1.本技术涉及晶体生长炉，尤其是涉及一种晶体生长炉的测温装置。
背景技术：2.目前，单晶蓝宝石运用于光电产业的led已经越来越广泛。而其中全球用于led 衬底的蓝宝石基板70％由泡生法或各种改良型泡生法生长。对于采用泡生法生长蓝宝石的过程来说，对炉腔精准的温度控制至关重要。因泡生法对炉体保温要求极高，因此对蓝宝石晶体生长炉内的温度监控至关重要。
3.现有技术中，一般采用热电偶对晶体生长炉进行温度检测，但针对不同检测要求，热电偶需要以不同深度伸入晶体到生长炉中，因此现有技术中会在热电偶的尾部连接一个驱动装置以驱动热电偶的位置伸缩；由于热电偶本身是易耗品，在需要更换热电偶的情况下，需要拆卸驱动装置才能够对热电偶进行更换。
4.因此，现有技术的技术问题在于：热电偶更换不便。
技术实现要素：5.本技术提供一种晶体生长炉的测温装置，解决了现有技术中热电偶更换不便的技术问题；达到方便更换热电偶的技术效果。
6.本技术提供的一种晶体生长炉的测温装置，采用如下的技术方案：
7.一种晶体生长炉的测温装置，应用于蓝宝石晶体生长炉，包括：安装座，所述安装座用于安装于所述蓝宝石晶体生长炉上；管体，所述管体两端贯通，所述管体固定连接于所述安装座上；盖体，所述盖体可拆卸的连接于所述管体的一端上，该端部远离所述蓝宝石晶体生长炉；以及传感器主体，所述传感器主体位于所述管体内；所述传感器主体可调式连接于所述管体内，使得所述传感器主体具有沿管体方向移动的自由度。
8.作为优选，所述管体的靠近所述盖体的一端上具有呈环形的第一连接部；所述盖体的靠近所述管体的一端上具有呈环形的第二连接部；所述第一连接部和第二连接部之间设置有第一连接组件，所述第一连接组件用于可拆卸的连接所述盖体和所述管体，所述第一连接组件包括：第一密封件，所述第一密封件呈环形，所述第一密封件夹设于所述第一连接部和所述第二连接部之间；第一卡箍，所述第一卡箍连接于所述第一连接部和所述第二连接部之间，用于连接所述盖体和管体。
9.作为优选，所述第一密封件包括：密封套，所述密封套与所述管体共轴，所述密封套分别与所述第一连接部、第二连接部的内边缘相抵触；第一密封圈，所述第一密封圈连接于所述密封套的外圈，所述第一密封圈被夹设于所述第一连接部、第二连接部之间，且分别与所述第一连接部、第二连接部相抵触。
10.作为优选，所述盖体上连接于所述通电接头，通过所述通电接头使得所述传感器本体通电。
11.作为优选，还包括定位组件，所述定位组件用于传感器本体的定位，所述定位组件
包括：定位环，所述定位环套设于所述传感器本体上，且与所述传感器本体固定连接，所述定位环的外侧边缘与管体的内壁相抵触。
12.作为优选，在所述管体靠近安装座的一端上具有呈环形的第三连接部；在所述安装座靠近所述管体的一端上具有第四连接部；所述第三连接部和第四连接部之间设置有第二连接组件，所述第二连接组件用于可拆卸的连接所述管体和所述安装座，所述第二连接组件包括：第二密封件，所述第二密封件呈环形，所述第二密封件夹设于所述第三连接部和第四连接部之间；第二卡箍，所述第二卡箍连接于所述第三连接部和所述第四连接部之间，用于连接所述安装座和管体。
13.作为优选，所述传感器主体贯穿至管体靠近安装座的一端的外部，所述传感器主体上设置有防护组件，所述防护组件包括：防护座，所述防护座两端贯通，所述防护座卡设于所述管体靠近所述安装座的一端上；防护管，所述防护管套设于所述传感器本体的外部且与所述传感器本体呈共轴设置，所述防护管远离所述盖体的一端呈封闭；所述防护管穿设且固定连接于所述防护座内。
14.作为优选，所述防护座包括：第一座，所述第一座呈两端贯通的管状且与所述管体共轴设置，所述第一座连接于所述管体的内壁上；第二座，所述第二座呈两端贯通的管状且与所述第一座共轴设置，所述第二座通过螺纹连接于所述第一座的内壁上。
15.作为优选，所述第一座的外侧边缘上连接有呈环形的连接部，所述连接部与所述第二密封件连接，且被夹设于所述第三连接部和所述第四连接部之间。
16.作为优选，所述第一座的内壁上设置有向内的台阶，所述台阶上设置有第三密封件，所述第三密封件分别与所述第一座的内壁、防护管的外壁以及所述第二座的底端相抵触。
17.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
