一种双摆臂固晶装置的制作方法

allin2023-01-10  164



1.本实用新型涉及一种双摆臂固晶装置,属于半导体元器件生产领域。


背景技术:

2.半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体元器件在生产过程中,需要将晶片贴装在基板上,而现有的贴片机大都采用单摆臂方式,即每次往复动作只能完成一个晶片的贴装,效率较低,不适应现在大规模生产的要求。因此,需要有一种双摆臂固晶装置,提高半导体元器件生产效率。


技术实现要素:

3.本实用新型要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种双摆臂固晶装置。
4.本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为:一种双摆臂固晶装置,包括转动轴和转动臂,所述转动轴竖向设置,所述转动臂的轴线与转动轴的轴线垂直且相交,所述转动臂的中端固定设置在转动轴的底端,所述转动臂的两端均设置有吸盘,两个吸盘分别通过两个连接机构与转动臂连接,所述转动轴的顶端传动连接有驱动机构,所述转动轴上还设置有升降结构;
5.所述连接机构包括连接管,所述连接管的轴线与转动臂的轴线垂直且相交,所述连接管固定设置在转动臂上,所述吸盘位于连接管的正下方,所述吸盘与连接管连接连接,所述连接管上还设置有吹气组件,所述吹气组件位于吸盘的上方。
6.作为优选,所述驱动机构包括驱动箱,所述转动轴活动穿过驱动箱的底部,所述转动轴通过轴承与驱动箱连接,所述驱动箱内设置有驱动电机,所述转动轴上安装有从动齿轮,所述驱动电机上安装有驱动齿轮,所述驱动齿轮与从动齿轮啮合。
7.作为优选,所述升降结构包括固定板,所述固定板上竖向设置有多个气缸,各气缸以转动轴的轴线为中心轴线均匀分布,所述气缸的缸体固定设置在固定板上,所述气缸的伸缩端与驱动箱固定连接。
8.作为优选,所述吹气组件包括导管,所述导管与转动臂平行,所述导管设置在连接管的远离转动臂的一侧,所述导管与连接管连通,所述导管内设置有移动板,所述移动板与导管的内壁滑动且密封连接,所述移动板的远离转动臂的一侧通过弹簧与导管的内壁连接,所述连接管的顶端密封设置有密封块。
9.作为优选,所述连接管内设置有限位块,所述限位块与移动板的靠近转动臂的一侧抵靠。
10.作为优选,所述限位块为橡胶材质。
11.与现有技术相比,本实用新型的优点在于:
12.本实用新型一种双摆臂固晶装置,其通过转动臂的单向往复转动可以实现同时实现吸附晶片和贴装晶片,提高了生产效率,而且,通过移动板在导管内的移动产生的气流作
用到基板上晶片上,还可以清除基板和晶片上的杂质。
附图说明
13.图1为本实用新型一种双摆臂固晶装置的结构示意图;
14.图2为连接机构的结构示意图。
15.其中:1.转动轴,2.转动臂,3.吸盘,4.连接管,5.驱动箱,6.轴承,7.驱动电机,8.从动齿轮,9.驱动齿轮,10.固定板,11.气缸,12.导管,13.移动板,14.弹簧,15.密封块,16.限位块。
具体实施方式
16.如图1-2所示,本实施例中的一种双摆臂固晶装置,包括转动轴1和转动臂2,所述转动轴1竖向设置,所述转动臂2的轴线与转动轴1的轴线垂直且相交,所述转动臂2的中端固定设置在转动轴1的底端,所述转动臂2的两端均设置有吸盘3,两个吸盘3分别通过两个连接机构与转动臂2连接,所述转动轴1的顶端传动连接有驱动机构,所述驱动机构包括驱动箱5,所述转动轴1活动穿过驱动箱5的底部,所述转动轴1通过轴承6与驱动箱5连接,所述驱动箱5内设置有驱动电机7,所述转动轴1上安装有从动齿轮8,所述驱动电机7上安装有驱动齿轮9,所述驱动齿轮9与从动齿轮8啮合,所述转动轴1上还设置有升降结构,所述升降结构包括固定板10,所述固定板10上竖向设置有多个气缸11,各气缸11以转动轴1的轴线为中心轴线均匀分布,所述气缸11的缸体固定设置在固定板10上,所述气缸11的伸缩端与驱动箱5固定连接;
17.所述连接机构包括连接管4,所述连接管4的轴线与转动臂2的轴线垂直且相交,所述连接管4固定设置在转动臂2上,所述吸盘3位于连接管4的正下方,所述吸盘3与连接管4连接连接,所述连接管4上还设置有吹气组件,所述吹气组件位于吸盘3的上方,所述吹气组件包括导管12,所述导管12与转动臂2平行,所述导管12设置在连接管4的远离转动臂2的一侧,所述导管12与连接管4连通,所述导管12内设置有移动板13,所述移动板13与导管12的内壁滑动且密封连接,所述移动板13的远离转动臂2的一侧通过弹簧14与导管12的内壁连接,所述连接管4的顶端密封设置有密封块15,所述连接管4内设置有限位块16,所述限位块16与移动板13的靠近转动臂2的一侧抵靠,所述限位块16为橡胶材质。
18.该装置运行期间,驱动电机7启动,使驱动齿轮9往复转动,且通过从动齿轮8使转动轴1在轴承6上往复转动,转动轴1的往复转动带动转动臂2往复转动,且通过计算,转动臂2单次转动的角度为180度,而转动臂2的往复转动通过连接管4带动吸盘3同步往复转动,而吸盘3转动停止时,通过气缸11使驱动箱5向下移动,即可以使吸盘3同步向下移动,使吸盘3吸附晶片,然后,再通过气缸11使驱动箱5向上移动实现复位,接着,使转动臂2反向转动180度后,再次使转动臂2向下移动,从而可以使吸附有晶片的吸盘3向下移动,并使晶片贴装在基板上,同时,使另一个吸盘3吸附晶片,如此往复,则可以实现转动臂2单次往复转动时同时实现晶片的吸附和贴装,提高了生产效率,这里,转动臂2带动连接管4转动时,带动导管12内的移动板13同步移动,且移动板13在离心力的作用下向着远离转动臂2方向移动,并时弹簧14产生形变,同时使空气从连接管4的底端吸入连接管4内后在吸入导管12内,而转动臂2停止转动时,通过弹簧14的弹性作用则可以使移动板13反向移动,则可以使导管12内的
空气输送至连接管4内后再从连接管4的底端排出,而两个连接管4管底端排出的空气可以分别作用到晶片和基板上,使晶片和基板上的杂质吹离,防止杂质影响吸盘3吸附晶片效果和晶片贴装在基板上的效果。
19.除上述实施例外,本实用新型还包括有其他实施方式,凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案,均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。


