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本公开涉及基板处理装置、半导体装置的制造方法及记录介质。背景技术、在半导体装置的制造工序中的基板处理中，例如使用专利文献所记载那样的基板处理装置。在这种基板处理装置中，在处理基板的处理空间配置基板，向处理空间内供给处理气体来处理基板。另外，

本技术涉及压合设备，更具体地说，它涉及一种中纤板的压合设备。背景技术、中纤板，也称为中密度纤维板，是一种人造木材制品。它由木质纤维和胶粘剂经过高温和高压处理而成。中纤板的制造过程中使用的木质纤维可以来自于废旧木材、木屑、锯末和碎纸等。为提高

本技术涉及传感器，具体为一种液态水传感器。背景技术、传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。密度传感器属于传感器

本技术属于led灯，特别是涉及一种具有高效散热功能的led灯。背景技术、根据公式的一种具有高效散热功能的led灯公开号：(cn  b)，包括壳体，所述壳体的内部固定有安装板，所述安装板的底部安装有led灯板，所述壳体的底部嵌装有导光板，所述

本发明属于生物医药领域，具体涉及一种携带shisa基因的腺相关病毒及其构建方法和在肿瘤免疫治疗中的应用。背景技术、目前，靶向肿瘤微环境(tme)组分的免疫疗法是治疗肿瘤最有力的手段之一，为癌症患者带来希望。鉴于tme的复杂性，靶向tme组分

本技术属于仿生黏附，具体涉及一种仿生黏附装置。背景技术、玻璃、显示屏、晶圆等脆性材料在真空、高温等工艺环境中的固定与搬运等界面操控技术有一定的局限性，例如真空环境下吸盘负压失效、高温环境下胶粘剂脱附时容易印记残留、机械夹持时表面受到的机械磨

本公开的多种实施例涉及一种存储装置的控制器。背景技术、存储装置可以响应于来自外部装置的写入请求存储从外部装置提供的数据。此外，存储装置可以响应于来自外部装置的读取请求将所存储的数据提供给外部装置。外部装置可以是能够处理数据的电子装置，并且可

本申请涉及空调除霜，例如涉及一种用于电化学空调的除霜控制方法、装置及电化学空调。背景技术、近些年来，电化学氢泵技术作为一种新兴的热量传导技术，已开始应用于空调产品领域。、电化学氢泵的工作方式为：由于金属氢化物具有吸氢放热及放氢吸热的特性，通

本技术属于农业回收，具体是指一种农业垃圾回收处理装置。背景技术、农业废弃物主要指农作物秸秆，我国每年生产亿多顿的农作物秸秆，但是仅有％左右被作为造纸工业、建筑业生态农业回收处理装置及手工业的原料利用，其余的五亿顿秸秆被焚烧或遗弃。、公开号为

本技术涉及自动化电气控制柜，具体为一种高效散热自动化电气控制柜。背景技术、自动化是指机器设备、系统或过程(生产和管理过程)在没有人或较少人的直接参与下，按照人的要求，经过自动检测、信息处理、分析判断和操纵控制，实现预期的目标的过程。、在自动