18.1、本技术利用传感器本体对蓝宝石晶体生长炉进行测温，通过驱动传感器本体在管体内部的位置以使得调节在蓝宝石晶体生长炉中的伸入程度；在管体的尾部可拆卸连接盖体，通过开启盖体调节传感器本体的位置，同时通过盖体方便更换传感器本体，优化了现有技术中驱动装置占据空间而不方便拆卸的问题，解决了现有技术中热电偶更换不便的技术问题；达到方便更换热电偶的技术效果。
19.2、在本技术中管体和安装座之间通过第二连接组件可拆卸连接，进一步实现测温装置的安装和拆卸的灵活性。
附图说明
20.图1是本技术所述蓝宝石晶体生长炉的测温装置的立体示意图；
21.图2是本技术所述蓝宝石晶体生长炉的测温装置的主视图；
22.图3是图2中a-a向剖视图；
23.图4是本技术所述蓝宝石晶体生长炉的测温装置的第一连接组件示意图；
24.图5是本技术所述蓝宝石晶体生长炉的测温装置的定位组件示意图；
25.图6是本技术所述蓝宝石晶体生长炉的测温装置的第二连接组件示意图；
26.图7是本技术所述蓝宝石晶体生长炉的测温装置的防护组件示意图。
27.附图标记说明：100、管体；101、第一连接部；102、第三连接部；200、盖体； 201、第
二连接部；202、通电接头；300、安装座；301、第四连接部；302、第四密封圈；400、传感器主体；401、探针；500、第一连接组件；501、第一密封件；5011、第一密封圈；5012、密封套；502、第一卡箍；600、定位组件；601、定位环；700、防护组件；701、防护座；7011、第一座；7012、第二座；702、防护管；703、台阶； 704、第三密封件；800、第二连接组件；801、第二密封件；8011、连接部；8012、第二密封圈；802、第二卡箍。
具体实施方式
28.本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本技术所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
29.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.本技术实施例提供了一种晶体生长炉的测温装置，解决了现有技术中热电偶更换不便的技术问题；达到方便更换热电偶的技术效果。
31.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
32.本技术利用传感器对蓝宝石晶体生长炉内部进行温度监控，通过调节传感器在蓝宝石晶体生长炉内的伸入程度，以检测到不同监测要求下的炉内温度。传感器采用热电偶，通过热电偶的探针401伸入到蓝宝石晶体生长炉内，从而对蓝宝石晶体生长炉内部进行测温。一般的，在相关技术中，在热电偶的尾端安装有驱动装置，以调节热电偶伸入到蓝宝石生长炉内的深度，驱动装置在连接热电偶尾部的同时还需要安装于测温设备的外壳上，结构复杂而不方便拆卸和安装。由于热电偶为易损耗品，在频繁更换热电偶的情况下，对蓝宝石晶体生长炉的测温装置提出了方便更换的热电偶的要求。
33.一种晶体生长炉的测温装置，如图1-3所示，包括安装座300、管体100、盖体200、传感器主体400、第一连接组件500、第二连接组件800、定位组件600以及防护组件 700；安装座300作为测温装置的各个组件的安装基础，且通过安装座300使得测温装置固定于蓝宝石生长炉上；传感器主体400通过定位组件600可调式的连接于管体100 内部，使得传感器本体400在蓝宝石生长炉内的深入长度可调节；盖体200和管体100 之间通过第一连接组件500可拆卸连接，管体100和安装座300之间通过第二连接组件800可拆卸连接，提高测温装置的安装和拆卸灵活度，有利于提高更换传感器本体 400的便捷性。
34.安装座300，如图1-3所示，安装座300作为测温装置的各个组件的安装基础，通过
安装座300使得测温装置固定于蓝宝石生长炉上。在一个实施例中，安装座300为一圆形板，安装板可通过螺栓固定的形式固定于蓝宝石晶体生长炉上。在安装座300 面对蓝宝石晶体生长炉的一面上嵌设有第四密封圈302，第四密封圈302具有良好的可形变能力，在一个实施例中，第四密封圈302为抗高温的硅胶质地，第四密封圈302 位于管体100共轴设置，在安装座300固定于蓝宝石晶体生长炉上时，第四密封圈302 分别与蓝宝石晶体生长炉的外壁、安装座300相抵触，减小热量从安装座300和蓝宝石晶体生长炉之间散失，提高蓝宝石晶体生长炉的气密性。
