1.本实用新型涉及掩模板技术领域，具体为一种掩膜板七格运输台车。
背景技术：2.掩膜板是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得，常用加工设备为直写式光刻设备，如激光直写光刻机、电子束光刻机等应用十分广泛。
3.掩膜板由于较薄在运输途中容易产生变形、磕碰造成损坏，使材料浪费、生产成本增加，因此我们需要一种可以对掩膜板保护的掩膜板用运输车。
技术实现要素：4.本实用新型的目的在于提供一种掩膜板七格运输台车，通过设置卡槽使掩膜板可以卡在卡槽内，通过设置多个卡槽使每个掩膜板可以分开装载，通过设置限位板使掩膜板在卡槽内不会晃动。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种掩膜板七格运输台车，包括车体，所述车体包括车厢和车门，所述车门设置有两个，所述车厢呈矩形设置，所述车厢包括顶板、侧板和底板，所述侧板设置有两个，两个所述侧板呈对称设置，两个所述车门分别铰接在其中一个侧板的两端，所述车厢内焊接有卡槽，所述底板的下表面通过螺丝安装有万向轮，所述卡槽内设置有限位组件，所述车厢内壁的两侧均焊接有限位框，所述车厢的外部焊接有把手。
6.优选的，所述卡槽设置有多个，多个所述卡槽呈线性排列设置，所述卡槽设置有两排，两排所述卡槽分别焊接在顶板和底板的一侧，所述万向轮设置有四个，四个所述万向轮分别固定在底板的四个拐角。
7.优选的，两个所述限位框分别焊接在两个侧板的一侧，所述把手设置有多个，多个所述把手焊接在侧板的另一侧，所述顶板、侧板、底板和车门均包括横杆和竖杆，所述横杆的一侧与竖杆呈正交焊接。
8.优选的，所述横杆的另一侧焊接有钣金片，四个所述钣金片的相邻边相互焊接，所述车厢与车门之间设置有密封条，所述密封条胶接在车厢的一侧。
9.优选的，所述车门一侧的横杆与竖杆相互焊接成外框，所述外框的一侧包裹有防撞硅胶条，所述卡槽呈凹字形设置，所述限位组件包括滚轮。
10.优选的，所述滚轮呈圆柱形设置，所述滚轮设置有多个，多个所述滚轮呈线性排列设置，所述滚轮的两端分别与卡槽的两个侧壁转动连接，所述卡槽内插接有限位板，所述限位板呈矩形设置，所述限位板的一侧开设有多个圆形通孔。
11.优选的，所述车门的一侧设置有探视框，所述车门的一侧开设有供探视框固定的通槽，所述探视框内固定连接有透明pvc板，两个所述车门的另一侧均焊接有两个挂扣，两
个所述挂扣分别固定在车门的两端，所述车厢的外壁焊接有供挂扣挂接的固定块。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.本实用新型通过设置双开门板使掩膜板便于从运输车上上装卸，通过设置多个卡槽使每个掩膜板可以相互隔离开，避免摩擦损坏，通过设置限位板使掩膜板可以固定在卡槽内，避免晃动，通过在卡槽内设置滚轮使掩膜板在装载在卡槽内时便于滑入卡槽，减少掩膜板与卡槽之间的摩擦，通过设置限位框使干燥剂可以固定在车体内，对车内气体干燥，通过设置硅胶条使运输车在运动过程中车门不会因为撞击对掩膜板造成损伤。
附图说明
14.图1是本实用新型车体侧面的结构示意图；
15.图2是本实用新型车体内部的结构示意图；
16.图3是本实用新型车体正面的结构示意图；
17.图4是本实用新型卡槽的结构示意图；
18.图5是本实用新型挂扣的结构示意图。
19.图中：1、车厢；2、外框；3、横杆；4、探视框；5、pvc板；6、钣金片；7、挂扣；8、硅胶条；9、限位框；10、把手；11、万向轮；12、卡槽；13、竖杆；14、限位板；15、滚轮；16、固定块；17、车门；18、侧板；19、底板。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种mask掩膜板七格运输台车，包括车体，车体包括车厢1和车门17，车门17设置有两个，车厢1呈矩形设置，车厢1包括顶板、侧板18和底板19，侧板18设置有两个，两个侧板18呈对称设置，两个车门17分别铰接在其中一个侧板18的两端，车厢1内焊接有卡槽12，底板19的下表面通过螺丝安装有万向轮11，卡槽12内设置有限位组件，车厢1内壁的两侧均焊接有限位框9，车厢1的外部焊接有把手10，限位框9用来限制干燥剂的位置，限位框9的一侧开设有通槽，对车体内的气体干燥；
22.卡槽12设置有多个，多个卡槽12呈线性排列设置，卡槽12设置有两排，两排卡槽12分别焊接在顶板和底板19的一侧，万向轮11设置有四个，四个万向轮11分别固定在底板19的四个拐角，上下两排的卡槽12位置相互对应，使掩膜板装入后可以竖直固定；
23.两个限位框9分别焊接在两个侧板18的一侧，把手10设置有多个，多个把手10焊接在侧板18的另一侧，顶板、侧板18、底板19和车门17均包括横杆3和竖杆13，横杆3的一侧与竖杆13呈正交焊接，横杆3和竖杆13均设计成方管，通过方管之间的焊接构成车体骨架，增加车体的稳固性；