技术特征:
1.一种双摆臂固晶装置,其特征在于:包括转动轴(1)和转动臂(2),所述转动轴(1)竖向设置,所述转动臂(2)的轴线与转动轴(1)的轴线垂直且相交,所述转动臂(2)的中端固定设置在转动轴(1)的底端,所述转动臂(2)的两端均设置有吸盘(3),两个吸盘(3)分别通过两个连接机构与转动臂(2)连接,所述转动轴(1)的顶端传动连接有驱动机构,所述转动轴(1)上还设置有升降结构;所述连接机构包括连接管(4),所述连接管(4)的轴线与转动臂(2)的轴线垂直且相交,所述连接管(4)固定设置在转动臂(2)上,所述吸盘(3)位于连接管(4)的正下方,所述吸盘(3)与连接管(4)连接连接,所述连接管(4)上还设置有吹气组件,所述吹气组件位于吸盘(3)的上方。2.根据权利要求1所述的一种双摆臂固晶装置,其特征在于:所述驱动机构包括驱动箱(5),所述转动轴(1)活动穿过驱动箱(5)的底部,所述转动轴(1)通过轴承(6)与驱动箱(5)连接,所述驱动箱(5)内设置有驱动电机(7),所述转动轴(1)上安装有从动齿轮(8),所述驱动电机(7)上安装有驱动齿轮(9),所述驱动齿轮(9)与从动齿轮(8)啮合。3.根据权利要求2所述的一种双摆臂固晶装置,其特征在于:所述升降结构包括固定板(10),所述固定板(10)上竖向设置有多个气缸(11),各气缸(11)以转动轴(1)的轴线为中心轴线均匀分布,所述气缸(11)的缸体固定设置在固定板(10)上,所述气缸(11)的伸缩端与驱动箱(5)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种双摆臂固晶装置,其特征在于:所述吹气组件包括导管(12),所述导管(12)与转动臂(2)平行,所述导管(12)设置在连接管(4)的远离转动臂(2)的一侧,所述导管(12)与连接管(4)连通,所述导管(12)内设置有移动板(13),所述移动板(13)与导管(12)的内壁滑动且密封连接,所述移动板(13)的远离转动臂(2)的一侧通过弹簧(14)与导管(12)的内壁连接,所述连接管(4)的顶端密封设置有密封块(15)。5.根据权利要求4所述的一种双摆臂固晶装置,其特征在于:所述连接管(4)内设置有限位块(16),所述限位块(16)与移动板(13)的靠近转动臂(2)的一侧抵靠。6.根据权利要求5所述的一种双摆臂固晶装置,其特征在于:所述限位块(16)为橡胶材质。

技术总结
本实用新型涉及一种双摆臂固晶装置,包括转动轴和转动臂,所述转动轴竖向设置,所述转动臂的轴线与转动轴的轴线垂直且相交,所述转动臂的中端固定设置在转动轴的底端,所述转动臂的两端均设置有吸盘,两个吸盘分别通过两个连接机构与转动臂连接,所述转动轴的顶端传动连接有驱动机构,所述转动轴上还设置有升降结构;该双摆臂固晶装置,其通过转动臂的单向往复转动可以实现同时实现吸附晶片和贴装晶片,提高了生产效率,而且,通过移动板在导管内的移动产生的气流作用到基板上晶片上,还可以清除基板和晶片上的杂质。除基板和晶片上的杂质。除基板和晶片上的杂质。


技术研发人员:孙杰 杨吉明 王彦彦 徐海军
受保护的技术使用者:江苏海德半导体有限公司
技术研发日:2021.12.10
技术公布日:2022/7/5
转载请注明原文地址: https://www.8miu.com/read-4808.html

最新回复(0)