35.管体100，如图1-3所示，管体100位于传感器主体400的外部，用于作为测温装置的保护壳体。管体100呈长直状且管体100的两端贯通，管体100垂直的连接于安装座300上，具体的，安装座300上对应于管体100固定的位置开设圆形通孔，管体 100的一端固定连接于安装座300的通孔位置上，通过通孔使得管体100内部的腔体贯穿经过安装座300。
36.盖体200，如图1-3所示，盖体200可拆卸的连接于管体100上。盖体200连接于管体100远离安装座300的一端上，使得管体100的端部封闭。在盖体200和管体100 之间设置第一连接组件500，通过第一连接组件500使得盖体200可拆卸的连接于管体 100上。进一步的，在盖体200上连接有通电接头202，通电接头202用于为管体100 内部供电。
37.第一连接组件500，如图3、4所示，第一连接组件500位于管体100和盖体200 之间，用于可拆卸的连接管体100和盖体200。进一步的，在管体100靠近盖体200的一端上具有第一连接部101，在盖体200靠近管体100的一端上具有第二连接部201，在一个实施例中，第一连接部101为连接于管体100上的法兰，第二连接部201为连接于盖体200上的法兰，第一连接组件500连接于两个法兰之间，使得管体100和盖体200之间实现可拆卸连接。第一连接组件500包括第一密封件501和第一卡箍502，第一密封件501被夹设于第一连接部101和第二连接部201之间，第一卡箍502连接第一连接部101和第二连接部201，使得管体100和盖体200之间可拆卸连接。具体的，第一密封件501包括密封套5012和第一密封圈5011，密封套5012管与管体100和/ 或盖体200共轴设置，密封套5012位于管体100内部，且均与第一连接部101的内侧边缘、第二连接部201的内侧边缘相切合、抵触；第一密封圈5011位于密封套5012 的外圈，且第一密封圈5011的内边缘与密封套5012的外边缘连接，第一密封圈5011 具有良好的可形变能力，在一个实施例中，第一密封圈5011为抗高温的硅胶质地，其中，第一密封圈5011位于第一连接部101和第二连接部201之间；第一卡箍502将第一连接部101和第二连接部201连接并锁紧，使得第一密封圈5011被第一连接部101 和第二连接部201所夹持；实现盖体200和管体100之间可拆卸的连接，且通过第一密封件501提高蓝宝石晶体生长炉的气密性。
38.传感器主体400，如图5所示，传感器主体400用于检测蓝宝石晶体生长炉内的温度。传感器主体400位于管体100内部，且传感器主体400可在管体100所在方向上移动，使得传感器在蓝宝石晶体生长炉内的伸入程度可调节。在一个实施例中，传感器主体400为热电偶，热电偶具有探针401，热电偶通过定位组件600卡设于管体100 的内部，其中，热电偶的探针401贯穿至管体100的远离盖体200的一端的外部，位于管体100外部的探针401部分对蓝宝石晶体生长炉进行温度检测；位于管体100内部的探针401部分通过定位组件600卡设于管体100上，通过调节探针401在管体100 上卡设的位置，实现热电偶在蓝宝石晶体生长炉内的伸入程度可调节。
39.定位组件600，如图5所示，定位组件600位于管体100内部，用于传感器本体 400的定位和位置调节。定位组件600包括定位环601，定位环601位于管体100内部，定位环601与管体100呈共轴设置，且定位环601的外侧边缘与管体100的内壁贴合且抵触，定位环601通过自身与管体100内壁之间的摩擦力实现在管体100内部的定位。传感器本体400穿设于定位环601内，且与定位环601固定连接，在一个实施例中，定位环601的内侧边缘与热电偶的探针401固定连接，且探针401与定位环601 的固定位置经过定位环601的中心，使得热电偶保持在管体100的中心轴上。
40.第二连接组件800，如图6、7所示，第二连接组件800位于管体100和安装座300 之间，用于可拆卸的连接管体100和安装座300。进一步的，在管体100靠近安装座 300的一端上具有第三连接部102，在安装座300靠近管体100的一端上具有第四连接部301，在一个实施例中，第三连接部102为连接于管体100上的法兰，第四连接部 301为连接于安装座300上的法兰，第二连接组件800连接于两个法兰之间，使得管体 100和安装座300之间实现可拆卸连接。第二连接组件800包括第二密封件801和第二卡箍802，第二密封件801被夹设于第三连接部102和第四连接部301之间，第二卡箍 802连接第三连接部102和第四连接部301，使得管体100和安装座300之间可拆卸连接。具体的，第二密封件801包括第二密封圈8012，第二密封圈8012位于第三连接部 102和第四连接部301之间，第二密封圈8012具有良好的可形变能力，在一个实施例中，第二密封圈8012为抗高温的硅胶质地；第二卡箍802将第三连接部102和第四连接部301连接并锁紧，使得第二密封圈8012被第三连接部102和第四连接部301所夹持，实现管体100和安装座300之间可拆卸连接，且通过第二密封圈8012提高蓝宝石晶体生长炉的气密性。
