本发明涉及检查形成在晶片上的芯片内的缺陷的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。背景技术、半导体器件是通过在片半导体晶片上以矩阵状反复形成多个半导体器件电路(芯片)后，单片化为各个芯片，将单片化的芯片封装而制造的。、在将各个芯片单片化之前，一边依次

本发明根据权利要求或涉及一种用于以粉末状材料、特别是粉末复合材料或干膜来涂覆、特别是干式涂覆载体基材的装置，并且涉及一种用于制造具有施加在载体基材上的干膜、特别是由粉末状材料形成的干膜的产品条的机器。背景技术、dea公开了一种用于涂覆载体基

本发明涉及烧结体、溅射靶、氧化物薄膜、薄膜晶体管、电子设备及烧结体的制造方法。背景技术、为了实现高清下一代显示器，要求高迁移率的薄膜晶体管(以下，有时将薄膜晶体管称为tft)，作为用于该tft的半导体材料而对igo(indium galli

本发明涉及利用拉曼分光法对试样进行分析的试样测定装置和试样测定方法。背景技术、当对试样照射光时，由于拉曼效应，在该试样产生具有与该照射光的波长不同的波长的拉曼散射光。拉曼散射光强度相对于该拉曼散射光的波数与照射光的波数的差的关系(拉曼光谱)

实施方式涉及半导体制造领域，并且特别地涉及用于估计模型化工具中跨基板的热均匀性的工艺。背景技术、在半导体处理环境中，使用快速热处理(rtp)工具，例如，以便执行热处理(例如，退火)和生长材料层(例如，氧化生长)，仅举几例应用。在rtp工具中

本公开总体上涉及医疗装置的领域。特别地，本公开涉及向内窥镜供应流体的装置、系统和方法。背景技术、传统上，内窥镜装置已经广泛用于执行诊断和或治疗处理。这种内窥镜装置有时包括流体能力等，其被配置为将流体进料到内窥镜的端部用于在目标部位处吹入患

本发明涉及一种用于容纳诸如电池模块之类的电池单元的电池组。更具体地，本发明涉及一种能够在电池单元中发生火灾时防止火花或火焰向相邻电池单元传播的电池组。本申请要求基于年月日提交的韩国专利申请no.--的优先权的权益，并且该韩国专利申请的全部内

本发明涉及控制氢气的流动的氢气用阀装置及其所具备的氢气用阀体。背景技术、作为氢气用阀装置，例如已知有专利文献这样的阀装置。专利文献的阀装置具备具有阀座密封面的套筒和提升阀阀体。、现有技术文献：、专利文献：、专利文献：日本特开-号公报。技术实

背景技术、现代电子组件包含在各种板部件之间的大量互连件。给定互连件的目的本质上可以是热的、电的或结构的。传统的互连件通常由环氧树脂或锡基和或铅基焊料制成，因为它们相对较低的加工温度以及低的材料和加工成本。遗憾的是，这些材料并不理想地适用于

本公开内容总体涉及出于各种工业和商业目的用于生产超细颗粒的方法和设备，包括能量储存材料和或装置的制备。更具体地，本公开内容涉及用于在介质磨机例如球磨机、行星式磨机、锥形磨机和搅拌介质磨机中利用电空间稳定的(electros ter ica