24.横杆3的另一侧焊接有钣金片6，四个钣金片6的相邻边相互焊接，车厢1与车门17之间设置有密封条，密封条胶接在车厢1的一侧，钣金片6之间的焊接以及车门17与车厢1之间设置的密封条可以使车体内相对密封，便于除湿；
25.车门17一侧的横杆3与竖杆13相互焊接成外框2，外框2的一侧包裹有防撞硅胶条8，卡槽12呈凹字形设置，限位组件包括滚轮15，通过设置防撞硅胶条8使车门17颠簸的情况下不会对掩膜板造成损伤；
26.滚轮15呈圆柱形设置，滚轮15设置有多个，多个滚轮15呈线性排列设置，滚轮15的两端分别与卡槽12的两个侧壁转动连接，卡槽12内插接有限位板14，限位板14呈矩形设置，限位板14的一侧开设有多个圆形通孔，使掩膜板的两边向两个卡槽12内插入时，通过设置滚轮15使掩模板插入时在卡槽12内滑动，减小摩擦，滚轮15与限位板14均设置为pp材质，限位板14设置有两块，在掩膜板插入后，在掩膜板的两侧插接限位板14，限位板14的外壁与卡槽12的内壁贴紧，使掩膜板不会晃动；
27.车门17的一侧设置有探视框4，车门17的一侧开设有供探视框4固定的通槽，探视框4内固定连接有透明pvc板5，两个车门17的另一侧均焊接有两个挂扣7，两个挂扣7分别固定在车门17的两端，车厢1的外壁焊接有供挂扣7挂接的固定块16；
28.使用时，钣金和方管结合处封硅胶粘剂，使车体空间密闭，将掩膜板推入卡槽12内，将限位框9内放入干燥剂，锁好搭扣，即可运输。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
技术特征：1.一种掩膜板七格运输台车，包括车体，其特征在于：所述车体包括车厢(1)和车门(17)，所述车门(17)设置有两个，所述车厢(1)呈矩形设置，所述车厢(1)包括顶板、侧板(18)和底板(19)，所述侧板(18)设置有两个，两个所述侧板(18)呈对称设置，两个所述车门(17)分别铰接在其中一个侧板(18)的两端，所述车厢(1)内焊接有卡槽(12)，所述底板(19)的下表面通过螺丝安装有万向轮(11)，所述卡槽(12)内设置有限位组件，所述车厢(1)内壁的两侧均焊接有限位框(9)，所述车厢(1)的外部焊接有把手(10)。2.根据权利要求1所述的一种掩膜板七格运输台车，其特征在于：所述卡槽(12)设置有多个，多个所述卡槽(12)呈线性排列设置，所述卡槽(12)设置有两排，两排所述卡槽(12)分别焊接在顶板和底板(19)的一侧，所述万向轮(11)设置有四个，四个所述万向轮(11)分别固定在底板(19)的四个拐角。3.根据权利要求2所述的一种掩膜板七格运输台车，其特征在于：两个所述限位框(9)分别焊接在两个侧板(18)的一侧，所述把手(10)设置有多个，多个所述把手(10)焊接在侧板(18)的另一侧，所述顶板、侧板(18)、底板(19)和车门(17)均包括横杆(3)和竖杆(13)，所述横杆(3)的一侧与竖杆(13)呈正交焊接。4.根据权利要求3所述的一种掩膜板七格运输台车，其特征在于：所述横杆(3)的另一侧焊接有钣金片(6)，四个所述钣金片(6)的相邻边相互焊接，所述车厢(1)与车门(17)之间设置有密封条，所述密封条胶接在车厢(1)的一侧。5.根据权利要求4所述的一种掩膜板七格运输台车，其特征在于：所述车门(17)一侧的横杆(3)与竖杆(13)相互焊接成外框(2)，所述外框(2)的一侧包裹有防撞硅胶条(8)，所述卡槽(12)呈凹字形设置，所述限位组件包括滚轮(15)。6.根据权利要求5所述的一种掩膜板七格运输台车，其特征在于：所述滚轮(15)呈圆柱形设置，所述滚轮(15)设置有多个，多个所述滚轮(15)呈线性排列设置，所述滚轮(15)的两端分别与卡槽(12)的两个侧壁转动连接，所述卡槽(12)内插接有限位板(14)，所述限位板(14)呈矩形设置，所述限位板(14)的一侧开设有多个圆形通孔。7.根据权利要求6所述的一种掩膜板七格运输台车，其特征在于：所述车门(17)的一侧设置有探视框(4)，所述车门(17)的一侧开设有供探视框(4)固定的通槽，所述探视框(4)内固定连接有透明pvc板(5)，两个所述车门(17)的另一侧均焊接有两个挂扣(7)，两个所述挂扣(7)分别固定在车门(17)的两端，所述车厢(1)的外壁焊接有供挂扣(7)挂接的固定块(16)。
技术总结本实用新型公开了一种掩膜板七格运输台车，所述车体包括车厢和车门，所述车门设置有两个，所述车厢呈矩形设置，所述车厢包括顶板、侧板和底板，所述侧板设置有两个，两个所述车门分别铰接在其中一个侧板的两端，所述车厢内焊接有卡槽，所述底板的下表面通过螺丝安装有万向轮，所述卡槽内设置有限位组件；本实用新型通过设置限位板使掩膜板可以固定在卡槽内，避免晃动，通过在卡槽内设置滚轮使掩膜板在装载在卡槽内时便于滑入卡槽，减少掩膜板与卡槽之间的摩擦，通过设置限位框使干燥剂可以固定在车体内，对车内气体干燥，通过设置硅胶条使运输车在运动过程中车门不会因为撞击对掩膜板造成损伤。板造成损伤。板造成损伤。
技术研发人员：郑哲勳 王恒
受保护的技术使用者：昆山利哲祥机械材料有限公司
技术研发日：2021.12.14
技术公布日：2022/7/5