41.防护组件700，如图6、7所示，防护组件700设置于传感器本体400外部，用于传感器本体400的防护。防护组件700包括防护座701和防护管702，防护管702套设于热电偶的探针401上，防护管702通过防护座701固定连接于管体100上。具体的，防护座701包括第一座7011和第二座7012，第一座7011为两端贯通的管状且与管体 100共轴设置，第一座7011位于管体100内部，第一座7011的外侧边缘固定连接于管体100的内壁上，在一个实施例中，在第一座7011的外侧边缘上设置有环形的连接部 8011，连接部8011位于第三连接部102和第四连接部301之间，且连接部8011的外侧边缘与第二密封圈8012的内侧边缘连接，在第二卡箍802的作用下使得连接部8011 和第二密封圈8012一同被卡设于第三连接部102和第四连接部301之间。与第一座7011 相同的，第二座7012也为两端贯通的管状，且第二座7012与第一座7011为共轴设置，第二座7012的外壁与第一座7011的内壁连接，在一个实施例中，第二座7012与第一座7011通过螺纹可拆卸连接。防护管702的为一端贯通、一端封闭的管状，防护管702 套设于热电偶的探针401上，且防护管702固定连接于第二座7012的内壁上。
42.进一步的，在第一座7011和第二座7012之间设置有第三密封件704，以减小热量从第一座7011和第二座7012之间传导至管体100内部。具体的，如图6所示，在第一座7011的内壁上开设有向内的台阶703，台阶703上设置有第三密封件704，第三密封件704包括第三密封圈，第三密封圈具有良好的可形变能力，在一个实施例中，第三密封圈为抗高温的硅胶质地。在第二座7012向下旋入过程中，第二座7012的底部抵压第三密封圈，使得第三密封圈分别与第一座7011的内壁、防护管702的外壁相抵触。
43.工作原理/步骤：
44.通过第一连接组件拆卸盖体200，手动驱动定位环601的位置，以调节热电偶在蓝宝石晶体生长炉内的伸入程度；在需要更换热电偶的情况下，通过第一连接组件500 拆卸下盖体即可对热电偶进行更换，优化了现有技术中驱动装置占据空间而不方便拆卸的问题。
45.技术效果：
46.1、本技术利用传感器本体400对蓝宝石晶体生长炉进行测温，通过驱动传感器本体400在管体100内部的位置以使得调节在蓝宝石晶体生长炉中的伸入程度；在管体100的尾部可拆卸连接盖体200，通过开启盖体200调节传感器本体400的位置，同时通过盖体200方便更换传感器本体400，优化了现有技术中驱动装置结构复杂而不方便拆卸的问题，解决了现有技术中热电偶更换不便的技术问题；达到方便更换热电偶的技术效果。
47.2、在本技术中管体100和安装座300之间通过第二连接组件800可拆卸连接，进一步实现测温装置的安装和拆卸的灵活性。
48.尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。
49.显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。
技术特征：1.一种晶体生长炉的测温装置，应用于蓝宝石晶体生长炉，其特征在于，包括：安装座，所述安装座用于安装于所述蓝宝石晶体生长炉上；管体，所述管体两端贯通，所述管体固定连接于所述安装座上；盖体，所述盖体可拆卸的连接于所述管体的一端上，该端部远离所述蓝宝石晶体生长炉；以及传感器主体，所述传感器主体位于所述管体内；所述传感器主体可调式连接于所述管体内，使得所述传感器主体具有沿管体方向移动的自由度。