所述复电恢复规则中,所述真空系统对应有两个恢复阶段,所述加热系统、所述气路系统、所述控制系统和所述驱动系统分别对应有一个恢复阶段;所述复电恢复规则包括:所述真空系统在第一恢复阶段对应的第一运行参数和第二恢复阶段的第二运行参数;以及,所述加热系统、所述气路系统、所述控制系统和所述驱动系统各自在其恢复阶段的恢复运行参数;
15、在所述复电所用时长大于所述第二阈值的情况下,在所述复电恢复规则中,所述真空系统、所述加热系统、所述气路系统、所述控制系统和所述驱动系统分别具有四个恢复阶段;所述复电恢复规则包括:每个所述生产系统分别在每个恢复阶段对应的恢复运行参数。
16、在一种可能的实现中,所述生产系统至少包括:控制系统和驱动系统,所述控制系统用于控制所述驱动系统运行,所述驱动系统用于驱动所述单晶炉设备;
17、其中,监测电源柜是否复电,至少包括:
18、监测所述控制系统与所述电源柜之间的通信状态;
19、在监测到所述通信状态表征所述控制系统与所述电源柜之间通信顺畅的情况下,确定所述电源柜复电。
20、在一种可能的实现中,获得复电所用时长,至少包括:
21、从计时器中读取其所记录的时长,以得到复电所用时长;所述计时器在所述电源柜被监测到断电时开始计时并在所述电源柜被监测到复电时停止计时;
22、其中,所述电源柜被监测到断电,包括:所述电源柜被监测到与所述控制系统之间的所述通信状态表征所述控制系统与所述电源柜之间通信中断。
23、本技术第二方面提供一种单晶硅生产停电后的复电恢复装置,包括:
24、复电监测单元,用于在电源柜断电后,监测所述电源柜是否复电;所述电源柜用于连接外网电并将外网电提供给单晶炉设备,所述单晶炉设备用于生产单晶硅;且,所述单晶炉设备在所述电源柜断电后从不间断电源获得电能;
25、时长获得单元,用于在监测到所述电源柜复电的情况下,获得复电所用时长,所述复电所用时长表征从所述电源柜断电到复电的持续时长;
26、规则获得单元,用于根据所述复电所用时长,获得复电恢复规则;所述复电恢复规则包含所述单晶炉设备对应的每个生产系统对应的恢复运行参数;所述生产系统用于支撑所述单晶炉设备生产单晶硅;
27、恢复控制单元,用于按照所述复电恢复规则中的恢复运行参数,控制所述生产系统运行。
28、本技术第三方面提供一种计算机程序产品,包括计算机可读指令,当所述计算机可读指令在电子设备上运行时,使得所述电子设备实现上述第一方面或第一方面任一实现方式的单晶硅生产停电后的复电恢复方法。
29、本技术第四方面提供一种电子设备,包括至少一个处理器和与所述处理器连接的存储器,其中:
30、所述存储器用于存储计算机程序;
31、所述处理器用于执行所述计算机程序,以使所述电子设备能够实现上述第一方面或第一方面任一实现方式的单晶硅生产停电后的复电恢复方法。
32、本技术第五方面提供一种计算机存储介质,所述存储介质承载有一个或多个计算机程序,当所述一个或多个计算机程序被电子设备执行时,能够使所述电子设备上述第一方面或第一方面任一实现方式的单晶硅生产停电后的复电恢复方法。
33、借由上述技术方案,本技术提供的单晶硅生产停电后的复电恢复方法、装置、设备及介质中,在为单晶炉设备提供外网电的电源柜断电后,监测电源柜是否复电,如果监测到复电,那么首先获得复电所用时长,即从电源柜断电到复电的持续时长,这样可以根据复电所用时长,获得复电恢复规则,该复电恢复规则中包含单晶炉设备对应的每个生产系统对应的恢复运行参数,最后按照复电恢复规则中的恢复运行参数控制生产系统运行,这样就可以恢复单晶炉设备的正常运行。可见,本技术中无需人工参与,而是对电源柜是否复电进行监测,然后根据从电源柜断电到复电的持续时长获得相应的每个生产系统对应的恢复运行参数,这样就可以更加准确的控制生产系统恢复运行,由此提高复电恢复的控制准确性。
1.一种单晶硅生产停电后的复电恢复方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述复电所用时长所处的时长范围不同,所获得到的复电恢复规则不同。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述复电所用时长小于或等于第一阈值的情况下,所述复电恢复规则中每个所述生产系统对应的恢复运行参数与所述电源柜断电之前相应的所述生产系统的历史运行参数一致;
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,每个所述生产系统各自对应的所述恢复阶段之间具有阶段次序;
5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述生产系统至少包括:真空系统、驱动系统、气路系统、加热系统、控制系统;所述控制系统用于控制所述驱动系统运行,所述驱动系统用于驱动所述单晶炉设备;所述加热系统用于对所述单晶炉设备加热;所述真空系统用于为所述单晶炉设备提供无污染环境;所述气路系统用于保持所述单晶炉设备的压力稳定;
6.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述生产系统至少包括:控制系统和驱动系统,所述控制系统用于控制所述驱动系统运行,所述驱动系统用于驱动所述单晶炉设备;
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,获得复电所用时长,至少包括:
8.一种单晶硅生产停电后的复电恢复装置,其特征在于,包括:
9.一种电子设备,其特征在于,包括至少一个处理器和与所述处理器连接的存储器,其中:
10.一种计算机存储介质,其特征在于,所述存储介质承载有一个或多个计算机程序,当所述一个或多个计算机程序被电子设备执行时,能够使所述电子设备实现如权利要求1至7中任意一项所述的单晶硅生产停电后的复电恢复方法。