2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述管体的靠近所述盖体的一端上具有呈环形的第一连接部；所述盖体的靠近所述管体的一端上具有呈环形的第二连接部；所述第一连接部和第二连接部之间设置有第一连接组件，所述第一连接组件用于可拆卸的连接所述盖体和所述管体，所述第一连接组件包括：第一密封件，所述第一密封件呈环形，所述第一密封件夹设于所述第一连接部和所述第二连接部之间；第一卡箍，所述第一卡箍连接于所述第一连接部和所述第二连接部之间，用于连接所述盖体和管体。3.根据权利要求2所述一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述第一密封件包括：密封套，所述密封套与所述管体共轴，所述密封套分别与所述第一连接部、第二连接部的内边缘相抵触；第一密封圈，所述第一密封圈连接于所述密封套的外圈，所述第一密封圈被夹设于所述第一连接部、第二连接部之间，且分别与所述第一连接部、第二连接部相抵触。4.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述盖体上连接有通电接头，通过所述通电接头使得所述传感器本体通电。5.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，还包括定位组件，所述定位组件用于传感器本体的定位，所述定位组件包括：定位环，所述定位环套设于所述传感器本体上，且与所述传感器本体固定连接，所述定位环的外侧边缘与管体的内壁相抵触。6.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，在所述管体靠近安装座的一端上具有呈环形的第三连接部；在所述安装座靠近所述管体的一端上具有第四连接部；所述第三连接部和第四连接部之间设置有第二连接组件，所述第二连接组件用于可拆卸的连接所述管体和所述安装座，所述第二连接组件包括：第二密封件，所述第二密封件呈环形，所述第二密封件夹设于所述第三连接部和第四连接部之间；第二卡箍，所述第二卡箍连接于所述第三连接部和所述第四连接部之间，用于连接所述安装座和管体。7.根据权利要求6所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述传感器主体贯穿至管体靠近安装座的一端的外部，所述传感器主体上设置有防护组件，所述防护组件包括：防护座，所述防护座两端贯通，所述防护座卡设于所述管体靠近所述安装座的一端上；
防护管，所述防护管套设于所述传感器本体的外部且与所述传感器本体呈共轴设置，所述防护管远离所述盖体的一端呈封闭；所述防护管穿设且固定连接于所述防护座内。8.根据权利要求7所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述防护座包括：第一座，所述第一座呈两端贯通的管状且与所述管体共轴设置，所述第一座连接于所述管体的内壁上；第二座，所述第二座呈两端贯通的管状且与所述第一座共轴设置，所述第二座通过螺纹连接于所述第一座的内壁上。9.根据权利要求8所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述第一座的外侧边缘上连接有呈环形的连接部，所述连接部与所述第二密封件连接，且被夹设于所述第三连接部和所述第四连接部之间。10.根据权利要求8所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述第一座的内壁上设置有向内的台阶，所述台阶上设置有第三密封件，所述第三密封件分别与所述第一座的内壁、防护管的外壁以及所述第二座的底端相抵触。
技术总结本申请涉及晶体生长炉，尤其涉及一种晶体生长炉的测温装置，应用于蓝宝石晶体生长炉，包括：安装座，安装座用于安装于蓝宝石晶体生长炉上；管体，管体两端贯通，管体固定连接于安装座上；盖体，盖体可拆卸的连接于管体的一端上，该端部远离蓝宝石晶体生长炉；以及传感器主体，传感器主体位于管体内；传感器主体可调式连接于管体内，使得传感器主体具有沿管体方向移动的自由度。本申请在管体的尾部可拆卸连接盖体，通过开启盖体调节传感器本体的位置，同时通过盖体方便更换传感器本体。解决了现有技术中热电偶更换不便的技术问题；达到方便更换热电偶的技术效果。换热电偶的技术效果。换热电偶的技术效果。
技术研发人员：叶钢飞 魏怡凡 冯贤剑 倪军夫 黄剑利
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：2022.01.17
技术公布日：2022/7/5
